கிரானைட் தளங்களைப் பராமரிப்பதற்கான சிறந்த நடைமுறைகள்: நீண்ட காலத் துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்கான வழிமுறைகள்.

துல்லியமான அளவீடு மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான ஒரு ஆதாரக் கருவியாக கிரானைட் தளம் விளங்குவதால், அதன் துல்லியப் பராமரிப்பு உற்பத்தித் தரத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு, தினசரிப் பராமரிப்பு மற்றும் தொழில்முறை அளவுத்திருத்தம் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு முறையான பராமரிப்புத் திட்டம் பின்வருமாறு வழங்கப்படுகிறது. இது, அந்தத் தளம் நீண்ட காலத்திற்கு நானோமீட்டர் அளவிலான துல்லியத்தைப் பராமரிப்பதை உறுதி செய்யும்.
1. சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு: ஒரு துல்லியமான பாதுகாப்புத் தடுப்பை உருவாக்குங்கள்
வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் மேலாண்மை
பணிச்சூழல் வெப்பநிலை 20±1℃ அளவில் நிலைப்படுத்தப்பட வேண்டும். ஒவ்வொரு 1℃ வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமும், கிரானைட் மேடையில் 0.5-1μm/m என்ற அளவில் வெப்ப உருக்குலைவை ஏற்படுத்தும். குளிரூட்டியின் வெளிக்குழாய்கள் நேரடியாக மேடையின் மீது காற்றை வீசுவதைத் தடுக்க, பணிமனையில் ஒரு நிலையான வெப்பநிலை அமைப்பை நிறுவலாம்.
ஈரப்பதம் 40% முதல் 60% வரை கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். அதிகப்படியான ஈரப்பதம் உலோகப் பாகங்களில் எளிதில் துருப்பிடிக்கச் செய்யும், அதே சமயம் மிகக் குறைந்த ஈரப்பதம் அளவீட்டின் போது நிலை மின்னூட்டக் குறுக்கீட்டிற்கு வழிவகுக்கலாம்.
அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல்
ஸ்டாம்பிங் இயந்திரங்கள் மற்றும் மில்லிங் இயந்திரங்கள் போன்ற அதிர்வு மூலங்களிலிருந்து தளத்தை விலக்கி வைக்க வேண்டும். அதிர்வு உபகரணங்களிலிருந்து 3 மீட்டருக்கும் அதிகமான தூரத்தைப் பராமரிக்கப் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது.
அதிர்வைத் தவிர்க்க முடியாத பட்சத்தில், தளத்தின் சமதளத்தன்மையின் மீது சுற்றுச்சூழல் அதிர்வு ஏற்படுத்தும் தாக்கத்தைக் குறைப்பதற்காக, தளத்தின் அடிப்பகுதியில் காற்றுச் சுருள் அதிர்வு உறிஞ்சிகளைப் பொருத்தலாம் (இது வெளிப்புற அதிர்வை 80%க்கும் மேல் குறைக்கும்).
2. தினசரி பராமரிப்பு: சுத்தம் செய்தல் முதல் பாதுகாப்பு வரை நுணுக்கமான கட்டுப்பாடு.
மேற்பரப்பு சுத்தம் செய்யும் விவரக்குறிப்பு
தூசி அகற்றுதல்: தூசித் துகள்கள் (≥5μm) தளத்தைக் கீறுவதைத் தடுக்க, தினமும் மான் தோல் அல்லது பஞ்சு இல்லாத துணியைக் கொண்டு மேற்பரப்பை ஒரே திசையில் துடைக்கவும். பிடிவாதமான கறைகளை நீரற்ற எத்தனால் (தூய்மை ≥99.7%) கொண்டு மெதுவாகத் துடைக்கலாம். அசிட்டோன் போன்ற வீரியம் மிக்க கரைப்பான்களைப் பயன்படுத்தக் கூடாது.
எண்ணெய்ப் பிசுக்கை நீக்குதல்: எண்ணெய்க் கறைகள் பட்டால், நீர்த்த நடுநிலை சுத்திகரிப்பானைக் கொண்டு துடைத்துவிட்டு, பின்னர் அயனியகற்றப்பட்ட நீரால் அலசி, காற்றில் உலர விடவும். இது கனிம எண்ணெய் தளத்தின் நுண்ணிய துளைகளுக்குள் ஊடுருவுவதைத் தடுக்கும்.
சுமை மற்றும் மோதல் பாதுகாப்பு
உள்ளூர் அதிகப்பளுவினால் ஏற்படும் நிரந்தர உருக்குலைவைத் தவிர்க்க, தளத்தின் சுமை தாங்கும் திறனானது, மதிப்பிடப்பட்ட சுமையின் 70% வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும் (உதாரணமாக, 1000 கிலோகிராம் எடை கொண்ட ஒரு தளத்திற்கு, சுமையானது ≤700 கிலோகிராம் ஆக இருக்குமாறு பரிந்துரைக்கப்படுகிறது).
மேடையில் உள்ள வேலைப் பொருட்களைத் தட்டுவது கண்டிப்பாகத் தடைசெய்யப்பட்டுள்ளது. கருவிகளைக் கையாளும்போது, ​​கூர்மையான பொருள்கள் மேற்பரப்பைக் கீறுவதைத் தடுக்க மென்மையான கையுறைகளை அணியுங்கள் (20μm-க்கு மேல் ஆழமுள்ள கீறல்கள், பிரதிபலித்த ஒளிப் பாதையின் அளவீட்டைப் பாதிக்கும்).
3. தொழில்முறை அளவுத்திருத்தம்: அறிவியல் பூர்வமாகத் துல்லியத்தைப் பேணுவதன் அடித்தளம்
அளவுத்திருத்த சுழற்சி அமைப்பு
வழக்கமான பயன்பாட்டு முறைகள்: ஒவ்வொரு காலாண்டிற்கும் ஒருமுறை அளவுத்திருத்தம் செய்து, தட்டையான தன்மையைக் கண்டறிய லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டரைப் பயன்படுத்தவும் (±0.5μm/m துல்லியத்துடன்).
அடிக்கடி பயன்படுத்துதல் அல்லது கடுமையான சூழல்கள்: வெப்பநிலை உணர்திறன் பகுதிகளை (வெப்ப மூலங்களுக்கு அருகிலுள்ள தளத்தின் விளிம்பு போன்றவை) கண்காணிப்பதில் கவனம் செலுத்தி, மாதாந்திர அளவுத்திருத்தம் செய்ய வேண்டும்.

துல்லியமான கிரானைட் தொகுதி
அளவுத்திருத்தத்திற்குப் பிந்தைய செயலாக்கம்
சமதளத்தில் விலகல் (உதாரணமாக > ±1μm/m) கண்டறியப்பட்டால், அதனை ஒரு தொழில்முறை தொழில்நுட்ப வல்லுநரால் W1.5 மைக்ரோ-பவுடரைப் பயன்படுத்தித் தேய்த்துச் சரிசெய்ய வேண்டும். மணர்த்தாள் கொண்டு சுயமாகத் தேய்ப்பது கண்டிப்பாகத் தடைசெய்யப்பட்டுள்ளது.
அளவுத்திருத்தத்திற்குப் பிறகு, தரவுகள் பதிவு செய்யப்பட்டு ஆவணப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் பராமரிப்புத் தேவைகளை முன்கூட்டியே கணிப்பதற்காக ஒரு தளத் துல்லியக் குறைவு வளைகோடு நிறுவப்பட வேண்டும்.
4. சேமிப்பு மற்றும் போக்குவரத்து: மறைமுகமான துல்லிய இழப்பைத் தவிர்க்கவும்
நீண்ட கால சேமிப்பிற்கான முக்கிய குறிப்புகள்
சேமித்து வைக்கும்போது, ​​அதை ஈரப்பதம் மற்றும் தூசி புகாத உறையால் மூட வேண்டும். புவியீர்ப்பினால் ஏற்படும் வளைவு சிதைவைத் தடுக்க, அதன் அடிப்பகுதி மூன்று புள்ளிகளால் தாங்கப்பட வேண்டும் (தாங்கு புள்ளி தளத்தின் நீளத்தில் 2/9 பங்கில் அமைந்துள்ளது). (நீண்ட கால ஒற்றைப் புள்ளித் தாங்குதலால் 1-மீட்டர் தளம் 0.3μm வரை தொய்வடையக்கூடும்).
நீண்ட கால உள்ளூர் அழுத்தத்தைத் தவிர்க்க, மேடை ஆதரவுப் புள்ளிகளின் நிலையைத் தவறாமல் (மாதந்தோறும்) நகர்த்தவும்.
போக்குவரத்து பாதுகாப்புத் திட்டம்
குறுகிய தூரப் போக்குவரத்து: அதிர்வுகளை உறிஞ்சும் நுரை கொண்டு சுற்றி, உறுதியான சட்டகத்தில் பொருத்தி, முடுக்கத்தை 2g-க்குள் வைத்திருக்கவும்.
நீண்ட தூரப் போக்குவரத்து: இதை வெற்றிடப் பொதியிட்டு, உலர் நைட்ரஜனை நிரப்ப வேண்டும். வந்தடைந்த பிறகு, ஒடுக்க நீர் துல்லியத்தன்மையைப் பாதிப்பதைத் தடுப்பதற்காக, பொதியைப் பிரிப்பதற்கு முன், வெப்பநிலை சமநிலையை அடையும் வரை 24 மணி நேரம் அப்படியே வைத்திருக்க வேண்டும்.
5. பிழை முன்கணிப்பு: ஆரம்பக்கட்ட பிரச்சனைகளைக் கண்டறிவதற்கான நுட்பங்கள்
கண்ணால் பார்த்து ஆய்வு செய்தல்: 40x உருப்பெருக்கி மூலம் மேற்பரப்பைத் தவறாமல் கவனிக்கவும். தொடர்ச்சியான கீறல்கள் அல்லது பளபளப்பில் குறிப்பிடத்தக்க குறைவு காணப்பட்டால், அது துல்லியத்தன்மை குறைவதைக் குறிக்கலாம்.
ஒலி கண்டறிதல்: தளத்தை மெதுவாகத் தட்டவும். ஒலி கரகரப்பாக மாறினால் (சாதாரணமாக அது தெளிவான ஒலியாக இருக்க வேண்டும்), உள்ளே நுண்ணிய விரிசல்கள் இருக்கலாம். கண்டறிவதற்காக, உடனடியாகப் பயன்படுத்துவதை நிறுத்துங்கள்.

இந்த பராமரிப்பு அமைப்பின் மூலம், ZHHIMG® கிரானைட் தளம் 10 ஆண்டுகளுக்கு ±1μm/m என்ற சமதளத்தன்மையை பராமரிக்கிறது. இது, முறையாகப் பராமரிக்கப்படாத தளங்களின் துல்லியமான ஆயுட்காலத்தை விட மூன்று மடங்குக்கும் அதிகமாகும். ஒரு குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தித் தொழிற்சாலை இந்தத் தீர்வை ஏற்றுக்கொண்ட பிறகு, தளத்தின் அளவுத்திருத்தத்தின் அதிர்வெண் 50% குறைக்கப்பட்டது என்றும், ஆண்டு பராமரிப்புச் செலவில் 150,000 யுவானுக்கும் மேல் சேமிக்கப்பட்டது என்றும் நடைமுறையில் நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது.

துல்லியமான கிரானைட்26


பதிவிட்ட நேரம்: ஜூன்-18-2025