கிரானைட் கூறுகள் அவற்றின் உயர் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் காரணமாக குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் துல்லியத்தையும் துல்லியத்தையும் பராமரிப்பதற்கு அவர்கள் பொறுப்பு. இருப்பினும், கிரானைட் கூறுகளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை அவற்றின் வடிவமைப்பு, புனையல் மற்றும் நிறுவலின் போது உறுதிப்படுத்தப்பட்ட தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளைப் பொறுத்தது.
குறைக்கடத்தி கருவிகளில் கிரானைட் கூறுகளைப் பயன்படுத்தும் போது கடைபிடிக்க வேண்டிய சில தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள் பின்வருமாறு:
1. பொருள் அடர்த்தி: கிரானைட் கூறுகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் பொருளின் அடர்த்தி 2.65 கிராம்/செ.மீ 3 ஆக இருக்க வேண்டும். இது இயற்கையான கிரானைட் பொருளின் அடர்த்தியாகும், மேலும் இது கிரானைட் கூறுகளின் பண்புகளில் நிலைத்தன்மையையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது.
2. தட்டையானது: குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகளுக்கு தட்டையானது மிக முக்கியமான விவரக்குறிப்புகளில் ஒன்றாகும். கிரானைட் மேற்பரப்பின் தட்டையானது 0.001 மிமீ/மீ 2 க்கு கீழே இருக்க வேண்டும். கூறுகளின் மேற்பரப்பு தட்டையானது மற்றும் நிலை என்பதை இது உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு அவசியம்.
3. மேற்பரப்பு பூச்சு: கிரானைட் கூறுகளின் மேற்பரப்பு பூச்சு உயர் தரமாக இருக்க வேண்டும், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை 0.4µm க்குக் கீழே இருக்க வேண்டும். கிரானைட் கூறுகளின் மேற்பரப்பு குறைந்த உராய்வைக் கொண்டிருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி கருவிகளின் சீரான செயல்பாட்டிற்கு முக்கியமானது.
4. வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் வெவ்வேறு வெப்பநிலையில் இயங்குகின்றன, மேலும் கிரானைட் கூறுகள் சிதைவு இல்லாமல் வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்களைத் தாங்க முடியும். குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 2 x 10^-6 /. C க்கு கீழே இருக்க வேண்டும்.
5. பரிமாண சகிப்புத்தன்மை: கிரானைட் கூறுகளின் செயல்திறனுக்கு பரிமாண சகிப்புத்தன்மை முக்கியமானது. கிரானைட் கூறுகளின் பரிமாண சகிப்புத்தன்மை அனைத்து முக்கியமான பரிமாணங்களுக்கும் ± 0.1 மிமீ இருக்க வேண்டும்.
6. கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகளுக்கு கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு என்பது அத்தியாவசிய விவரக்குறிப்புகள். கிரானைட் MOHS அளவிலான 6-7 இன் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உபகரண பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த பொருத்தமான பொருளாக அமைகிறது.
7. காப்பு செயல்திறன்: செமிகண்டக்டர் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகள் முக்கியமான மின்னணு கூறுகளுக்கு சேதம் ஏற்படுவதைத் தடுக்க சிறந்த காப்பு செயல்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். மின் எதிர்ப்பு 10^9 ω/cm க்கு மேல் இருக்க வேண்டும்.
8. வேதியியல் எதிர்ப்பு: அமிலங்கள் மற்றும் காரங்கள் போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பொதுவான இரசாயனங்கள் கிரானைட் கூறுகள் எதிர்க்க வேண்டும்.
முடிவில், குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் கூறுகளுக்கான தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகள் அவை பயன்படுத்தப்படும் கூறுகள் மற்றும் உபகரணங்களின் நீண்ட ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கு முக்கியமானவை. மேற்கூறிய வழிகாட்டுதல்கள் வடிவமைப்பு, புனைகதை மற்றும் நிறுவல் செயல்முறைகளின் போது கண்டிப்பாக மிகுந்த தரத்தை உறுதிப்படுத்த வேண்டும். இந்த தரநிலைகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளைப் பின்பற்றுவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் சாதனங்களின் செயல்திறன் உகந்ததாக இருப்பதை உறுதி செய்யலாம், இது உற்பத்தித்திறன் மற்றும் லாபத்தை அதிகரிக்கும்.
இடுகை நேரம்: MAR-20-2024