குறைக்கடத்தி துல்லிய நிலைகள் மற்றும் மேம்பட்ட அளவியலில் கிரானைட்டின் முக்கிய பங்கு

உலகளாவிய குறைக்கடத்தித் தொழில் தற்போது "ஆங்ஸ்ட்ராம் சகாப்தத்தை" நோக்கிய இடைவிடாத தேடலில் ஈடுபட்டுள்ளது; இதில் டிரான்சிஸ்டர்களின் பரிமாணங்கள் ஒரு சில அணுக்களின் அகலத்தில் அளவிடப்படுகின்றன. அச்சுக்கலை மற்றும் ஆய்வு கருவிகள் இந்த நுண்ணிய அளவுகளுக்கு மாறுவதால், கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மைக்கான தேவை "பேரளவு" அளவிலிருந்து "நானோ" அளவிற்கு மாறியுள்ளது. இந்தப் புரட்சியின் மையத்தில், பூமியைப் போலவே தொன்மையான ஒரு பொருள் உள்ளது: அதுவே துல்லிய கிரானைட்.

பலர் கிரானைட்டை ஒரு சாதாரண கல்லாகக் கருதினாலும், ஒரு சூழலில்நானோ நிலைப்படுத்தல் நிலைஅல்லது ஒரு அதிவேக வேஃபர் ஆய்வு அமைப்பாக இருந்தாலும், இது ஒரு அதிநவீன பொறியியல் பீங்கான் ஆகும். சிலிக்கான் உருவாக்கத்தில் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளை விரிவுபடுத்த விரும்பும் OEM-களுக்கு, அடிப்படை அளவியல் கருவிகளுக்கும் மேம்பட்ட இயக்கத் தளங்களுக்கும் இடையிலான வேறுபாட்டைப் புரிந்துகொள்வது அவசியமாகும்.

கிரானைட் CMM மற்றும் கிரானைட் மேற்பரப்புத் தகடு: பொறியியல் மாற்றத்தைப் புரிந்துகொள்ளுதல்

பல தரக் கட்டுப்பாட்டு ஆய்வகங்களில்,கிரானைட் மேற்பரப்புத் தகடுகிரானைட் CMM (ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு இயந்திரம்) என்பது எங்கும் காணப்படும் ஒரு நிலைப்பாடாகும்—இது கையால் அளவிடுவதற்கான ஒரு நம்பகமான, தட்டையான ஆதாரக் கருவியாகும். இருப்பினும், ஒரு மேற்பரப்புத் தட்டும் கிரானைட் CMM (ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு இயந்திரம்) அடித்தளமும் ஒன்றுக்கொன்று மாற்றாகப் பயன்படுத்தப்படலாம் என்ற ஒரு பொதுவான தவறான கருத்து நிலவுகிறது. பொறியியல் கண்ணோட்டத்தில், அவை இரண்டு வெவ்வேறு அளவிலான சிக்கலான தன்மைகளைக் குறிக்கின்றன.

ஒரு மேற்பரப்புத் தகடு நிலையான நிலைத்தன்மைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரு நிலையான சுமையின் கீழ் தட்டையாக இருப்பதே அதன் முதன்மைப் பணியாகும். இதற்கு மாறாக, ஒரு CMM அல்லது ஒரு துல்லியமான மேடைக்கான கிரானைட் அடித்தளம் இயக்கச் சுமைகளைத் தாங்க வேண்டும். ஒரு CMM-இன் இணைப்புப் பாலம் நகரும்போதோ அல்லது ஒரு நேரியல் மோட்டார் ஒரு வேஃபர் மேடையைப் பல G-களில் முடுக்கிவிடும்போதோ, கிரானைட் வளைவை மட்டுமல்லாமல், முறுக்கம் மற்றும் ஹார்மோனிக் அதிர்வையும் எதிர்க்க வேண்டும்.

ZHHIMG பொறியாளர்கள், அதன் அதிக அடர்த்தி மற்றும் நுண் தானிய அமைப்பு காரணமாக, இயங்குநிலைப் பயன்பாடுகளுக்காக “கருப்பு கிரானைட்டை” குறிப்பாகத் தேர்ந்தெடுக்கின்றனர். ஒரு சாதாரண மேற்பரப்புத் தகடு அதிக நுண்துளைகள் கொண்ட வகையைப் பயன்படுத்தக்கூடும் என்றாலும், அதிவேக இயக்கத்தின் போது ஏற்படும் “திடீர் அதிர்வு” அளவீட்டுத் தரவைச் சிதைக்கக்கூடிய கட்டமைப்பு அதிர்வுகளாக மாறாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய, ஒரு CMM அடித்தளத்திற்கு மிக உயர்ந்த யங் குணகம் தேவைப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லிய நிலைகள்: உற்பத்தி அளவின் அடித்தளம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், உற்பத்தித் திறன் மற்றும் உற்பத்தி அளவு ஆகியவையே மிகவும் முக்கியமான இரண்டு அளவீடுகள் ஆகும். இவை இரண்டுமே பொருளின் செயல்திறனை நேரடியாகச் சார்ந்துள்ளன.துல்லியமான நிலைகள்DUV/EUV லித்தோகிராபி இயந்திரத்தில் உள்ள வேஃபர் நிலையாக இருந்தாலும் சரி, அல்லது தானியங்கி ஒளியியல் ஆய்வு (AOI) கருவியில் உள்ள நிலைப்படுத்தல் அமைப்பாக இருந்தாலும் சரி, அடிப்படைப் பொருளானது துணை-நானோமீட்டர் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் தன்மையை எளிதாக்க வேண்டும்.

உற்பத்தி ஆலையில் உள்ள முதன்மைச் சவால் வெப்பம் ஆகும். நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்கள் கணிசமான வெப்ப ஆற்றலை உருவாக்குகின்றன. உற்பத்தி மேடையின் அடித்தளம் அலுமினியம் அல்லது எஃகினால் செய்யப்பட்டிருந்தால், அதன் விளைவாக ஏற்படும் வெப்ப விரிவாக்கமானது, சில்லுகளை அவற்றின் சீரமைப்பிலிருந்து விலகச் செய்து, முழு சில்லுத் தொகுதிகளையும் பாழாக்கும் "மேலடுக்குப் பிழைகளுக்கு" வழிவகுக்கும்.

கிரானைட்டின் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (CTE), மோட்டார்கள் சூடேறும்போதும் கூட, மேடையின் பௌதீக அமைப்பு மாறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. மேலும், ZHHIMG ஒருங்கிணைந்த காற்றுத் தாங்கி வழிகளுடன் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிரானைட் பாகங்களை வழங்குகிறது. கிரானைட்டை கண்ணாடி போன்ற சமதளத்திற்குத் தேய்த்து மெருகூட்ட முடியும் என்பதால், அது காற்றுத் தாங்கிகளுக்கு ஒரு சரியான எதிர் மேற்பரப்பாகச் செயல்படுகிறது. இதனால், மேடைகள் பூஜ்ஜிய உராய்வு மற்றும் பூஜ்ஜிய ஒட்டுதலுடன் ஒரு மெல்லிய காற்றுப் படலத்தின் மீது "மிதக்க" முடிகிறது.

நானோ பொசிஷனிங் ஸ்டேஜ் பேஸின் இயற்பியல்

நாம் மண்டலத்திற்குள் நுழையும் போதுநானோ நிலைப்படுத்தல் நிலைநாம் மனித முடியை விட 10,000 மடங்கு சிறிய அசைவுகளைக் கையாளுகிறோம். இந்த அளவில், அதிர்வுதான் எதிரி. குளிரூட்டல் மற்றும் வெப்பமூட்டல் அமைப்புகள், மக்கள் நடமாட்டம், மற்றும் அருகிலுள்ள இயந்திரங்கள் காரணமாக, சாதாரண தொழிற்சாலைத் தளங்கள் தொடர்ந்து அதிர்வு கொள்கின்றன.

கிரானைட் ஒரு பிரம்மாண்டமான லோ-பாஸ் ஃபில்டராகச் செயல்படுகிறது. அதன் அதிக நிறை மற்றும் உயர் அகத் தணிப்புத் தன்மையால், உயர் அதிர்வெண் அதிர்வுகள் உணர்திறன் மிக்க சென்சார்கள் அல்லது வேஃபரை அடைவதற்கு முன்பே, அது இயற்கையாகவே அவற்றை உறிந்துகொள்கிறது. இந்த "செயலற்ற தனிமைப்படுத்தல்" காரணமாகவே, உலகின் முன்னணி லித்தோகிராஃபி வழங்குநர்கள், தங்களின் வெற்றிட-இணக்கமான ஸ்டேஜ்களுக்கான கனமான, நிலையான அடித்தளங்களை வழங்குவதற்காக ZHHIMG-ஐ சார்ந்திருக்கின்றனர். எங்கள் கிரானைட், வாயு வெளியேற்றம் முற்றிலும் இல்லாதவாறு சிறப்பாகப் பதப்படுத்தப்படுகிறது. இது எலக்ட்ரான்-பீம் மற்றும் EUV செயல்முறைகளுக்குத் தேவைப்படும் உயர்-வெற்றிடச் சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

எல்லையைத் தொடுதல்: ZHHIMG அனுகூலம்

ஒரு மூலக் கல்லிலிருந்து குறைக்கடத்தித் தரத்திலான ஒரு பாகமாக மாறும் பயணம் என்பது மிகுந்த பொறுமை தேவைப்படும் ஒன்றாகும். CNC அரைத்தல் நம்மை இலக்கிற்கு அருகில் கொண்டு சென்றாலும், இறுதியான “மீத் துல்லிய” தரம் கைமுறை மெருகூட்டல் மூலமே அடையப்படுகிறது. இது, ZHHIMG தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் சிராய்ப்புப் பசைகளையும் கைகளால் செய்யப்படும் அசைவுகளையும் பயன்படுத்தி, ஒரு நேரத்தில் ஒரு மைக்ரானின் சிறு பகுதிகளைச் சீவி எடுக்கும் ஒரு செயல்முறையாகும்.

ஒருநானோ நிலைப்படுத்தல் நிலைசமதளத்தன்மை மட்டுமே ஒரே தேவை அல்ல; வழிகாட்டிப் பரப்புகளின் இணைகோட்டுத்தன்மையும் செங்குத்தன்மையும் சமமாக முக்கியமானவை. ஒவ்வொரு அச்சும் கச்சிதமாக சீரமைக்கப்பட்டுள்ளதா என்பதைச் சரிபார்க்க, எங்கள் நிறுவனம் 0.1 ஆர்க்-நொடி துல்லியத்தன்மை கொண்ட லேசர் டிராக்கர்களையும் மின்னணு மட்டக்கருவிகளையும் பயன்படுத்துகிறது. இந்த அளவிலான கைவினைத்திறன், ஒரு வாடிக்கையாளர் தங்களின் லீனியர் மோட்டார்கள் மற்றும் என்கோடர்களைப் பொருத்தும்போது, ​​இயந்திர அடித்தளமானது இயற்பியல் அனுமதிக்கும் அளவிற்கு "கச்சிதமானதாக" இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

ஃபேப்-ஐ எதிர்காலத்திற்கு ஏற்றவாறு மாற்றுதல்

தொழில்துறை 2 நானோமீட்டர் கணுக்கள் மற்றும் அதற்கும் அப்பால் நகரும்போது, ​​மூலப்பொருட்களின் தூய்மை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கான தேவைகள் மேலும் தீவிரமடையும். கார்பன் ஃபைபர் பாலங்கள் அல்லது செராமிக் வெற்றிடச் சக்கரங்கள் போன்ற பிற மேம்பட்ட பொருட்களுடன் கிரானைட்டை ஒருங்கிணைப்பதே இயக்கக் கட்டுப்பாட்டின் அடுத்தகட்ட வளர்ச்சியாகும்.

ZHHIMG வெறும் ஒரு விநியோகஸ்தராக மட்டும் இருப்பதில் உறுதியாக உள்ளது; நாங்கள் உலகளாவிய குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலியில் ஒரு கூட்டுப் பங்காளராக இருக்கிறோம். அடுத்த தலைமுறை துல்லியமான மேடைகளுக்குத் தேவைப்படும் அதி-நிலையான அடித்தளங்களை வழங்குவதன் மூலம், எதிர்காலத்தை உருவாக்கும் இயந்திரங்களைக் கட்டமைக்க நாங்கள் உதவுகிறோம்.