கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி கருவிகளின் முக்கிய பகுதியாகும், இது மைக்ரோசிப்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த கூறுகள் உயர் தர இயற்கை கல்லிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, அவை குறைக்கடத்தி துறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. கிரானைட் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கருவிகளுக்கு அதன் சிறந்த வலிமை, விறைப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை காரணமாக ஒரு பிரபலமான தேர்வாகும். இந்த கட்டுரையில், குறைக்கடத்தி கருவிகளில் கிரானைட் கூறுகளின் முக்கிய செயல்பாடுகளை ஆராய்வோம்.
1. அதிர்வு அடர்த்தியானது
குறைக்கடத்தி கருவிகளில் கிரானைட் கூறுகளின் முதன்மை செயல்பாடுகளில் ஒன்று அதிர்வு ஈரப்பதத்தை வழங்குவதாகும். மைக்ரோசிப் உற்பத்திக்கு சுத்தமான மற்றும் நிலையான சூழல் தேவைப்படுகிறது, மேலும் அதிர்வுகள் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறையை சீர்குலைக்கும். உபகரணங்களின் இயக்கம் அல்லது வெளிப்புற காரணிகளால் ஏற்படும் அதிர்வுகளை உறிஞ்சி குறைப்பதற்காக செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் முக்கியமான பகுதிகளில் கிரானைட் கூறுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
2. வெப்ப நிலைத்தன்மை
கிரானைட் கூறுகள் அவற்றின் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றவை. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு அதிக வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது, மேலும் பிழைகள் அல்லது செயலிழப்புகளைத் தவிர்க்க உபகரணங்கள் நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிக்க வேண்டும். கிரானைட் கூறுகள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது அவை வெப்பநிலை மாறுபாடுகளுடன் விரிவாக்கவோ அல்லது கணிசமாக சுருங்கவோ இல்லை. இந்த அம்சம் ஒரு நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிக்கவும் வெப்பநிலை சாய்வுகளை குறைக்கவும் உபகரணங்களை செயல்படுத்துகிறது.
3. பரிமாண நிலைத்தன்மை
கிரானைட் கூறுகளின் மற்றொரு முக்கியமான செயல்பாடு அவை வழங்கும் பரிமாண ஸ்திரத்தன்மை. உற்பத்தி செயல்முறைக்கு துல்லியமும் துல்லியமும் தேவைப்படுகிறது, மேலும் உபகரணங்கள் செயல்முறை முழுவதும் அதன் துல்லியமான பரிமாணங்களை பராமரிக்க வேண்டும். கிரானைட் கூறுகள் அதிக விறைப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கத்தைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது வெப்பநிலை மாற்றங்கள் அல்லது வெளிப்புற சக்திகளால் ஏற்படும் சிதைவுக்கு அவை குறைவு. உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது உபகரணங்கள் அதன் துல்லியமான பரிமாணங்களை பராமரிப்பதை இந்த அம்சம் உறுதி செய்கிறது.
4. வேதியியல் எதிர்ப்பு
கிரானைட் கூறுகள் வேதியியல் மந்தமானவை மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பல இரசாயனங்களுக்கு எதிர்க்கின்றன. வேதியியல் எதிர்ப்பு அவசியம், ஏனெனில் உற்பத்தி செயல்முறையானது அமிலங்கள், தளங்கள் மற்றும் கரைப்பான்கள் போன்ற பல்வேறு இரசாயனங்கள் பயன்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது. கிரானைட் கூறுகள் இந்த இரசாயனங்கள் வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும், சாதனங்களுக்கு சேதம் விளைவிக்கும் அபாயத்தைக் குறைக்கும் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறை சீராக இயங்குவதை உறுதி செய்யும்.
5. தூய்மை
கிரானைட் கூறுகள் சுத்தம் செய்ய எளிதானது. அவை மென்மையான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளன, அவை சுத்தமாக துடைக்க எளிதாக்குகின்றன மற்றும் பாக்டீரியா அல்லது பிற அசுத்தங்களைக் கொண்டிருக்காது, அவை சுத்தமான அறை சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக அமைகின்றன. மைக்ரோசிப்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும், நிலையான தரத்தை உறுதிப்படுத்தவும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் தூய்மை அவசியம்.
முடிவு
கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி கருவிகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் தேவையான துல்லியத்திற்கும் துல்லியத்திற்கும் பங்களிக்கின்றன. இந்த கூறுகள் அதிர்வு ஈரமாக்குதல், வெப்ப மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன, அவை சாதனங்களின் திறமையான மற்றும் பயனுள்ள செயல்பாட்டிற்கு இன்றியமையாதவை. தொழில்நுட்பம் முன்னேறும்போது, உயர்தர குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரிக்கும், மேலும் கிரானைட் கூறுகள் இந்த உபகரணத்தின் இன்றியமையாத பகுதியாக இருக்கும்.
இடுகை நேரம்: ஏபிஆர் -08-2024