செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் கிரானைட் கூறுகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் அவற்றின் சிறந்த மேற்பரப்பு பூச்சு, அதிக விறைப்பு மற்றும் சிறந்த அதிர்வு ஈரப்பதம் போன்ற சிறந்த பண்புகள். லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், மெருகூட்டல் இயந்திரங்கள் மற்றும் அளவீட்டு அமைப்புகள் உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு கருவிகளுக்கு கிரானைட் கூறுகள் அவசியம், ஏனெனில் அவை உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் மற்றும் நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன. கிரானைட் கூறுகளைப் பயன்படுத்துவதன் அனைத்து நன்மைகளும் இருந்தபோதிலும், அவற்றில் குறைபாடுகள் உள்ளன. இந்த கட்டுரையில், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை தயாரிப்புகளுக்கான கிரானைட் கூறுகளின் குறைபாடுகள் குறித்து விவாதிப்போம்.
முதலாவதாக, கிரானைட் கூறுகள் அதிக வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன. இதன் பொருள் அவை வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் கணிசமாக விரிவடைகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது சிக்கல்களை ஏற்படுத்தக்கூடும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு வெப்ப அழுத்தத்தால் சமரசம் செய்யக்கூடிய அதிக துல்லியமான மற்றும் பரிமாண துல்லியம் தேவைப்படுகிறது. உதாரணமாக, வெப்ப விரிவாக்கம் காரணமாக சிலிக்கான் வேஃபர் சிதைவு லித்தோகிராஃபி போது சீரமைப்பு சிக்கல்களை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் தரத்தை சமரசம் செய்யலாம்.
இரண்டாவதாக, கிரானைட் கூறுகளில் போரோசிட்டி குறைபாடுகள் உள்ளன, அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் வெற்றிட கசிவுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும். கணினியில் காற்று அல்லது வேறு எந்த வாயுவும் இருப்பது செதிலின் மேற்பரப்பில் மாசுபடுவதை ஏற்படுத்தக்கூடும், இதன் விளைவாக குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் செயல்திறனை பாதிக்கக்கூடிய குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன. ஆர்கான் மற்றும் ஹீலியம் போன்ற மந்த வாயுக்கள் நுண்ணிய கிரானைட் கூறுகளாகப் பிரித்து, வெற்றிட செயல்முறையின் ஒருமைப்பாட்டில் தலையிடக்கூடிய வாயு குமிழ்களை உருவாக்கக்கூடும்.
மூன்றாவதாக, கிரானைட் கூறுகள் மைக்ரோஃபிராக்சர்களைக் கொண்டுள்ளன, அவை உற்பத்தி செயல்முறையின் துல்லியத்தில் தலையிடக்கூடும். கிரானைட் என்பது ஒரு உடையக்கூடிய பொருள், இது காலப்போக்கில் மைக்ரோஃபிராக்சர்களை உருவாக்கக்கூடும், குறிப்பாக நிலையான மன அழுத்த சுழற்சிகளுக்கு வெளிப்படும் போது. மைக்ரோஃபிராக்சர்களின் இருப்பு பரிமாண உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும், இதனால் உற்பத்தி செயல்முறையின் போது குறிப்பிடத்தக்க சிக்கல்களை ஏற்படுத்தும், அதாவது லித்தோகிராஃபி சீரமைப்பு அல்லது செதில் மெருகூட்டல்.
நான்காவது, கிரானைட் கூறுகள் மட்டுப்படுத்தப்பட்ட நெகிழ்வுத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு வெவ்வேறு செயல்முறை மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப நெகிழ்வான உபகரணங்கள் தேவைப்படுகின்றன. இருப்பினும், கிரானைட் கூறுகள் கடினமானவை மற்றும் வெவ்வேறு செயல்முறை மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப மாற்ற முடியாது. எனவே, உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஏதேனும் மாற்றங்கள் கிரானைட் கூறுகளை அகற்றுதல் அல்லது மாற்றுவது அவசியம், இது வேலையில்லா நேரத்திற்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் உற்பத்தித்திறனை பாதிக்கிறது.
ஐந்தாவது, கிரானைட் கூறுகளுக்கு அவற்றின் எடை மற்றும் பலவீனம் காரணமாக சிறப்பு கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்து தேவைப்படுகிறது. கிரானைட் என்பது அடர்த்தியான மற்றும் கனமான பொருள், இது கிரேன்கள் மற்றும் லிஃப்டர்கள் போன்ற சிறப்பு கையாளுதல் உபகரணங்கள் தேவைப்படுகிறது. கூடுதலாக, கிரானைட் கூறுகளுக்கு ஏற்றுமதியின் போது சேதத்தைத் தடுக்க கவனமாக பொதி மற்றும் போக்குவரத்து தேவைப்படுகிறது, இது கூடுதல் செலவுகள் மற்றும் நேரத்திற்கு வழிவகுக்கிறது.
முடிவில், கிரானைட் கூறுகள் சில குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை தயாரிப்புகளின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித்திறனை பாதிக்கும். கிரானைட் கூறுகளை கவனமாகக் கையாளுதல் மற்றும் பராமரித்தல் மூலம் இந்த குறைபாடுகள் குறைக்கப்படலாம், இதில் மைக்ரோஃபிராக்சர்கள் மற்றும் போரோசிட்டி குறைபாடுகள், மாசுபடுவதைத் தடுக்க சரியான சுத்தம் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது கவனமாக கையாளுதல் ஆகியவை அடங்கும். குறைபாடுகள் இருந்தபோதிலும், கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒரு முக்கிய பகுதியாக இருக்கின்றன, ஏனெனில் அவற்றின் உயர்ந்த மேற்பரப்பு பூச்சு, அதிக விறைப்பு மற்றும் சிறந்த அதிர்வு அடர்த்தியானது.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர் -05-2023