குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தின் குறிப்பிட்ட செல்வாக்கு.

​
இறுதி துல்லியத்தைப் பின்பற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் என்பது தயாரிப்பு தரம் மற்றும் உற்பத்தி நிலைத்தன்மையைப் பாதிக்கும் முக்கிய அளவுருக்களில் ஒன்றாகும். ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி, எட்சிங் முதல் பேக்கேஜிங் வரை முழு செயல்முறையிலும், பொருட்களின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகங்களில் உள்ள வேறுபாடுகள் உற்பத்தி துல்லியத்தில் பல்வேறு வழிகளில் தலையிடக்கூடும். இருப்பினும், கிரானைட் அடித்தளம், அதன் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்துடன், இந்த சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கான திறவுகோலாக மாறியுள்ளது.
லித்தோகிராஃபி செயல்முறை: வெப்ப சிதைவு வடிவ விலகலை ஏற்படுத்துகிறது.
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய படியாகும். ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரம் மூலம், முகமூடியில் உள்ள சுற்று வடிவங்கள் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் பூசப்பட்ட வேஃபரின் மேற்பரப்புக்கு மாற்றப்படுகின்றன. இந்த செயல்முறையின் போது, ​​ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் உள்ளே வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் பணிமேசையின் நிலைத்தன்மை மிக முக்கியமானவை. பாரம்பரிய உலோகப் பொருட்களை உதாரணமாக எடுத்துக் கொள்ளுங்கள். அவற்றின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் தோராயமாக 12×10⁻⁶/℃ ஆகும். ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் செயல்பாட்டின் போது, ​​லேசர் ஒளி மூலம், ஆப்டிகல் லென்ஸ்கள் மற்றும் இயந்திர கூறுகளால் உருவாக்கப்படும் வெப்பம் உபகரண வெப்பநிலையை 5-10℃ அதிகரிக்கும். லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் பணிமேசை ஒரு உலோக அடித்தளத்தைப் பயன்படுத்தினால், 1 மீட்டர் நீளமுள்ள அடித்தளம் 60-120 μm விரிவாக்க சிதைவை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது முகமூடிக்கும் வேஃபருக்கும் இடையிலான ஒப்பீட்டு நிலையில் மாற்றத்திற்கு வழிவகுக்கும். ​
மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளில் (3nm மற்றும் 2nm போன்றவை), டிரான்சிஸ்டர் இடைவெளி ஒரு சில நானோமீட்டர்கள் மட்டுமே. இவ்வளவு சிறிய வெப்ப சிதைவு ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி வடிவத்தை தவறாக சீரமைக்க போதுமானது, இது அசாதாரண டிரான்சிஸ்டர் இணைப்புகள், ஷார்ட் சர்க்யூட்கள் அல்லது திறந்த சர்க்யூட்கள் மற்றும் பிற சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கிறது, இது நேரடியாக சிப் செயல்பாடுகளின் தோல்விக்கு வழிவகுக்கிறது. கிரானைட் அடித்தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 0.01μm/°C (அதாவது, (1-2) ×10⁻⁶/℃) வரை குறைவாக உள்ளது, மேலும் அதே வெப்பநிலை மாற்றத்தின் கீழ் சிதைவு உலோகத்தின் 1/10-1/5 மட்டுமே. இது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்கு ஒரு நிலையான சுமை தாங்கும் தளத்தை வழங்க முடியும், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி வடிவத்தின் துல்லியமான பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சிப் உற்பத்தியின் மகசூலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

பொறித்தல் மற்றும் படிதல்: கட்டமைப்பின் பரிமாண துல்லியத்தை பாதிக்கிறது.
வேஃபர் மேற்பரப்பில் முப்பரிமாண சுற்று கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கான முக்கிய செயல்முறைகள் பொறித்தல் மற்றும் படிவு ஆகும். செதுக்கல் செயல்பாட்டின் போது, ​​வினைத்திறன் மிக்க வாயு வேஃபரின் மேற்பரப்புப் பொருளுடன் ஒரு வேதியியல் எதிர்வினைக்கு உட்படுகிறது. இதற்கிடையில், உபகரணங்களுக்குள் இருக்கும் RF மின்சாரம் மற்றும் வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு போன்ற கூறுகள் வெப்பத்தை உருவாக்குகின்றன, இதனால் வேஃபர் மற்றும் உபகரணக் கூறுகளின் வெப்பநிலை உயரும். வேஃபர் கேரியர் அல்லது உபகரணத் தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் வேஃபருடன் பொருந்தவில்லை என்றால் (சிலிக்கான் பொருளின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் தோராயமாக 2.6×10⁻⁶/℃), வெப்பநிலை மாறும்போது வெப்ப அழுத்தம் உருவாகும், இது வேஃபரின் மேற்பரப்பில் சிறிய விரிசல்கள் அல்லது சிதைவை ஏற்படுத்தக்கூடும்.
இந்த வகையான சிதைவு பக்கவாட்டு சுவரின் செதுக்கல் ஆழத்தையும் செதுக்கல் மற்றும் செங்குத்துத்தன்மையையும் பாதிக்கும், இதனால் துளைகள் மற்றும் பிற கட்டமைப்புகள் வழியாக பொறிக்கப்பட்ட பள்ளங்களின் பரிமாணங்கள் வடிவமைப்பு தேவைகளிலிருந்து விலகும். இதேபோல், மெல்லிய படல படிவு செயல்பாட்டில், வெப்ப விரிவாக்கத்தில் உள்ள வேறுபாடு படிவு செய்யப்பட்ட மெல்லிய படலத்தில் உள் அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது படலத்தின் விரிசல் மற்றும் உரித்தல் போன்ற சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கும், இது சிப்பின் மின் செயல்திறன் மற்றும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை பாதிக்கிறது. சிலிக்கான் பொருட்களைப் போன்ற வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட கிரானைட் தளங்களைப் பயன்படுத்துவது வெப்ப அழுத்தத்தை திறம்படக் குறைத்து, செதுக்கல் மற்றும் படிவு செயல்முறைகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்யும்.
பேக்கேஜிங் நிலை: வெப்ப பொருத்தமின்மை நம்பகத்தன்மை சிக்கல்களை ஏற்படுத்துகிறது.
குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் கட்டத்தில், சிப் மற்றும் பேக்கேஜிங் பொருட்களுக்கு இடையேயான வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களின் (எபோக்சி பிசின், மட்பாண்டங்கள் போன்றவை) பொருந்தக்கூடிய தன்மை மிக முக்கியமானது. சில்லுகளின் மையப் பொருளான சிலிக்கானின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது, அதே நேரத்தில் பெரும்பாலான பேக்கேஜிங் பொருட்களில் இது ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது. பயன்பாட்டின் போது சிப்பின் வெப்பநிலை மாறும்போது, ​​வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களின் பொருந்தாத தன்மை காரணமாக சிப் மற்றும் பேக்கேஜிங் பொருட்களுக்கு இடையே வெப்ப அழுத்தம் ஏற்படும்.
இந்த வெப்ப அழுத்தம், மீண்டும் மீண்டும் ஏற்படும் வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் (சிப்பின் செயல்பாட்டின் போது வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டல் போன்றவை) விளைவின் கீழ், சிப்பிற்கும் பேக்கேஜிங் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான சாலிடர் மூட்டுகளில் சோர்வு விரிசல் ஏற்பட வழிவகுக்கும், அல்லது சிப் மேற்பரப்பில் உள்ள பிணைப்பு கம்பிகள் உதிர்ந்து, இறுதியில் சிப்பின் மின் இணைப்பு தோல்வியடைய வழிவகுக்கும். சிலிக்கான் பொருட்களுக்கு நெருக்கமான வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட பேக்கேஜிங் அடி மூலக்கூறு பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலமும், பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டின் போது துல்லியத்தைக் கண்டறிவதற்காக சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையுடன் கூடிய கிரானைட் சோதனை தளங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், வெப்ப பொருத்தமின்மையின் சிக்கலை திறம்படக் குறைக்கலாம், பேக்கேஜிங்கின் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் சிப்பின் சேவை வாழ்க்கையை நீடிக்கலாம். ​
உற்பத்தி சூழல் கட்டுப்பாடு: உபகரணங்கள் மற்றும் தொழிற்சாலை கட்டிடங்களின் ஒருங்கிணைந்த நிலைத்தன்மை.
உற்பத்தி செயல்முறையை நேரடியாகப் பாதிப்பதோடு மட்டுமல்லாமல், வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் குறைக்கடத்தி தொழிற்சாலைகளின் ஒட்டுமொத்த சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டுடன் தொடர்புடையது. பெரிய குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பட்டறைகளில், ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்புகளின் தொடக்கம் மற்றும் நிறுத்தம் மற்றும் உபகரணக் கொத்துக்களின் வெப்பச் சிதறல் போன்ற காரணிகள் சுற்றுச்சூழல் வெப்பநிலையில் ஏற்ற இறக்கங்களை ஏற்படுத்தக்கூடும். தொழிற்சாலை தளம், உபகரணத் தளங்கள் மற்றும் பிற உள்கட்டமைப்பின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் மிக அதிகமாக இருந்தால், நீண்ட கால வெப்பநிலை மாற்றங்கள் தரையை விரிசல் அடையச் செய்து உபகரண அடித்தளத்தை மாற்றும், இதனால் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மற்றும் எட்சிங் இயந்திரங்கள் போன்ற துல்லியமான உபகரணங்களின் துல்லியத்தை பாதிக்கும்.
கிரானைட் தளங்களை உபகரண ஆதரவாகப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களைக் கொண்ட தொழிற்சாலை கட்டுமானப் பொருட்களுடன் இணைப்பதன் மூலமும், ஒரு நிலையான உற்பத்தி சூழலை உருவாக்க முடியும், சுற்றுச்சூழல் வெப்ப சிதைவால் ஏற்படும் உபகரண அளவுத்திருத்தத்தின் அதிர்வெண் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைத்து, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிசையின் நீண்டகால நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம், பொருள் தேர்வு, செயல்முறை கட்டுப்பாடு முதல் பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை வரை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு வாழ்க்கைச் சுழற்சியிலும் இயங்குகிறது. ஒவ்வொரு இணைப்பிலும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் தாக்கத்தை கண்டிப்பாகக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும். கிரானைட் தளங்கள், அவற்றின் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் மற்றும் பிற சிறந்த பண்புகளுடன், குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு ஒரு நிலையான இயற்பியல் அடித்தளத்தை வழங்குகின்றன, மேலும் அதிக துல்லியத்தை நோக்கி சில்லு உற்பத்தி செயல்முறைகளின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதற்கான ஒரு முக்கிய உத்தரவாதமாகின்றன.