வேஃபர் ஸ்கேனிங்கின் போது வெப்பம் காரணமாக கிரானைட் இயந்திரத்தின் அடிப்பகுதி விரிவடையும்?

சிப் உற்பத்தியின் முக்கிய இணைப்பான வேஃபர் ஸ்கேனிங்கில், உபகரணங்களின் துல்லியம் சிப்பின் தரத்தை தீர்மானிக்கிறது. உபகரணங்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாக, கிரானைட் இயந்திர அடித்தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்க சிக்கல் அதிக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது.

கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் பொதுவாக 4 முதல் 8×10⁻⁶/℃ வரை இருக்கும், இது உலோகங்கள் மற்றும் பளிங்குக் கல்லை விட மிகக் குறைவு. இதன் பொருள் வெப்பநிலை மாறும்போது, ​​அதன் அளவு ஒப்பீட்டளவில் குறைவாகவே மாறுகிறது. இருப்பினும், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் என்பது வெப்ப விரிவாக்கம் இல்லை என்று அர்த்தமல்ல என்பதை கவனத்தில் கொள்ள வேண்டும். தீவிர வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ், சிறிதளவு விரிவாக்கம் கூட வேஃபர் ஸ்கேனிங்கின் நானோ அளவிலான துல்லியத்தை பாதிக்கலாம்.

வேஃபர் ஸ்கேனிங் செயல்பாட்டின் போது, ​​வெப்ப விரிவாக்கம் ஏற்படுவதற்கு பல காரணங்கள் உள்ளன. பட்டறையில் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள், உபகரணக் கூறுகளின் செயல்பாட்டால் உருவாகும் வெப்பம் மற்றும் லேசர் செயலாக்கத்தால் ஏற்படும் உடனடி உயர் வெப்பநிலை ஆகியவை கிரானைட் அடித்தளத்தை "வெப்பநிலை மாற்றங்கள் காரணமாக விரிவடைந்து சுருங்கச்" செய்யும். அடித்தளம் வெப்ப விரிவாக்கத்திற்கு உட்பட்டவுடன், வழிகாட்டி தண்டவாளத்தின் நேரான தன்மை மற்றும் தளத்தின் தட்டையான தன்மை விலகக்கூடும், இதன் விளைவாக வேஃபர் மேசையின் தவறான இயக்கப் பாதை ஏற்படுகிறது. துணை ஆப்டிகல் கூறுகளும் மாறும், இதனால் ஸ்கேனிங் கற்றை "விலகும்". நீண்ட நேரம் தொடர்ந்து வேலை செய்வது பிழைகளையும் குவித்து, துல்லியத்தை மோசமாக்கும்.

ஆனால் கவலைப்பட வேண்டாம். மக்களிடம் ஏற்கனவே தீர்வுகள் உள்ளன. பொருட்களைப் பொறுத்தவரை, வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் கொண்ட கிரானைட் நரம்புகள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டு வயதான சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்படும். வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டைப் பொறுத்தவரை, பட்டறை வெப்பநிலை 23±0.5℃ அல்லது அதற்கும் குறைவாக துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அடித்தளத்திற்காக ஒரு செயலில் உள்ள வெப்பச் சிதறல் சாதனமும் வடிவமைக்கப்படும். கட்டமைப்பு வடிவமைப்பைப் பொறுத்தவரை, சமச்சீர் கட்டமைப்புகள் மற்றும் நெகிழ்வான ஆதரவுகள் ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன, மேலும் வெப்பநிலை உணரிகள் மூலம் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மேற்கொள்ளப்படுகிறது. வெப்ப சிதைவால் ஏற்படும் பிழைகள் வழிமுறைகளால் மாறும் வகையில் சரி செய்யப்படுகின்றன.

ASML லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் போன்ற உயர்நிலை உபகரணங்கள், இந்த முறைகள் மூலம், கிரானைட் அடித்தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்க விளைவை மிகச் சிறிய வரம்பிற்குள் வைத்திருக்கின்றன, இதனால் வேஃபர் ஸ்கேனிங் துல்லியம் நானோமீட்டர் அளவை அடைய உதவுகிறது. எனவே, அது முறையாகக் கட்டுப்படுத்தப்படும் வரை, கிரானைட் அடித்தளம் வேஃபர் ஸ்கேனிங் கருவிகளுக்கு நம்பகமான தேர்வாகவே உள்ளது.