கிரானைட் பல ஆண்டுகளாக குறைக்கடத்தி கருவிகளின் உற்பத்தி மற்றும் வடிவமைப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது அதன் சிறந்த பண்புகள் காரணமாகும், இது பல பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. கிரானைட் உடைகள், அரிப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு மிகவும் எதிர்க்கும், இது கடுமையான சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது. இந்த கட்டுரையில், செமிகண்டக்டர் கருவிகளில் கிரானைட்டின் பொதுவான சில பயன்பாடுகளைப் பற்றி விவாதிப்போம்.
1. அளவியல் உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் பரிமாணங்களையும் பண்புகளையும் அளவிட அளவியல் உபகரணங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் பெரும்பாலும் அதன் உயர் பரிமாண ஸ்திரத்தன்மை காரணமாக அத்தகைய உபகரணங்களுக்கு ஒரு தளமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் துல்லியமானது துல்லியமான அளவீடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த குறிப்பை வழங்குகிறது. கூடுதலாக, கிரானைட்டின் வெப்ப நிலைத்தன்மை வெப்பநிலை மாறுபாடுகள் காரணமாக பரிமாண மாற்றங்களின் அபாயத்தை குறைக்கிறது.
2. ஆப்டிகல் உபகரணங்கள்
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் போன்ற ஆப்டிகல் கருவிகளிலும் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் புனையலில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் அடிப்படை இந்த இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் துல்லியமான ஒளியியலுக்கான நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது. கிரானைட்டின் சிறந்த அதிர்வு தணிக்கும் பண்புகள் ஒளியியலின் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை பாதிக்கக்கூடிய அதிர்வுகளைக் குறைக்க உதவுகின்றன.
3. செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கம் சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல் மற்றும் படிவு உள்ளிட்ட பல படிகளை உள்ளடக்கியது. செதில் செயலாக்க கருவிகளின் பல கூறுகளில் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உதாரணமாக, கிரானைட் வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) கருவிகளுக்கான அடி மூலக்கூறாக பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மெல்லிய படங்களை சிலிக்கான் செதில்களில் டெபாசிட் செய்ய பயன்படுகிறது. செதுக்குதல் அறைகள் மற்றும் பிற செயல்முறைக் கப்பல்களின் கட்டுமானத்திலும் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு அதன் சிறந்த வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை அவசியம்.
4. சோதனை உபகரணங்கள்
குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை சரிபார்க்க சோதனை உபகரணங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் பெரும்பாலும் அதன் அதிக விறைப்பு மற்றும் ஸ்திரத்தன்மை காரணமாக சோதனை உபகரணங்களுக்கான தளமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. கிரானைட் ஒரு காந்தமற்ற மற்றும் கடத்தும் அல்லாத தளத்தை வழங்குகிறது, இது முக்கியமான சோதனை கருவிகளில் குறுக்கீட்டை நீக்குகிறது. கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் துல்லியம் மிகவும் துல்லியமான சோதனை முடிவுகளை அனுமதிக்கிறது.
முடிவு
முடிவில், செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தியில் கிரானைட் ஒரு முக்கியமான பொருள். பரிமாண நிலைத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிர்வு குறைத்தல் உள்ளிட்ட அதன் சிறந்த பண்புகள் பல பயன்பாடுகளுக்கு இது ஒரு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. அளவீட்டு உபகரணங்கள், ஆப்டிகல் உபகரணங்கள், செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் சோதனை உபகரணங்கள் உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி கருவிகளின் பல முக்கியமான கூறுகளில் கிரானைட் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வேகமான, சிறிய மற்றும் அதிக சக்திவாய்ந்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருவதால், குறைக்கடத்தி கருவிகளில் கிரானைட்டின் பயன்பாடு அவசியமாக இருக்கும்.
இடுகை நேரம்: ஏபிஆர் -08-2024