கிரானைட் கூறுகள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றின் சிறந்த பண்புகளான உயர்ந்த மேற்பரப்பு பூச்சு, அதிக விறைப்பு மற்றும் சிறந்த அதிர்வு தணிப்பு போன்றவை.லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், மெருகூட்டல் இயந்திரங்கள் மற்றும் அளவியல் அமைப்புகள் உள்ளிட்ட குறைக்கடத்தி தயாரிப்பு உபகரணங்களுக்கு கிரானைட் கூறுகள் இன்றியமையாதவை.கிரானைட் கூறுகளைப் பயன்படுத்துவதன் அனைத்து நன்மைகள் இருந்தபோதிலும், அவை குறைபாடுகளையும் கொண்டுள்ளன.இந்த கட்டுரையில், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை தயாரிப்புகளுக்கான கிரானைட் கூறுகளின் குறைபாடுகளைப் பற்றி விவாதிப்போம்.
முதலாவதாக, கிரானைட் கூறுகள் அதிக வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்டவை.வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் அவை கணிசமாக விரிவடைகின்றன, இது உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது சிக்கல்களை ஏற்படுத்தக்கூடும்.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு அதிக துல்லியம் மற்றும் பரிமாண துல்லியம் தேவைப்படுகிறது, இது வெப்ப அழுத்தத்தின் காரணமாக சமரசம் செய்யப்படலாம்.எடுத்துக்காட்டாக, வெப்ப விரிவாக்கம் காரணமாக சிலிக்கான் செதில் சிதைப்பது லித்தோகிராஃபியின் போது சீரமைப்பு சிக்கல்களை ஏற்படுத்தலாம், இது குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் தரத்தை சமரசம் செய்யலாம்.
இரண்டாவதாக, கிரானைட் கூறுகளில் போரோசிட்டி குறைபாடுகள் உள்ளன, அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் வெற்றிட கசிவை ஏற்படுத்தக்கூடும்.அமைப்பில் காற்று அல்லது வேறு ஏதேனும் வாயு இருப்பதால் செதில்களின் மேற்பரப்பில் மாசு ஏற்படலாம், இதன் விளைவாக குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் செயல்திறனை பாதிக்கும் குறைபாடுகள் ஏற்படலாம்.ஆர்கான் மற்றும் ஹீலியம் போன்ற மந்த வாயுக்கள் நுண்ணிய கிரானைட் கூறுகளுக்குள் ஊடுருவி, வெற்றிட செயல்முறையின் ஒருமைப்பாட்டில் குறுக்கிடக்கூடிய வாயு குமிழ்களை உருவாக்கலாம்.
மூன்றாவதாக, கிரானைட் கூறுகளில் மைக்ரோஃப்ராக்சர்கள் உள்ளன, அவை உற்பத்தி செயல்முறையின் துல்லியத்தில் குறுக்கிடலாம்.கிரானைட் என்பது ஒரு உடையக்கூடிய பொருளாகும், இது காலப்போக்கில் மைக்ரோஃப்ராக்சர்களை உருவாக்க முடியும், குறிப்பாக நிலையான அழுத்த சுழற்சிகளுக்கு வெளிப்படும் போது.மைக்ரோஃப்ராக்சர்களின் இருப்பு பரிமாண உறுதியற்ற தன்மைக்கு வழிவகுக்கும், இது லித்தோகிராஃபி சீரமைப்பு அல்லது செதில் மெருகூட்டல் போன்ற உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது குறிப்பிடத்தக்க சிக்கல்களை ஏற்படுத்துகிறது.
நான்காவது, கிரானைட் கூறுகள் குறைந்த நெகிழ்வுத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு வெவ்வேறு செயல்முறை மாற்றங்களுக்கு இடமளிக்கும் நெகிழ்வான உபகரணங்கள் தேவைப்படுகின்றன.இருப்பினும், கிரானைட் கூறுகள் கடினமானவை மற்றும் வெவ்வேறு செயல்முறை மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப மாற்ற முடியாது.எனவே, உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஏதேனும் மாற்றங்கள் ஏற்பட்டால், கிரானைட் கூறுகளை அகற்றுவது அல்லது மாற்றுவது அவசியமாகிறது, இது வேலையில்லா நேரத்திற்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் உற்பத்தித்திறனை பாதிக்கிறது.
ஐந்தாவது, கிரானைட் கூறுகளுக்கு அவற்றின் எடை மற்றும் பலவீனம் காரணமாக சிறப்பு கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்து தேவைப்படுகிறது.கிரானைட் என்பது அடர்த்தியான மற்றும் கனமான பொருளாகும், இதற்கு கிரேன்கள் மற்றும் லிஃப்டர்கள் போன்ற சிறப்பு கையாளுதல் உபகரணங்கள் தேவைப்படுகின்றன.கூடுதலாக, கிரானைட் கூறுகளுக்கு கப்பலின் போது சேதத்தைத் தடுக்க கவனமாக பேக்கிங் மற்றும் போக்குவரத்து தேவைப்படுகிறது, இது கூடுதல் செலவுகள் மற்றும் நேரத்திற்கு வழிவகுக்கும்.
முடிவில், கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை தயாரிப்புகளின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித்திறனை பாதிக்கும் சில குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன.மைக்ரோஃப்ராக்சர்கள் மற்றும் போரோசிட்டி குறைபாடுகளை அவ்வப்போது ஆய்வு செய்தல், மாசுபடுவதைத் தடுக்க சரியான சுத்தம் செய்தல் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது கவனமாக கையாளுதல் உள்ளிட்ட கிரானைட் கூறுகளை கவனமாக கையாளுதல் மற்றும் பராமரிப்பதன் மூலம் இந்த குறைபாடுகளை குறைக்க முடியும்.குறைபாடுகள் இருந்தபோதிலும், கிரானைட் கூறுகள் அவற்றின் உயர்ந்த மேற்பரப்பு பூச்சு, அதிக விறைப்பு மற்றும் சிறந்த அதிர்வு தணிப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் முக்கிய பகுதியாக உள்ளது.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-05-2023