துல்லியமான ஹைட்ரோஸ்டேடிக் காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்தின் "கண்ணுக்குத் தெரியாத கவசம்": கிரானைட் துல்லிய அடித்தளத்தின் கடுமையான சுற்றுச்சூழல் தேவைகள்.

உயர்நிலை உற்பத்தி மற்றும் அதிநவீன அறிவியல் ஆராய்ச்சித் துறைகளில், துல்லியமான நிலையான அழுத்த காற்று மிதக்கும் இயக்க தளம் என்பது மிகத் துல்லியமான செயல்பாட்டை அடைவதற்கான முக்கிய உபகரணமாகும். கிரானைட் துல்லிய அடித்தளம் தளத்தின் முக்கிய துணைப் பகுதியாகும், மேலும் அதன் செயல்திறன் பணிச்சூழலுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையது. இந்த சுற்றுச்சூழல் தேவைகளைப் புரிந்துகொள்வதும் பூர்த்தி செய்வதும் தளத்தின் உயர் துல்லியமான செயல்பாட்டை உறுதி செய்வது மட்டுமல்லாமல், தொடர்புடைய துறைகளில் அதன் போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கான நிறுவனத்தின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும், இது கீழே விரிவாக விவரிக்கப்பட்டுள்ளது.

1. வெப்பநிலை: பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கான துல்லியமான கட்டுப்பாடு
கிரானைட் அதன் நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றிருந்தாலும், அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் பூஜ்ஜியமாக இல்லை, மேலும் சிறிய வெப்பநிலை மாற்றங்கள் அதன் பரிமாண துல்லியத்தை இன்னும் பாதிக்கலாம். பொதுவாக, கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 5-7 × 10⁻⁶/℃ ஆகும். துல்லியமான நிலையான அழுத்தம் காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்தின் பயன்பாட்டு சூழ்நிலையில், இந்த சிறிய மாற்றம் தளத்தால் பெருக்கப்படுகிறது, இது இயக்க துல்லியத்தின் விலகலுக்கு வழிவகுக்கும். எடுத்துக்காட்டாக, குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், டானாமி மட்டத்தின் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத் தேவைகளுக்கான லித்தோகிராஃபி செயல்முறை, 1 ° C சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கம், 1 மீட்டர் கிரானைட் அடித்தளத்தின் பக்க நீளம் 5-7 மைக்ரான் நேரியல் விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கத்தை உருவாக்கக்கூடும், இது சிப் லித்தோகிராஃபி முறை விலகலை உருவாக்க போதுமானது, மகசூலைக் குறைக்கிறது. எனவே, கிரானைட் துல்லிய அடித்தளத்துடன் பொருத்தப்பட்ட துல்லியமான நிலையான அழுத்த காற்று மிதக்கும் தளம், சிறந்த வேலை சூழல் வெப்பநிலை 20 ° C ± 1 ° C இல் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், நிறுவனங்கள் உயர் துல்லியமான நிலையான வெப்பநிலை ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பை நிறுவலாம், சுற்றுப்புற வெப்பநிலையை தொடர்ந்து கண்காணித்து துல்லியமாக சரிசெய்யலாம், கிரானைட் அடித்தள நிலைத்தன்மையின் அளவை பராமரிக்கலாம், தளம் உயர் துல்லியமான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்யும்.
2. ஈரப்பதம்: நியாயமான கட்டுப்பாடு, அடிப்படை செயல்திறனைப் பாதுகாத்தல்
ஈரப்பதம் துல்லியமான கிரானைட் தளங்களிலும் குறிப்பிடத்தக்க விளைவைக் கொண்டுள்ளது. அதிக ஈரப்பதம் உள்ள சூழலில், கிரானைட் நீர் நீராவியை எளிதில் உறிஞ்சும், மேலும் மேற்பரப்பில் ஒடுக்கம் இருக்கலாம், இது காற்று மிதக்கும் அமைப்பின் இயல்பான செயல்பாட்டில் தலையிடுவது மட்டுமல்லாமல், கிரானைட் மேற்பரப்பின் நீண்டகால அரிப்புக்கு வழிவகுக்கும், அதன் துல்லியம் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையையும் குறைக்கும். உதாரணமாக, ஆப்டிகல் லென்ஸ் அரைக்கும் பட்டறையை எடுத்துக் கொண்டால், ஈரப்பதம் நீண்ட காலத்திற்கு 60% RH ஐ விட அதிகமாக இருந்தால், கிரானைட் தளத்தின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படும் நீராவி காற்று மிதவை படத்தின் சீரான தன்மையை அழித்துவிடும், இதன் விளைவாக லென்ஸ் அரைக்கும் துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் குறையும். எனவே, வேலை செய்யும் சூழலின் ஈரப்பதத்தை 40%-60% RH க்கு இடையில் கட்டுப்படுத்த வேண்டும். நிறுவனங்கள் ஈரப்பதத்தை உண்மையான நேரத்தில் கண்காணிக்கவும் கட்டுப்படுத்தவும், துல்லியமான கிரானைட் தளத்திற்கு பொருத்தமான ஈரப்பத சூழலை உருவாக்கவும், துல்லியமான நிலையான அழுத்தம் காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்தின் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்யவும் ஈரப்பதமூட்டிகள், ஈரப்பத உணரிகள் மற்றும் பிற உபகரணங்களைப் பயன்படுத்தலாம்.

3. தூய்மை: கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்துதல், துகள் குறுக்கீட்டை நீக்குதல்
தூசித் துகள்கள் துல்லியமான நிலையான அழுத்த காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்தின் "எதிரி" ஆகும், மேலும் கிரானைட் துல்லிய தளத்திற்கு பெரும் தீங்கு விளைவிக்கும். சிறிய துகள்கள் எரிவாயு மிதவை ஸ்லைடருக்கும் கிரானைட் தளத்திற்கும் இடையிலான வாயு படல இடைவெளியில் நுழைந்தவுடன், அவை வாயு படலத்தின் சீரான தன்மையை அழித்து, உராய்வை அதிகரிக்கலாம், மேலும் அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பைக் கூட கீறலாம், இது தள இயக்கத்தின் துல்லியத்தை கடுமையாக பாதிக்கலாம். விண்வெளி பாகங்களின் அதி-துல்லிய இயந்திரப் பட்டறையில், காற்றில் உள்ள தூசித் துகள்கள் கிரானைட் அடித்தளத்தில் விழுந்தால், இயந்திரக் கருவியின் இயக்கப் பாதை விலகக்கூடும், இது பாகங்களின் இயந்திர துல்லியத்தை பாதிக்கும். எனவே, வேலை செய்யும் பகுதி மிகவும் சுத்தமாக இருக்க வேண்டும் மற்றும் 10,000 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட தூய்மை தரத்தை அடைய வேண்டும். நிறுவனங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட காற்று வடிகட்டிகளை (HEPA) நிறுவுவதன் மூலம் காற்றில் உள்ள தூசித் துகள்களை வடிகட்டலாம், மேலும் மனிதர்களால் கொண்டு வரப்படும் தூசியைக் குறைக்கவும், கிரானைட் அடித்தளத்தின் உயர்-துல்லிய இயக்க சூழலையும் துல்லியமான நிலையான அழுத்த காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்தையும் பராமரிக்க ஊழியர்கள் தூசி இல்லாத ஆடைகள், ஷூ கவர்கள் போன்றவற்றை அணிய வேண்டும்.
4. அதிர்வு: மென்மையான இடத்தை உருவாக்க பயனுள்ள தனிமைப்படுத்தல்
துல்லியமான நிலையான அழுத்த காற்று மிதக்கும் தளத்தின் துல்லியத்தில் வெளிப்புற அதிர்வு தீவிரமாக தலையிடும், இருப்பினும் துல்லியமான கிரானைட் தளம் ஒரு குறிப்பிட்ட அதிர்வு தணிப்பு திறனைக் கொண்டுள்ளது, ஆனால் அதிக வலிமை அதிர்வு இன்னும் அதன் இடையக வரம்பை மீறக்கூடும். தொழிற்சாலையைச் சுற்றியுள்ள போக்குவரத்து மற்றும் பெரிய இயந்திர உபகரணங்களின் செயல்பாட்டால் உருவாகும் அதிர்வு தரை வழியாக கிரானைட் தளத்திற்கு பரவுகிறது, இது தள இயக்கத்தின் துல்லியத்தில் தலையிடும். உயர்நிலை CMM இல், அதிர்வு அளவிடும் ஆய்வுக்கும் அளவிடப்படும் பணிப்பகுதிக்கும் இடையிலான தொடர்பை நிலையற்றதாக மாற்றக்கூடும், இதன் விளைவாக அளவீட்டுத் தரவு விலகும். இந்த சிக்கலைத் தீர்க்க, உபகரணங்கள் நிறுவல் பகுதியில் அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் பட்டைகளை இடுதல், அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் அடித்தளத்தை உருவாக்குதல் அல்லது வெளிப்புற அதிர்வுகளை தீவிரமாக ஈடுசெய்ய செயலில் உள்ள அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் அமைப்பைப் பயன்படுத்துதல் போன்ற பயனுள்ள அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் நடவடிக்கைகளைப் பின்பற்றுவது அவசியம், மேலும் கிரானைட் துல்லிய அடித்தளம் மற்றும் துல்லியமான நிலையான அழுத்தம் காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்திற்கு அமைதியான மற்றும் நிலையான பணிச்சூழலை உருவாக்குதல்.
துல்லியமான நிலையான அழுத்த காற்று மிதக்கும் இயக்க தளத்தில் கிரானைட் துல்லிய அடித்தளத்தின் நன்மைகளை முழுமையாகப் பயன்படுத்த, பல்வேறு தொழில்களுக்கு உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் நிலைத்தன்மை கொண்ட இயக்கக் கட்டுப்பாட்டு சேவைகளை தளம் வழங்குவதை உறுதிசெய்ய, மேலே உள்ள சுற்றுச்சூழல் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யுங்கள். உற்பத்தி சூழலில் நிறுவனங்கள் இந்த விவரங்களுக்கு கவனம் செலுத்த முடிந்தால், அவர்கள் துல்லியமான உற்பத்தி, அறிவியல் ஆராய்ச்சி மற்றும் பிற துறைகளில் வாய்ப்பைப் பயன்படுத்திக் கொள்வார்கள், தங்கள் போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்துவார்கள் மற்றும் நிலையான வளர்ச்சியை அடைவார்கள்.