தொழில்துறை 4.0 மற்றும் அறிவார்ந்த உற்பத்தியின் விரைவான வளர்ச்சியின் பின்னணியில், துல்லியமான கண்டறிதலுக்கான முக்கிய உபகரணமாக 3D அறிவார்ந்த அளவீட்டு கருவிகள், அளவீட்டு நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தின் அடிப்படையில் முன்னோடியில்லாத உயரத்தை எட்டியுள்ளன. ZHHIMG கிரானைட் தளம், அதன் இயற்கையான பொருள் நன்மைகள் மற்றும் நேர்த்தியான செயலாக்க நுட்பங்களுடன், 3D அறிவார்ந்த அளவீட்டு கருவிகள் உயர் துல்லியமான அளவீட்டை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய துணை அங்கமாக மாறியுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, விண்வெளி மற்றும் துல்லியமான அச்சுகள் போன்ற துறைகளில் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கான நம்பகமான உத்தரவாதங்களை வழங்குகிறது.
மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், நிலையான அளவீட்டு குறிப்பு
3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவியின் நீண்டகால செயல்பாட்டின் போது, சாதனத்தால் உருவாக்கப்படும் வெப்பம் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் வெப்பநிலையில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் இரண்டும் அளவீட்டு துல்லியத்தை பாதிக்கும். பாரம்பரிய உலோகப் பொருள் அளவீட்டு தளம் ஒப்பீட்டளவில் அதிக வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் பரிமாண மாற்றங்களுக்கு ஆளாகிறது, இதன் விளைவாக அளவீட்டு குறிப்பின் ஆஃப்செட் ஏற்படுகிறது. ZHHIMG கிரானைட் தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4-8) ×10⁻⁶/℃ மட்டுமே, இது உலோகப் பொருட்களின் மூன்றில் ஒரு பங்கிற்கும் குறைவாக உள்ளது. குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி பட்டறையில், ஏர் கண்டிஷனிங்கின் தொடக்க மற்றும் நிறுத்தத்தின் காரணமாக சுற்றுப்புற வெப்பநிலை சுமார் 5℃ வரை ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கலாம். இந்த நேரத்தில், உலோக தளம் 60μm சிதைவுக்கு உட்படக்கூடும், அதே நேரத்தில் ZHHIMG கிரானைட் தளத்தின் சிதைவு 20-40 μm மட்டுமே. இந்த மிகச் சிறிய பரிமாண மாற்றம் 3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவியின் ஒருங்கிணைப்பு அமைப்பின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்யும், அளவிடும் ஆய்வை எப்போதும் அதன் துல்லியமான ஆரம்ப நிலையில் வைத்திருக்கும் மற்றும் வெப்ப சிதைவால் ஏற்படும் அளவீட்டு பிழைகளைத் தவிர்க்கும். நானோ அளவிலான பரிமாண துல்லியத்திற்கான கடுமையான தேவைகளுடன் சிப் கட்டமைப்புகளை அளவிடுவதற்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது.
அதிக விறைப்புத்தன்மை மற்றும் சீரான அமைப்பு, வெளிப்புற விசை குறுக்கீட்டிற்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது.
3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு செயல்முறையின் போது, அளவிடும் ஆய்வு அளவிடப்படும் பொருளுடன் தொடர்பு கொள்ளும்போது, ஒரு குறிப்பிட்ட விசை உருவாக்கப்படும். அதே நேரத்தில், உபகரணங்களின் இயந்திர இயக்கமும் அதிர்வுகளை ஏற்படுத்தும். ZHHIMG கிரானைட் தளத்தின் உள் கனிம படிக அமைப்பு அடர்த்தியானது மற்றும் சீரானது, மோஸ் அளவில் 6-7 வரை கடினத்தன்மை மற்றும் 120MPa ஐ விட அதிகமான அமுக்க வலிமை கொண்டது, இது அளவீட்டு செயல்பாட்டின் போது பல்வேறு வெளிப்புற சக்திகளை எளிதில் தாங்க உதவுகிறது. அடிக்கடி ஆய்வு இயக்கங்கள், விரைவான ஸ்கேனிங் மற்றும் பிற செயல்பாடுகளின் கீழ் கூட, கிரானைட் தளம் மீள் அல்லது பிளாஸ்டிக் சிதைவுக்கு உட்படாது. அதன் சீரான கட்டமைப்பு பண்புகள் வெளிப்புற சக்திகளால் ஏற்படும் அதிர்வு பரிமாற்றத்தை திறம்பட அடக்கி, அளவீட்டு ஆய்வின் துல்லியமான நிலைப்பாட்டில் அதிர்வு குறுக்கிடுவதைத் தடுக்கலாம். உதாரணமாக, விண்வெளி கூறுகளின் சிக்கலான வளைந்த மேற்பரப்புகளை அளவிடுவதில், ZHHIMG கிரானைட் தளம் ஒழுங்கற்ற வடிவங்களால் ஏற்படும் சீரற்ற சக்திகளை எதிர்கொண்டு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், இது அளவீட்டுத் தரவின் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
சிறந்த தணிப்பு செயல்திறன் அதிர்வுகளின் செல்வாக்கை நீக்குகிறது.
3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவிகளின் துல்லியத்தை பாதிக்கும் முக்கியமான காரணிகளில் அதிர்வு ஒன்றாகும். பட்டறையில் உள்ள பிற உபகரணங்களின் செயல்பாடு மற்றும் பணியாளர்களின் இயக்கம் அனைத்தும் அதிர்வுகளை உருவாக்கக்கூடும். இந்த அதிர்வுகள் அளவிடும் கருவிகளுக்கு அனுப்பப்பட்டால், அவை அளவிடும் ஆய்வை அசைக்கச் செய்யும், இதன் விளைவாக தரவு கையகப்படுத்தல் விலகல்கள் ஏற்படும். ZHHIMG கிரானைட் தளம் இயற்கையான உயர் தணிப்பு பண்பைக் கொண்டுள்ளது. உள்ளே இருக்கும் கனிமத் துகள்கள் மற்றும் சிறிய துளைகள் அதிர்வு ஆற்றலை விரைவாக வெப்ப ஆற்றலாக மாற்றி அதை சிதறடிக்க முடியும். வெளிப்புற அதிர்வுகள் தளத்திற்கு அனுப்பப்படும்போது, அது ஒரு வினாடிக்குள் 90% க்கும் அதிகமான அதிர்வு ஆற்றலைக் குறைக்க முடியும். ஒரு உலோக தளத்தின் 3 முதல் 5 வினாடிகளுடன் ஒப்பிடும்போது, இது உபகரணங்கள் நிலைத்தன்மைக்குத் திரும்புவதற்கான நேரத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. துல்லியமான அச்சுகளின் 3D விளிம்பு அளவீட்டில், இந்த சிறந்த தணிப்பு செயல்திறன் அளவீட்டு ஆய்வின் சீரான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்து, தொடர்ச்சியான மற்றும் துல்லியமான புள்ளி மேகத் தரவைப் பெறலாம், இதன் மூலம் அளவீட்டு திறன் மற்றும் தரவு தரத்தை மேம்படுத்தலாம்.
காந்தமற்றது மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக நிலையானது, தூய அளவீட்டு சூழலை உறுதி செய்கிறது.
சில 3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவிகள், காந்தப்புலங்களுக்கு உணர்திறன் கொண்ட தூண்டல், காந்த கட்டம் மற்றும் பிற சென்சார்களைப் பயன்படுத்துகின்றன. உலோக தளத்தின் காந்தத்தன்மை சென்சார்களின் இயல்பான செயல்பாட்டில் தலையிடக்கூடும். ZHHIMG கிரானைட் தளம் என்பது உலோகம் அல்லாத பொருள், காந்தம் அல்லாத மற்றும் கடத்தும் தன்மை இல்லாதது, மேலும் சென்சாருக்கு எந்த மின்காந்த குறுக்கீட்டையும் ஏற்படுத்தாது, அளவிடும் கருவிகளுக்கு ஒரு தூய மின்காந்த சூழலை உருவாக்குகிறது. கூடுதலாக, கிரானைட் நிலையான வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பை எதிர்க்கும். ஈரப்பதம் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் போன்ற சிக்கலான சூழல்களில் கூட, இது இன்னும் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்க முடியும் மற்றும் அளவீட்டு துல்லியத்தின் அடிப்படையில் மேற்பரப்பு அரிப்பு அல்லது ஆக்சிஜனேற்றத்தால் பாதிக்கப்படாது, இதனால் 3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவிகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.
பல நிறுவனங்கள் 3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவிகளின் உலோக தளங்களை ZHHIMG கிரானைட் தளங்களுடன் மாற்றிய பிறகு, அளவீட்டு துல்லியம் கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டது. ஒரு குறிப்பிட்ட துல்லியமான இயந்திர உற்பத்தி நிறுவனம் ZHHIMG கிரானைட் தளத்துடன் கூடிய 3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவியை அறிமுகப்படுத்திய பிறகு, சிக்கலான கியர்களின் அளவீட்டு பிழை அசல் ±15μm இலிருந்து ±5μm க்குள் குறைக்கப்பட்டது, மேலும் தயாரிப்பு தர ஆய்வின் நம்பகத்தன்மை கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டது.
மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், அதிக விறைப்புத்தன்மை, சிறந்த தணிப்பு செயல்திறன், காந்தமின்மை மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை போன்ற உள்ளார்ந்த நன்மைகளைக் கொண்ட ZHHIMG கிரானைட் தளம், 3D நுண்ணறிவு அளவீட்டு கருவிகளுக்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான அளவீட்டு அடித்தளத்தை வழங்குகிறது, பல்வேறு தொழில்கள் உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் செயல்திறன் தர ஆய்வை அடைய உதவுகிறது, மேலும் அறிவார்ந்த உற்பத்தியின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும் ஒரு முக்கிய சக்தியாக மாறியுள்ளது.
இடுகை நேரம்: மே-20-2025