கிரானைட் பல ஆண்டுகளாக குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் உற்பத்தி மற்றும் வடிவமைப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.இது அதன் சிறந்த பண்புகள் காரணமாகும், இது பல பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.கிரானைட் தேய்மானம், அரிப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, இது கடுமையான சூழல்களில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.இந்தக் கட்டுரையில், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட்டின் சில பொதுவான பயன்பாடுகளைப் பற்றி விவாதிப்போம்.
1. அளவியல் உபகரணங்கள்
செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் பரிமாணங்களையும் பண்புகளையும் அளவிட அளவியல் கருவிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.கிரானைட் அதன் உயர் பரிமாண நிலைத்தன்மையின் காரணமாக இத்தகைய உபகரணங்களுக்கு ஒரு தளமாக அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகிறது.கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையானது மற்றும் துல்லியமானது துல்லியமான அளவீடுகளுக்கு சிறந்த குறிப்பை வழங்குகிறது.கூடுதலாக, கிரானைட்டின் வெப்ப நிலைத்தன்மை வெப்பநிலை மாறுபாடுகளால் ஏற்படும் பரிமாண மாற்றங்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
2. ஆப்டிகல் உபகரணங்கள்
கிரானைட் லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் போன்ற ஒளியியல் கருவிகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் புனையலில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.இந்த இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் துல்லியமான ஒளியியலுக்கு கிரானைட் அடித்தளம் ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது.கிரானைட்டின் சிறந்த அதிர்வு தணிப்பு பண்புகள் ஒளியியலின் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை பாதிக்கக்கூடிய அதிர்வுகளைக் குறைக்க உதவுகின்றன.
3. வேஃபர் செயலாக்க உபகரணங்கள்
செமிகண்டக்டர் செதில் செயலாக்கம் பல படிகளை உள்ளடக்கியது, சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல் மற்றும் படிவு.கிரானைட் செதில் செயலாக்க கருவியின் பல கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.எடுத்துக்காட்டாக, கிரானைட் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உபகரணங்களுக்கு அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மெல்லிய படலங்களை சிலிக்கான் செதில்களில் வைப்பதற்குப் பயன்படுகிறது.கிரானைட் பொறிப்பு அறைகள் மற்றும் பிற செயல்முறை பாத்திரங்களின் கட்டுமானத்திலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு அதன் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை அவசியம்.
4. சோதனை உபகரணங்கள்
செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை சரிபார்க்க சோதனை உபகரணங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.கிரானைட் அதன் அதிக விறைப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மை காரணமாக சோதனை உபகரணங்களுக்கான தளமாக அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகிறது.கிரானைட் காந்தம் அல்லாத மற்றும் கடத்துத்திறன் அல்லாத தளத்தை வழங்குகிறது, இது உணர்திறன் சோதனை கருவிகளில் குறுக்கீடுகளை நீக்குகிறது.கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையானது மற்றும் துல்லியமானது மிகவும் துல்லியமான சோதனை முடிவுகளை அனுமதிக்கிறது.
முடிவுரை
முடிவில், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தியில் கிரானைட் ஒரு முக்கியமான பொருள்.பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதிர்வு தணித்தல் உள்ளிட்ட அதன் சிறந்த பண்புகள், பல பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.கிரானைட் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் பல முக்கியமான கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் அளவியல் உபகரணங்கள், ஒளியியல் உபகரணங்கள், செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் சோதனை உபகரணங்கள் ஆகியவை அடங்கும்.வேகமான, சிறிய மற்றும் அதிக சக்தி வாய்ந்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட்டின் பயன்பாடு இன்றியமையாததாக இருக்கும்.
பின் நேரம்: ஏப்-08-2024