குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட் கூறுகளின் முக்கிய செயல்பாடுகள் யாவை?

கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் இன்றியமையாத பகுதியாகும், அவை மைக்ரோசிப்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.இந்த கூறுகள் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் தர இயற்கை கல்லில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன.கிரானைட் அதன் சிறந்த வலிமை, விறைப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாதனங்களுக்கான பிரபலமான தேர்வாகும்.இந்த கட்டுரையில், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட் கூறுகளின் முக்கிய செயல்பாடுகளை ஆராய்வோம்.

1. அதிர்வு தணித்தல்

குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட் கூறுகளின் முதன்மை செயல்பாடுகளில் ஒன்று அதிர்வு தணிப்பை வழங்குவதாகும்.மைக்ரோசிப் உற்பத்திக்கு சுத்தமான மற்றும் நிலையான சூழல் தேவைப்படுகிறது, மேலும் அதிர்வுகள் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தலாம் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறையை சீர்குலைக்கலாம்.கிரானைட் கூறுகள் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் முக்கியமான பகுதிகளில், செதில் சக்ஸ் மற்றும் ஸ்டேஜ்கள் போன்றவற்றில், உபகரணங்களின் இயக்கம் அல்லது வெளிப்புற காரணிகளால் ஏற்படும் அதிர்வுகளை உறிஞ்சி குறைக்க பயன்படுத்தப்படுகிறது.

2. வெப்ப நிலைத்தன்மை

கிரானைட் கூறுகள் அவற்றின் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு அறியப்படுகின்றன.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது, மேலும் பிழைகள் அல்லது செயலிழப்புகளைத் தவிர்க்க உபகரணங்கள் நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிக்க வேண்டும்.கிரானைட் கூறுகள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது அவை வெப்பநிலை மாறுபாடுகளுடன் கணிசமாக விரிவடையாது அல்லது சுருங்காது.இந்த அம்சம் நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிக்க மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வுகளை குறைக்க சாதனங்களை செயல்படுத்துகிறது.

3. பரிமாண நிலைத்தன்மை

கிரானைட் கூறுகளின் மற்றொரு முக்கியமான செயல்பாடு அவை வழங்கும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகும்.உற்பத்தி செயல்முறைக்கு துல்லியம் மற்றும் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது, மேலும் செயல்முறை முழுவதும் உபகரணங்கள் அதன் துல்லியமான பரிமாணங்களை பராமரிக்க வேண்டும்.கிரானைட் கூறுகள் அதிக விறைப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் கொண்டவை, அதாவது வெப்பநிலை மாற்றங்கள் அல்லது வெளிப்புற சக்திகளால் ஏற்படும் சிதைவுக்கு அவை குறைவாகவே உள்ளன.இந்த அம்சம் உற்பத்தி செயல்முறையின் போது உபகரணங்கள் அதன் துல்லியமான பரிமாணங்களை பராமரிக்கிறது என்பதை உறுதி செய்கிறது.

4. இரசாயன எதிர்ப்பு

கிரானைட் கூறுகள் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றவை மற்றும் குறைக்கடத்தித் தொழிலில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பல இரசாயனங்களுக்கு எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கின்றன.இரசாயன எதிர்ப்பானது அவசியமானது, ஏனெனில் உற்பத்தி செயல்முறையானது சாதனங்களை சேதப்படுத்தும் அமிலங்கள், தளங்கள் மற்றும் கரைப்பான்கள் போன்ற பல்வேறு இரசாயனங்களைப் பயன்படுத்துகிறது.கிரானைட் கூறுகள் இந்த இரசாயனங்களின் வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும், சாதனங்களுக்கு சேதம் ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைத்து, உற்பத்தி செயல்முறை சீராக இயங்குவதை உறுதி செய்கிறது.

5. தூய்மை

கிரானைட் கூறுகள் சுத்தம் மற்றும் பராமரிக்க எளிதானது.அவை ஒரு மென்மையான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளன, அவை சுத்தமாக துடைக்க எளிதாக்குகின்றன மற்றும் பாக்டீரியா அல்லது பிற அசுத்தங்களைக் கொண்டிருக்காது, அவை சுத்தமான அறை சூழலில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக அமைகின்றன.மைக்ரோசிப்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும், சீரான தரத்தை உறுதிப்படுத்தவும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் தூய்மை அவசியம்.

முடிவுரை

கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் தேவைப்படும் துல்லியம் மற்றும் துல்லியத்திற்கு பங்களிக்கின்றன.இந்த கூறுகள் அதிர்வு தணிப்பு, வெப்ப மற்றும் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன, அவை உபகரணங்களின் திறமையான மற்றும் பயனுள்ள செயல்பாட்டிற்கு இன்றியமையாதவை.தொழில்நுட்பம் முன்னேறும்போது, ​​உயர்தர குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரிக்கும், மேலும் கிரானைட் கூறுகள் இந்த சாதனத்தின் இன்றியமையாத பகுதியாக இருக்கும்.