குறைக்கடத்தி துல்லிய நிலைகள் மற்றும் மேம்பட்ட அளவியலில் கிரானைட்டின் முக்கிய பங்கு

உலகளாவிய குறைக்கடத்தித் தொழில் தற்போது "ஆங்ஸ்ட்ரோம் சகாப்தத்தின்" இடைவிடாத முயற்சியில் ஈடுபட்டுள்ளது, அங்கு டிரான்சிஸ்டர் பரிமாணங்கள் ஒரு சில அணுக்களின் அகலத்தில் அளவிடப்படுகின்றன. லித்தோகிராஃபி மற்றும் ஆய்வுக் கருவிகள் இந்த நுண்ணிய அளவுகோல்களுக்கு மாறும்போது, ​​கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மைக்கான தேவை "மேக்ரோ" விலிருந்து "நானோ" க்கு மாறியுள்ளது. இந்தப் புரட்சியின் மையத்தில் பூமியைப் போலவே பழமையான ஒரு பொருள் உள்ளது: துல்லியமான கிரானைட்.

பலர் கிரானைட்டை ஒரு எளிய கல்லாகக் கருதினாலும், ஒரு சூழலில்நானோ நிலைப்படுத்தல் நிலைஅல்லது அதிவேக வேஃபர் ஆய்வு அமைப்பு, இது ஒரு அதிநவீன பொறியியல் பீங்கான் ஆகும். அடிப்படை அளவியல் கருவிகள் மற்றும் மேம்பட்ட இயக்க தளங்களுக்கு இடையிலான வேறுபாட்டைப் புரிந்துகொள்வது, சிலிக்கான் உற்பத்தியில் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளைத் தள்ள விரும்பும் OEM களுக்கு அவசியம்.

கிரானைட் CMM vs. கிரானைட் சர்ஃபேஸ் பிளேட்: பொறியியல் மாற்றத்தைப் புரிந்துகொள்வது

பல தரக் கட்டுப்பாட்டு ஆய்வகங்களில்,கிரானைட் மேற்பரப்பு தட்டுஎங்கும் காணப்படும் ஒரு சாதனம் - கைமுறை அளவீட்டிற்கான நம்பகமான, தட்டையான குறிப்பு. இருப்பினும், ஒரு மேற்பரப்புத் தகடு மற்றும் ஒரு கிரானைட் CMM (ஒருங்கிணைப்பு அளவிடும் இயந்திரம்) அடித்தளம் ஒன்றுக்கொன்று மாறக்கூடியவை என்ற பொதுவான தவறான கருத்து உள்ளது. ஒரு பொறியியல் கண்ணோட்டத்தில், அவை இரண்டு வெவ்வேறு நிலை சிக்கலான தன்மையைக் குறிக்கின்றன.

ஒரு மேற்பரப்புத் தகடு நிலையான நிலைத்தன்மைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் முதன்மை வேலை நிலையான சுமையின் கீழ் தட்டையாக இருப்பது. இதற்கு நேர்மாறாக, ஒரு CMM அல்லது ஒரு துல்லியமான நிலைக்கான கிரானைட் அடித்தளம் டைனமிக் சுமைகளைக் கையாள வேண்டும். ஒரு CMM இன் பாலம் நகரும்போது அல்லது ஒரு நேரியல் மோட்டார் பல Gs இல் ஒரு வேஃபர் நிலையை துரிதப்படுத்தும்போது, ​​கிரானைட் வளைவதை மட்டுமல்ல, முறுக்கு மற்றும் ஹார்மோனிக் அதிர்வுகளையும் எதிர்க்க வேண்டும்.

ZHHIMG பொறியாளர்கள் அதன் அதிக அடர்த்தி மற்றும் நுண்ணிய தானிய அமைப்பு காரணமாக டைனமிக் பயன்பாடுகளுக்கு "பிளாக் கிரானைட்" ஐ குறிப்பாகத் தேர்ந்தெடுக்கின்றனர். ஒரு நிலையான மேற்பரப்பு தட்டு அதிக நுண்துளை வகையைப் பயன்படுத்தக்கூடும் என்றாலும், அதிவேக இயக்கத்தின் "ஸ்னாப்" அளவீட்டுத் தரவை சிதைக்கும் கட்டமைப்பு வளையமாக மாறாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய ஒரு CMM தளத்திற்கு அதிகபட்ச யங்ஸ் மாடுலஸ் தேவைப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லிய நிலைகள்: மகசூலின் அடித்தளம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், செயல்திறன் மற்றும் மகசூல் ஆகியவை இரண்டு மிக முக்கியமான அளவீடுகள் ஆகும். இரண்டும் நேரடியாக செயல்திறனைச் சார்ந்துள்ளதுதுல்லியமான நிலைகள். DUV/EUV லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் வேஃபர் நிலையாக இருந்தாலும் சரி அல்லது தானியங்கி ஆப்டிகல் ஆய்வு (AOI) கருவியில் நிலைப்படுத்தல் அமைப்பாக இருந்தாலும் சரி, அடிப்படைப் பொருள் துணை-நானோமீட்டர் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை எளிதாக்க வேண்டும்.

இந்த ஃபேப்பில் உள்ள முதன்மையான சவால் வெப்பம். நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்கள் குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப ஆற்றலை உருவாக்குகின்றன. நிலை அடித்தளம் அலுமினியம் அல்லது எஃகு மூலம் செய்யப்பட்டிருந்தால், அதன் விளைவாக ஏற்படும் வெப்ப விரிவாக்கம் வேஃபரை சீரமைப்பிலிருந்து வெளியேற்றி, "மேலடுக்கு பிழைகள்" ஏற்பட வழிவகுக்கும், இது சில்லுகளின் முழு தொகுதிகளையும் அழிக்கும்.

கிரானைட்டின் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE), மோட்டார்கள் வெப்பமடையும் போதும், மேடையின் இயற்பியல் "வரைபடம்" மாறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. மேலும், ZHHIMG ஒருங்கிணைந்த காற்று தாங்கும் வழிகளுடன் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிரானைட் கூறுகளை வழங்குகிறது. கிரானைட்டை கண்ணாடி போன்ற தட்டையான நிலைக்கு மடிக்க முடியும் என்பதால், அது காற்று தாங்கு உருளைகளுக்கு சரியான எதிர் முகமாக செயல்படுகிறது, இது பூஜ்ஜிய உராய்வு மற்றும் பூஜ்ஜிய ஒட்டுதலுடன் காற்றின் மெல்லிய படலத்தில் நிலைகள் "மிதக்க" அனுமதிக்கிறது.

நானோ நிலைப்படுத்தல் நிலை தளத்தின் இயற்பியல்

நாம் உலகிற்குள் நுழையும்போதுநானோ நிலைப்படுத்தல் நிலை, மனித முடியை விட 10,000 மடங்கு சிறிய அசைவுகளை நாங்கள் கையாள்கிறோம். இந்த நிலையில், அதிர்வுதான் எதிரி. HVAC அமைப்புகள், கால் போக்குவரத்து மற்றும் அருகிலுள்ள இயந்திரங்கள் காரணமாக நிலையான தொழில்துறை தளங்கள் தொடர்ந்து அதிர்வுறும்.

கிரானைட் ஒரு பெரிய குறைந்த-பாஸ் வடிகட்டியாக செயல்படுகிறது. அதன் அதிக நிறை மற்றும் அதிக உள் ஈரப்பதம் காரணமாக, உணர்திறன் சென்சார்கள் அல்லது வேஃபரை அடைவதற்கு முன்பு, அது இயற்கையாகவே உயர் அதிர்வெண் அதிர்வுகளை உறிஞ்சுகிறது. இந்த "செயலற்ற தனிமைப்படுத்தல்" தான் உலகின் முன்னணி லித்தோகிராஃபி சப்ளையர்கள் தங்கள் வெற்றிட-இணக்க நிலைகளுக்கு கனமான, நிலையான அடித்தளங்களை வழங்க ZHHIMG ஐ நம்பியிருப்பதற்கான காரணம். எலக்ட்ரான்-பீம் மற்றும் EUV செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான உயர்-வெற்றிட சூழல்களுக்கு ஏற்றவாறு, பூஜ்ஜிய வாயு வெளியேற்றத்தை உறுதி செய்வதற்காக எங்கள் கிரானைட் சிறப்பாக சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறது.

வரம்புக்கு மேல் செல்வது: ZHHIMG நன்மை

ஒரு மூலக் கல்லில் இருந்து குறைக்கடத்தி-தர கூறுக்கு மாறுவது மிகுந்த பொறுமையின் பயணமாகும். CNC அரைத்தல் நம்மை நெருங்கச் செய்யும் அதே வேளையில், இறுதி "சூப்பர்-துல்லிய" தரம் கை-லேப்பிங் மூலம் அடையப்படுகிறது. இது ZHHIMG தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் ஒரு நேரத்தில் ஒரு மைக்ரானின் பின்னங்களை ஷேவ் செய்ய சிராய்ப்பு பேஸ்ட்கள் மற்றும் கைமுறை இயக்கங்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு செயல்முறையாகும்.

ஒருநானோ நிலைப்படுத்தல் நிலை, தட்டையானது மட்டுமே தேவை இல்லை; வழிகாட்டி மேற்பரப்புகளின் இணையான தன்மை மற்றும் செங்குத்தாக இருப்பது சமமாக முக்கியமானவை. ஒவ்வொரு அச்சும் சரியாக சீரமைக்கப்பட்டுள்ளதா என்பதை சரிபார்க்க எங்கள் வசதி 0.1 வில்-வினாடிகள் தீர்மானம் கொண்ட லேசர் டிராக்கர்கள் மற்றும் மின்னணு நிலைகளைப் பயன்படுத்துகிறது. ஒரு வாடிக்கையாளர் தங்கள் நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் குறியாக்கிகளை ஏற்றும்போது, ​​இயந்திர அடித்தளம் இயற்பியல் அனுமதிக்கும் அளவுக்கு "சரியானது" என்பதை இந்த அளவிலான கைவினைத்திறன் உறுதி செய்கிறது.

எதிர்காலத்தை உறுதிப்படுத்தும் ஃபேப்

தொழில்துறை 2nm முனைகள் மற்றும் அதற்கு அப்பால் நகரும்போது, ​​பொருள் தூய்மை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கான தேவைகள் தீவிரமடையும். கார்பன் ஃபைபர் பாலங்கள் அல்லது பீங்கான் வெற்றிட சக்குகள் போன்ற பிற மேம்பட்ட பொருட்களுடன் கிரானைட்டை ஒருங்கிணைப்பது இயக்கக் கட்டுப்பாட்டின் அடுத்த எல்லையாகும்.

ZHHIMG வெறும் சப்ளையராக மட்டுமல்லாமல், உலகளாவிய குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலியில் ஒரு கூட்டு பங்காளியாக இருப்பதில் உறுதியாக உள்ளது. அடுத்த தலைமுறை துல்லியமான நிலைகளுக்குத் தேவையான மிகவும் நிலையான அடித்தளங்களை வழங்குவதன் மூலம், எதிர்காலத்தை உருவாக்கும் இயந்திரங்களை உருவாக்க நாங்கள் உதவுகிறோம்.