துல்லியமான அளவீடு மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான குறிப்பு கருவியாக கிரானைட் தளம், அதன் துல்லிய பராமரிப்பு உற்பத்தி தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு, தினசரி பராமரிப்பு மற்றும் தொழில்முறை அளவுத்திருத்தத்தை உள்ளடக்கிய ஒரு முறையான பராமரிப்பு திட்டத்தை பின்வருவன வழங்குகிறது, இது தளம் நீண்ட காலத்திற்கு நானோமீட்டர் அளவிலான துல்லியத்தை பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது.
1. சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு: துல்லியமான பாதுகாப்பு தடையை உருவாக்குங்கள்
வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் மேலாண்மை
வேலை செய்யும் சூழலின் வெப்பநிலையை 20±1℃ இல் நிலைப்படுத்த வேண்டும். ஒவ்வொரு 1℃ ஏற்ற இறக்கமும் கிரானைட் தளத்தின் வெப்ப சிதைவை 0.5-1μm/m இல் ஏற்படுத்தும். ஏர் கண்டிஷனிங் அவுட்லெட்டுகள் நேரடியாக மேடையில் வீசுவதைத் தடுக்க பட்டறையில் ஒரு நிலையான வெப்பநிலை அமைப்பை நிறுவலாம்.
ஈரப்பதம் 40% முதல் 60% வரை கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். அதிகப்படியான ஈரப்பதம் உலோக பாகங்களில் எளிதில் துருப்பிடிக்க வழிவகுக்கும், அதே நேரத்தில் மிகக் குறைந்த ஈரப்பதம் அளவீட்டில் நிலையான மின்சார குறுக்கீட்டிற்கு வழிவகுக்கும்.
அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல்
ஸ்டாம்பிங் இயந்திரங்கள் மற்றும் மில்லிங் இயந்திரங்கள் போன்ற அதிர்வு மூலங்களிலிருந்து தளத்தை விலக்கி வைக்க வேண்டும். அதிர்வு உபகரணங்களிலிருந்து 3 மீட்டருக்கும் அதிகமான தூரத்தை பராமரிக்க பரிந்துரைக்கப்படுகிறது.
அதிர்வுகளைத் தவிர்க்க முடியாவிட்டால், தளத்தின் தட்டையான தன்மையில் சுற்றுச்சூழல் அதிர்வுகளின் தாக்கத்தைக் குறைக்க, தளத்தின் அடிப்பகுதியில் காற்று வசந்த அதிர்ச்சி உறிஞ்சிகளை நிறுவலாம் (இது வெளிப்புற அதிர்வுகளை 80% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்கும்).
2. தினசரி பராமரிப்பு: சுத்தம் செய்வதிலிருந்து பாதுகாப்பு வரை நுணுக்கமான கட்டுப்பாடு.
மேற்பரப்பு சுத்தம் விவரக்குறிப்பு
தூசி நீக்கம்: தூசித் துகள்கள் (≥5μm) மேடையில் கீறல் ஏற்படுவதைத் தடுக்க, மான் தோல் அல்லது பஞ்சு இல்லாத துணியால் ஒவ்வொரு நாளும் அதே திசையில் மேற்பரப்பைத் துடைக்கவும். பிடிவாதமான கறைகளை நீரற்ற எத்தனால் (தூய்மை ≥99.7%) கொண்டு மெதுவாகத் துடைக்கலாம். அசிட்டோன் போன்ற வலுவான கரைப்பான்களைப் பயன்படுத்தக்கூடாது.
கிரீஸ் நீக்குதல்: எண்ணெய் கறைகளுடன் தொடர்பு கொண்டால், அதை நீர்த்த நியூட்ரல் கிளீனரால் துடைக்கவும், பின்னர் அயனியாக்கம் நீக்கப்பட்ட தண்ணீரில் கழுவவும், மினரல் ஆயில் மேடையின் சிறிய துளைகளுக்குள் ஊடுருவுவதைத் தடுக்க காற்றில் உலர வைக்கவும்.
சுமை மற்றும் மோதல் பாதுகாப்பு
உள்ளூர் அதிக சுமையால் ஏற்படும் நிரந்தர சிதைவைத் தவிர்க்க, மதிப்பிடப்பட்ட சுமையின் 70% க்குள் (எடுத்துக்காட்டாக, 1000 கிலோ தளத்திற்கு, சுமை ≤700 கிலோவாக இருக்க பரிந்துரைக்கப்படுகிறது) தளத்தின் சுமை தாங்கும் திறன் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.
மேடையில் உள்ள வேலைப்பொருட்களை அடிப்பது கண்டிப்பாக தடைசெய்யப்பட்டுள்ளது. கருவிகளைக் கையாளும் போது, கூர்மையான பொருள்கள் மேற்பரப்பைக் கீறுவதைத் தடுக்க மென்மையான கையுறைகளை அணியுங்கள் (20μm க்கும் அதிகமான ஆழம் கொண்ட கீறல்கள் பிரதிபலித்த ஒளி பாதையின் அளவீட்டைப் பாதிக்கும்).
3. தொழில்முறை அளவுத்திருத்தம்: அறிவியல் ரீதியாக துல்லியத்தை பராமரிப்பதன் மையக்கரு
அளவுத்திருத்த சுழற்சி அமைப்பு
வழக்கமான பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகள்: ஒவ்வொரு காலாண்டிற்கும் ஒரு முறை அளவீடு செய்து, தட்டையான தன்மையைக் கண்டறிய லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டரைப் பயன்படுத்தவும் (±0.5μm/m துல்லியத்துடன்).
அதிக அதிர்வெண் பயன்பாடு அல்லது கடுமையான சூழல்கள்: மாதாந்திர அளவுத்திருத்தம், வெப்பநிலை உணர்திறன் பகுதிகளைக் கண்காணிப்பதில் கவனம் செலுத்துகிறது (வெப்ப மூலங்களுக்கு அருகிலுள்ள தளத்தின் விளிம்பு போன்றவை).
அளவுத்திருத்தத்திற்குப் பிந்தைய செயலாக்கம்
தட்டையான விலகல் கண்டறியப்பட்டால் (±1μm/m க்கு மேல்) அது W1.5 மைக்ரோ-பவுடரைப் பயன்படுத்தி ஒரு தொழில்முறை தொழில்நுட்ப வல்லுநரால் தரையிறக்கப்பட்டு சரிசெய்யப்பட வேண்டும். மணர்த்துகள்கள் கொண்ட காகிதம் கொண்டு சுயமாக அரைப்பது கண்டிப்பாக தடைசெய்யப்பட்டுள்ளது.
அளவுத்திருத்தத்திற்குப் பிறகு, தரவு பதிவு செய்யப்பட்டு காப்பகப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் பராமரிப்புத் தேவைகளை முன்கூட்டியே கணிக்க ஒரு தள துல்லியத் தணிப்பு வளைவு நிறுவப்பட வேண்டும்.
4. சேமிப்பு மற்றும் போக்குவரத்து: மறைக்கப்பட்ட துல்லிய இழப்பைத் தவிர்க்கவும்
நீண்ட கால சேமிப்பிற்கான முக்கிய புள்ளிகள்
சேமிக்கும் போது, ஈரப்பதம்-எதிர்ப்பு மற்றும் தூசி-எதிர்ப்பு கவர் மூலம் மூடப்பட வேண்டும். ஈர்ப்பு விசையால் ஏற்படும் வளைவு சிதைவைத் தடுக்க, அடிப்பகுதி மூன்று புள்ளிகளால் (ஆதரவு புள்ளி தளத்தின் நீளத்தில் 2/9 இல் அமைந்துள்ளது) ஆதரிக்கப்பட வேண்டும் (நீண்ட கால ஒற்றை-புள்ளி ஆதரவு காரணமாக 1-மீட்டர் தளம் 0.3μm தொய்வடையக்கூடும்).
நீண்டகால உள்ளூர் அழுத்தத்தைத் தவிர்க்க, தள ஆதரவு புள்ளிகளின் நிலையை தவறாமல் (மாதாந்திரம்) நகர்த்தவும்.
போக்குவரத்து பாதுகாப்பு திட்டம்
குறுகிய தூர போக்குவரத்து: அதிர்ச்சி-உறிஞ்சும் நுரையால் சுற்றி, ஒரு திடமான சட்டகத்திற்குள் சரிசெய்து, முடுக்கத்தை 2 கிராமுக்குள் வைத்திருங்கள்.
நீண்ட தூர போக்குவரத்து: இது வெற்றிட-பேக் செய்யப்பட்டு உலர்ந்த நைட்ரஜனால் நிரப்பப்பட வேண்டும். வந்த பிறகு, வெப்பநிலை சமநிலையை அடையும் வரை 24 மணி நேரம் நிற்க விட வேண்டும், இதனால் ஒடுக்க நீர் துல்லியத்தை பாதிக்காமல் தடுக்க, பிரித்தெடுக்க வேண்டும்.
5. தவறு கணிப்பு: ஆரம்பகால சிக்கல்களைக் கண்டறிவதற்கான நுட்பங்கள்
காட்சி ஆய்வு: 40x பூதக்கண்ணாடி மூலம் மேற்பரப்பை தவறாமல் கண்காணிக்கவும். தொடர்ச்சியான கீறல்கள் அல்லது பளபளப்பில் குறிப்பிடத்தக்க குறைவு காணப்பட்டால், அது துல்லியத்தில் சரிவைக் குறிக்கலாம்.
ஒலி கண்டறிதல்: தளத்தை மெதுவாகத் தட்டவும். ஒலி கரகரப்பாக மாறினால் (பொதுவாக அது தெளிவான ஒலியாக இருக்க வேண்டும்), உள்ளே மைக்ரோ-பிளவுகள் இருக்கலாம். கண்டறிதலுக்காக உடனடியாக அதைப் பயன்படுத்துவதை நிறுத்துங்கள்.
இந்தப் பராமரிப்பு அமைப்பின் மூலம், ZHHIMG® கிரானைட் தளம் 10 ஆண்டுகளுக்கு ±1μm/m தட்டையான தன்மையைப் பராமரிக்க முடியும், இது சரியாகப் பராமரிக்கப்படாத தளங்களின் துல்லியமான ஆயுளை விட மூன்று மடங்கு அதிகமாகும். ஒரு குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தி தொழிற்சாலை இந்தத் தீர்வை ஏற்றுக்கொண்ட பிறகு, தள அளவுத்திருத்தத்தின் அதிர்வெண் 50% குறைக்கப்பட்டது, மேலும் வருடாந்திர பராமரிப்பு செலவு 150,000 யுவானுக்கு மேல் சேமிக்கப்பட்டது என்பதை நடைமுறை நிரூபித்துள்ளது.
இடுகை நேரம்: ஜூன்-18-2025