குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் உள்ள கிரானைட் கூறுகளுக்கான தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள் என்ன?

கிரானைட் கூறுகள் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் அதிக நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் நீடித்த தன்மை காரணமாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் துல்லியம் மற்றும் துல்லியத்தை பராமரிப்பதற்கு அவை பொறுப்பு.இருப்பினும், கிரானைட் கூறுகளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை அவற்றின் வடிவமைப்பு, புனையமைப்பு மற்றும் நிறுவலின் போது நிலைநிறுத்தப்படும் தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளைப் பொறுத்தது.

செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் கிரானைட் கூறுகளைப் பயன்படுத்தும் போது கடைபிடிக்க வேண்டிய சில தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள் பின்வருமாறு:

1. பொருள் அடர்த்தி: கிரானைட் கூறுகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் பொருளின் அடர்த்தி சுமார் 2.65g/cm3 ஆக இருக்க வேண்டும்.இது இயற்கையான கிரானைட் பொருளின் அடர்த்தியாகும், மேலும் இது கிரானைட் கூறுகளின் பண்புகளில் நிலைத்தன்மையையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது.

2. பிளாட்னெஸ்: செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகளுக்கான மிக முக்கியமான விவரக்குறிப்புகளில் ஒன்று தட்டையானது.கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையானது 0.001 மிமீ/மீ2க்கு கீழே இருக்க வேண்டும்.இது கூறுகளின் மேற்பரப்பு தட்டையாகவும் மட்டமாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு அவசியம்.

3. மேற்பரப்பு பூச்சு: கிரானைட் கூறுகளின் மேற்பரப்பு பூச்சு உயர் தரத்தில் இருக்க வேண்டும், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை 0.4µm க்கும் குறைவாக இருக்கும்.இது கிரானைட் கூறுகளின் மேற்பரப்பில் உராய்வு குறைந்த குணகம் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் சீரான செயல்பாட்டிற்கு முக்கியமானது.

4. வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் வெவ்வேறு வெப்பநிலையில் செயல்படுகின்றன, மேலும் கிரானைட் கூறுகள் சிதைவு இல்லாமல் வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்களைத் தாங்கக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும்.குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் 2 x 10^-6 /°Cக்குக் கீழே இருக்க வேண்டும்.

5. பரிமாண சகிப்புத்தன்மை: கிரானைட் கூறுகளின் செயல்திறனுக்கு பரிமாண சகிப்புத்தன்மை முக்கியமானது.கிரானைட் கூறுகளின் பரிமாண சகிப்புத்தன்மை அனைத்து முக்கிய பரிமாணங்களுக்கும் ± 0.1 மிமீக்குள் இருக்க வேண்டும்.

6. கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகளுக்கு இன்றியமையாத குறிப்புகள் ஆகும்.கிரானைட் மோஸ் அளவுகோல் 6-7 கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்ற பொருளாக அமைகிறது.

7. இன்சுலேஷன் செயல்திறன்: செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகள், உணர்திறன் மின்னணு கூறுகளுக்கு சேதம் ஏற்படுவதைத் தடுக்க சிறந்த காப்பு செயல்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.மின் எதிர்ப்பானது 10^9 Ω/cmக்கு மேல் இருக்க வேண்டும்.

8. இரசாயன எதிர்ப்பு: கிரானைட் கூறுகள் அமிலங்கள் மற்றும் காரங்கள் போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பொதுவான இரசாயனங்களுக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்க வேண்டும்.

முடிவில், செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகளுக்கான தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள் இரண்டு கூறுகளின் நீண்ட ஆயுளையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதிசெய்யும். கூறுகள் மிக உயர்ந்த தரத்தில் இருப்பதை உறுதி செய்வதற்கான செயல்முறைகள்.இந்த தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளைப் பின்பற்றுவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் உபகரணங்களின் செயல்திறன் உகந்ததாக இருப்பதை உறுதிசெய்து, உற்பத்தித்திறன் மற்றும் லாபத்தை அதிகரிக்க வழிவகுக்கும்.