பல ஆண்டுகளாக குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் உற்பத்தி மற்றும் வடிவமைப்பில் கிரானைட் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்பட்டு வருகிறது. இதற்குக் காரணம் அதன் சிறந்த பண்புகளே ஆகும், இது பல பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. கிரானைட் தேய்மானம், அரிப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளை அதிக அளவில் எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது, இது கடுமையான சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக அமைகிறது. இந்தக் கட்டுரையில், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட்டின் சில பொதுவான பயன்பாடுகளைப் பற்றி விவாதிப்போம்.
1. அளவியல் உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் பரிமாணங்களையும் பண்புகளையும் அளவிட அளவியல் கருவிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் அதன் உயர் பரிமாண நிலைத்தன்மை காரணமாக, அத்தகைய கருவிகளுக்கு அடிப்படையாகப் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மையும் துல்லியமும், சரியான அளவீடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த ஆதாரத்தை வழங்குகின்றன. மேலும், கிரானைட்டின் வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெப்பநிலை மாறுபாடுகளால் ஏற்படும் பரிமாண மாற்றங்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
2. ஒளியியல் உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உருவாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள் போன்ற ஒளியியல் கருவிகளிலும் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-துல்லிய ஒளியியலுக்கு கிரானைட் அடித்தளம் ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது. கிரானைட்டின் சிறந்த அதிர்வு தணிக்கும் பண்புகள், ஒளியியலின் செயல்திறனையும் துல்லியத்தையும் பாதிக்கக்கூடிய அதிர்வுகளைக் குறைக்கவும் உதவுகின்றன.
3. வேஃபர் பதப்படுத்தும் உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி வேஃபர் செயலாக்கத்தில், சுத்தம் செய்தல், அரித்தல் மற்றும் படியவைத்தல் உள்ளிட்ட பல படிகள் உள்ளன. வேஃபர் செயலாக்க உபகரணங்களின் பல கூறுகளில் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உதாரணமாக, சிலிக்கான் வேஃபர்களின் மீது மெல்லிய படலங்களைப் படியவைக்கப் பயன்படும் இரசாயன ஆவிப் படியவைத்தல் (CVD) உபகரணங்களுக்கு கிரானைட் ஒரு அடித்தளமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மேலும், அரித்தல் அறைகள் மற்றும் பிற செயல்முறைக் கலன்களின் கட்டுமானத்திலும் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு அதன் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை இன்றியமையாதவையாகும்.
4. சோதனை உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தைச் சரிபார்க்க சோதனை உபகரணங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் அதன் அதிக விறைப்புத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை காரணமாக, சோதனை உபகரணங்களுக்கு அடித்தளமாகப் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கிரானைட், காந்தத்தன்மையற்ற மற்றும் மின்கடத்தாத் தன்மையுள்ள ஒரு தளத்தை வழங்குவதால், நுட்பமான சோதனை உபகரணங்களில் ஏற்படும் குறுக்கீடுகளை நீக்குகிறது. கிரானைட் மேற்பரப்பின் சமதளத்தன்மையும் துல்லியமும், மிகவும் சரியான சோதனை முடிவுகளைப் பெற வழிவகுக்கின்றன.
முடிவு
முடிவாக, குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தியில் கிரானைட் ஒரு முக்கியமான பொருளாகும். அதன் பரிமாண நிலைத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதிர்வு தணிப்பு உள்ளிட்ட சிறந்த பண்புகள், பல பயன்பாடுகளுக்கு இதை ஒரு சிறந்த பொருளாக ஆக்குகின்றன. அளவியல் உபகரணங்கள், ஒளியியல் உபகரணங்கள், வேஃபர் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் சோதனை உபகரணங்கள் உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் பல முக்கிய கூறுகளில் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வேகமான, சிறிய மற்றும் அதிக சக்திவாய்ந்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட்டின் பயன்பாடு இன்றியமையாததாகவே இருக்கும்.
பதிவிட்ட நேரம்: ஏப்ரல்-08-2024