தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட் பாகங்களைப் பயன்படுத்துவது மேலும் மேலும் பிரபலமாகிவிட்டது. செமிகண்டக்டர் கருவிகளின் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தில் அதன் பல நன்மைகள் காரணமாக பயன்படுத்த கிரானைட் ஒரு பிரபலமான தேர்வாகும். கிரானைட் என்பது கடினமான மற்றும் மிகவும் நீடித்த பொருட்களில் ஒன்றாகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக அமைகிறது. இது ஒரு சிறந்த வெப்ப கடத்தி மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த சரியானதாக அமைகிறது.
குறைக்கடத்தி கருவிகளில் கிரானைட் பகுதிகளின் செயலாக்க தொழில்நுட்பம் பலவிதமான நுட்பங்கள் மற்றும் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது. அத்தியாவசிய படிகள் கிரானைட் மேற்பரப்பை மெருகூட்டுதல், பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல். பயன்படுத்தப்படும் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் வகை பயன்பாடு மற்றும் கிரானைட் வகையைப் பொறுத்தது.
செமிகண்டக்டர் கருவிகளில் கிரானைட் பகுதிகளை செயலாக்குவதில் மெருகூட்டல் ஒரு முக்கியமான அம்சமாகும். கிரானைட்டின் மேற்பரப்பை அதிக அளவு மென்மையாக மெருகூட்டுவது செயலாக்கத்தின் போது செதில் சேதமடையவில்லை என்பதை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது. இது செதிலின் மேற்பரப்பில் துகள்கள் அல்லது கீறல்களால் மாசுபடுவதற்கான வாய்ப்புகளை குறைக்கிறது. இயந்திர மெருகூட்டல், வேதியியல் மெருகூட்டல் மற்றும் மின் வேதியியல் மெருகூட்டல் போன்ற பல்வேறு முறைகள் மூலம் மெருகூட்டல் அடைய முடியும்.
செமிகண்டக்டர் கருவிகளில் கிரானைட் பகுதிகளை செயலாக்குவதன் மற்றொரு அடிப்படை அம்சமாகும். கிரானைட் பகுதியின் மேற்பரப்பில் விரும்பிய வடிவங்களை உருவாக்க பொறித்தல் பயன்படுத்தப்படுகிறது. குறைக்கடத்தி செதில்களின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் வடிவங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பிளாஸ்மா பொறித்தல், ஈரமான வேதியியல் பொறித்தல் மற்றும் உலர் இரசாயன பொறித்தல் உள்ளிட்ட பொறிப்பைச் செய்ய பல வழிகள் உள்ளன. பயன்படுத்தப்படும் பொறிப்பு செயல்முறையின் வகை பொருள் மற்றும் விரும்பிய வடிவத்தைப் பொறுத்தது.
கிரானைட் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்வதும் மிக முக்கியமானது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் தலையிடக்கூடிய துகள்கள் மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் போன்ற மேற்பரப்பில் இருந்து எந்த அசுத்தங்களையும் அகற்ற துப்புரவு செயல்முறை அவசியம். மீயொலி சுத்தம், ரசாயன சுத்தம் அல்லது பிளாஸ்மா சுத்தம் போன்ற பல்வேறு முறைகளைப் பயன்படுத்தி சுத்தம் செய்ய முடியும்.
முடிவில், குறைக்கடத்தி கருவிகளில் கிரானைட் பாகங்களின் செயலாக்க தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. கிரானைட் பகுதிகளின் பயன்பாடு இறுதி உற்பத்தியின் தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது. செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தில் கிரானைட் மேற்பரப்பை மெருகூட்டல், பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல் ஆகியவை அடங்கும். ஒவ்வொரு அடைக்கும் பல்வேறு முறைகள் உள்ளன, மேலும் பயன்படுத்தப்படும் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் வகை பொருள் மற்றும் விரும்பிய வடிவத்தைப் பொறுத்தது. சரியான செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையை மிகவும் திறமையான, நம்பகமான மற்றும் செலவு குறைந்ததாக மாற்ற முடியும்.
இடுகை நேரம்: MAR-19-2024