தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட் பாகங்களைப் பயன்படுத்துவது மிகவும் பிரபலமாகிவிட்டது.கிரானைட் அதன் பல நன்மைகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தில் பயன்படுத்த ஒரு பிரபலமான தேர்வாகும்.கிரானைட் மிகவும் கடினமான மற்றும் நீடித்த பொருட்களில் ஒன்றாகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தொழிலில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக உள்ளது.இது ஒரு சிறந்த வெப்ப கடத்தி மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் கிரானைட் பாகங்களின் செயலாக்க தொழில்நுட்பம் பல்வேறு நுட்பங்கள் மற்றும் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது.கிரானைட் மேற்பரப்பை மெருகூட்டுதல், பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் ஆகியவை முக்கியமான படிகள்.பயன்படுத்தப்படும் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் வகை பயன்பாடு மற்றும் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் வகையைப் பொறுத்தது.
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் கிரானைட் பாகங்களை செயலாக்குவதில் மெருகூட்டல் ஒரு முக்கியமான அம்சமாகும்.கிரானைட்டின் மேற்பரப்பை அதிக அளவு மென்மைக்கு மெருகூட்டுவது, செயலாக்கத்தின் போது செதில் சேதமடையாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய உதவுகிறது.இது செதில்களின் மேற்பரப்பில் துகள்கள் அல்லது கீறல்கள் மூலம் மாசுபடுவதற்கான வாய்ப்புகளை குறைக்கிறது.மெக்கானிக்கல் பாலிஷ், கெமிக்கல் பாலிஷிங் மற்றும் எலக்ட்ரோகெமிக்கல் பாலிஷ் போன்ற பல்வேறு முறைகள் மூலம் மெருகூட்டலை அடையலாம்.
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் கிரானைட் பாகங்களை செயலாக்குவதற்கான மற்றொரு அடிப்படை அம்சம் பொறித்தல் ஆகும்.கிரானைட் பகுதியின் மேற்பரப்பில் விரும்பிய வடிவங்களை உருவாக்க பொறித்தல் பயன்படுத்தப்படுகிறது.செமிகண்டக்டர் செதில்களின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் வடிவங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.பிளாஸ்மா பொறித்தல், ஈரமான இரசாயன பொறித்தல் மற்றும் உலர் இரசாயன பொறித்தல் உள்ளிட்ட பல வழிகள் உள்ளன.பயன்படுத்தப்படும் பொறித்தல் செயல்முறையின் வகை பொருள் மற்றும் விரும்பிய வடிவத்தைப் பொறுத்தது.
கிரானைட் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்வதும் முக்கியமானது.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் குறுக்கிடக்கூடிய துகள்கள் மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் போன்ற அசுத்தங்களை மேற்பரப்பில் இருந்து அகற்றுவதற்கு சுத்தம் செய்யும் செயல்முறை அவசியம்.மீயொலி சுத்தம், இரசாயன சுத்தம் அல்லது பிளாஸ்மா சுத்தம் போன்ற பல்வேறு முறைகளைப் பயன்படுத்தி சுத்தம் செய்யலாம்.
முடிவில், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் உள்ள கிரானைட் பாகங்களின் செயலாக்க தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.கிரானைட் பாகங்களின் பயன்பாடு இறுதி தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது.செயலாக்க தொழில்நுட்பம் கிரானைட் மேற்பரப்பை மெருகூட்டுதல், பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்வதை உள்ளடக்கியது.ஒவ்வொரு படிநிலைக்கும் பல்வேறு முறைகள் உள்ளன, மேலும் பயன்படுத்தப்படும் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் வகை பொருள் மற்றும் விரும்பிய வடிவத்தைப் பொறுத்தது.சரியான செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையை மிகவும் திறமையாகவும், நம்பகமானதாகவும், செலவு குறைந்ததாகவும் மாற்ற முடியும்.
இடுகை நேரம்: மார்ச்-19-2024