I. கிரானைட் ஸ்ட்ரைட்எட்ஜ் உற்பத்தி செயல்முறை
மூலப்பொருட்களை பிரித்தெடுத்தல் மற்றும் வெட்டுதல்
பொருள் தேர்வு அளவுகோல்கள்: ≥2.7g/cm³ அடர்த்தி மற்றும் < 0.1% நீர் உறிஞ்சுதல் விகிதம் (ஷான்டாங்கிலிருந்து "ஜினன் கிரீன்" மற்றும் இந்தியாவிலிருந்து "பிளாக் கோல்ட் சாண்ட்" போன்றவை) கொண்ட உயர்தர கிரானைட் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். கனிமத் துகள்கள் சீரானதாக (குவார்ட்ஸ் துகள்கள் ≤2 மிமீ), விரிசல்கள் மற்றும் துளைகள் இல்லாமல் இருக்க வேண்டும், மேலும் மறைக்கப்பட்ட குறைபாடுள்ள கற்களை எக்ஸ்-ரே குறைபாடு கண்டறிதல் மூலம் அகற்ற வேண்டும்.
கரடுமுரடான வெட்டு: வைர வட்ட வடிவ ரம்பத்தைப் பயன்படுத்தி, முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு அளவை விட 5-10 மிமீ பெரியதாக வெட்டவும். வெட்டும் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை பிழை ± 0.5 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.
2. வயதான சிகிச்சை
இயற்கையான முதுமை: பச்சை நிற உடலை 6 முதல் 12 மாதங்கள் வரை திறந்த வெளியில் வைக்கவும். பகல் மற்றும் இரவு வெப்பநிலை வேறுபாடு மற்றும் ஈரப்பதத்தில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் மூலம், பிந்தைய கட்டத்தில் சிதைவைத் தடுக்க 90% க்கும் அதிகமான உள் அழுத்தம் வெளியிடப்படுகிறது.
செயற்கை வயதானது (விரும்பினால்): சில உற்பத்தியாளர்கள் அழுத்த வெளியீட்டை விரைவுபடுத்த 24 மணிநேரத்திற்கு நிலையான வெப்பநிலை உலையை (100-150℃) பயன்படுத்துகின்றனர், இது அவசர ஆர்டர்களுக்கு ஏற்றது, ஆனால் விளைவு இயற்கையான வயதானதை விட சற்று குறைவாக உள்ளது.
3. கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் குறிப்பு மேற்பரப்பு செயலாக்கம்
கரடுமுரடான அரைத்தல் மற்றும் வடிவமைத்தல்: காலியான பகுதியை அரைக்க 200-400 கண்ணி வைர அரைக்கும் சக்கரத்தைப் பயன்படுத்தவும், வெட்டுக் கோடுகளை அகற்றவும், ±0.5mm இலிருந்து ±0.1mm/m (100μm/m) வரையிலான தட்டையான தன்மையை சரிசெய்யவும், மேலும் குறிப்பு மேற்பரப்பை தீர்மானிக்கவும்.
வேலை செய்யாத மேற்பரப்பு சிகிச்சை: விளிம்பு விரிசல் மற்றும் ஈரப்பதம் உறிஞ்சுதல் விரிவாக்கத்தைத் தடுக்க பக்கவாட்டு மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகளை (துரு எதிர்ப்பு வண்ணப்பூச்சு தெளிப்பது போன்றவை) சேம்பர் அல்லது கோட் செய்யவும்.
4. துல்லியமான அரைத்தல் (மைய செயல்முறை)
துல்லியமான பாய்ச்சல் படிநிலை அரைத்தல் மூலம் அடையப்படுகிறது, இது மூன்று நிலைகளாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது:
கரடுமுரடான அரைத்தல்: கிரானைட் அரைக்கும் தளத்துடன் இணைந்து 400-800 கண்ணி உராய்வுப் பொருட்களை (சிலிக்கான் கார்பைடு அல்லது வைர நுண் தூள்) பயன்படுத்தி தட்டையான தன்மையை ±10μm/m ஆகவும், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra≤0.8μm ஆகவும் சரிசெய்யவும்.
துல்லியமான அரைத்தல்: 1200-2000 கண்ணி உராய்வுப் பொருட்களுக்கு மாறுவதன் மூலமும், நிகழ்நேர கண்காணிப்புக்காக மின்னணு நிலை (துல்லியம் ±1μm/m) உடன் இணைப்பதன் மூலமும், தட்டையானது ±3μm/m ஆக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra ≤0.4μm ஆகும்.
மிக நுண்ணிய அரைத்தல் (உயர் துல்லியமான தயாரிப்புகளுக்கான திறவுகோல்): W10-W5 தர நுண்ணிய தூள் (துகள் அளவு 5-10μm) மற்றும் இரசாயன பாலிஷ் திரவத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், "இயந்திர அரைத்தல் + வேதியியல் அரிப்பு" என்ற இரட்டைச் செயல்பாட்டின் மூலம், இறுதி தட்டையானது ±1μm/m ஐ அடையலாம், மேலும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra≤0.2μm ஐ அடையலாம்.
5. துல்லியமான கண்டறிதல் மற்றும் திருத்தம்
கண்டறிதல் உபகரணங்கள்: தட்டையான தன்மை மற்றும் நேரான தன்மையை முழு வீச்சில் கண்டறிவதற்கும், பிழை பரவல் வரைபடத்தை வரைவதற்கும் லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் (துல்லியம் ± 0.1μm) மற்றும் மின்னணு நிலை (தெளிவுத்திறன் 0.001 மிமீ/மீ) பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
மூடிய-சுழற்சி திருத்தம்: கண்டறிதல் தரவுகளின் அடிப்படையில், இலக்கு வரம்பிற்குள் முழு அளவிலான பிழை கட்டுப்படுத்தப்படும் வரை, CNC அரைக்கும் இயந்திரம் மூலம் உயர்-பிழை பகுதியில் உள்ளூர் துணை அரைத்தல் மேற்கொள்ளப்படுகிறது.
6. மேற்பரப்பு பாதுகாப்பு மற்றும் பேக்கேஜிங்
பாதுகாப்பு சிகிச்சை: நீண்ட கால பயன்பாட்டின் போது ஈரப்பதம் உறிஞ்சுதல் அல்லது ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்க, குறிப்பு மேற்பரப்பில் நானோ அளவிலான சிலிக்கா பூச்சு (5-10μm தடிமன்) தெளிக்கவும், மேலும் வேலை செய்யாத மேற்பரப்பில் அரிப்பு எதிர்ப்பு மெழுகு அடுக்கைப் பயன்படுத்தவும்.
துல்லியமான பேக்கேஜிங்: இது அதிர்ச்சியைத் தடுக்கும் மரப் பெட்டிகளில் உலர்த்திகளுடன் நிரம்பியுள்ளது. போக்குவரத்தின் போது, அதிர்வுகளால் ஏற்படும் துல்லியமான குறைப்பைத் தவிர்க்க வெப்பநிலை வேறுபாடு ±5℃ க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
Ii. மிக உயர்ந்த துல்லிய தரம் மற்றும் தொழில்துறை தரநிலைகள்
கிரானைட் நேர்கோட்டின் துல்லியம் மையக் குறியீடாக தட்டையான பிழையை அடிப்படையாகக் கொண்டது. தேசிய தரநிலை (GB/T 4977-2018) மற்றும் சர்வதேச தரநிலை (ISO 2768-2) ஆகியவற்றின் படி, அதன் துல்லிய தரநிலைகள் மற்றும் தொடர்புடைய அளவுருக்கள் பின்வருமாறு:
சிறந்த ஆய்வகங்கள் இறுதி துல்லியத்தை அடைய முடியும்:
நானோ அளவிலான அரைக்கும் நுட்பங்கள் (மாக்னியோரியோலாஜிக்கல் பாலிஷ் மற்றும் அயன் பீம் மாற்றம் போன்றவை) மூலம், சில உயர்நிலை தயாரிப்புகளின் தட்டையான தன்மையை ±0.5μm/m ஆக உடைக்க முடியும் (அதாவது, ஒரு மீட்டர் நீளத்திற்கு பிழை 0.5 மைக்ரோமீட்டருக்கு மேல் இல்லை), இது ஆப்டிகல்-கிரேடு பிளேன் குறிப்பை நெருங்குகிறது. அவை முக்கியமாக விண்வெளி மற்றும் அளவியல் நிறுவனங்கள் போன்ற மிகவும் துல்லியமான சூழ்நிலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
III. துல்லியத்தை பாதிக்கும் காரணிகளின் ஒப்பீடு
சுருக்கம்: கிரானைட் ஸ்ட்ரைட்எட்ஜின் உயர் துல்லியம் "உயர்தர மூலப்பொருட்கள் + மிக நீண்ட வயதானது + தரப்படுத்தப்பட்ட அரைத்தல் + கடுமையான சூழல்" ஆகியவற்றின் முழு-செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை நம்பியுள்ளது, அவற்றில் அரைக்கும் செயல்முறை துல்லியத்தில் முன்னேற்றத்திற்கான மையமாகும். நானோ ஃபேப்ரிகேஷன் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியுடன், அதன் துல்லியம் படிப்படியாக துணை-மைக்ரான் அளவை நோக்கி முன்னேறி வருகிறது மற்றும் உயர்நிலை உற்பத்தித் துறையில் ஒரு ஈடுசெய்ய முடியாத அளவுகோலாக மாறியுள்ளது.
இடுகை நேரம்: மே-19-2025