குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: சில்லு உற்பத்திச் செயல்பாட்டில், மின்சுற்று வடிவத்தைத் துல்லியமாக சில்லுத் தகட்டிற்கு மாற்றுவதற்கு ஒளி அச்சுப் பதிப்பு செயல்முறை தேவைப்படுகிறது. ஒற்றை அச்சு காற்றில் மிதக்கும் அதிதுல்லிய இயக்கத் தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளமானது, அச்சுப் பதிப்பு உபகரணத்தில் உள்ள சில்லுத் தகடு மேசைக்கு உயர் துல்லியமான நிலைப்படுத்தலையும் நிலையான ஆதரவையும் வழங்குகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, ASML மற்றும் பிற சர்வதேச அளவில் புகழ்பெற்ற அச்சுப் பதிப்பு இயந்திர உற்பத்தியாளர்கள், தங்களின் உயர்நிலை உபகரணங்களில் கிரானைட் அடித்தள காற்றில் மிதக்கும் இயக்கத் தொகுதிகளைப் பயன்படுத்துகின்றனர். இவை, அச்சுப் பதிப்பு வடிவத்தின் துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்காக, சில்லுத் தகட்டின் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை நானோமீட்டர் மட்டத்தில் கட்டுப்படுத்த முடியும். இதன்மூலம், சில்லுவின் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன.
துல்லியமான அளவீட்டுத் துறை: CMM என்பது தொழில்துறை உற்பத்தியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துல்லியமான அளவீட்டுக் கருவியாகும், இது ஒரு பொருளின் அளவு, வடிவம் மற்றும் நிலைத் துல்லியத்தை அளவிடப் பயன்படுகிறது. கிரானைட் அடித்தளத்தில் உள்ள ஒற்றை அச்சு காற்று மிதவையின் அதி-துல்லியமான இயக்கத் தொகுதியை CMM-இன் இயக்கத் தளமாகப் பயன்படுத்தலாம். இது உயர்-துல்லியமான நேரியல் இயக்கத்தைச் செயல்படுத்தி, அளவிடும் ஆய்வுக்கருவிக்கு ஒரு நிலையான இயக்கப் பாதையை வழங்குகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, ஹெக்ஸகனின் உயர்தர CMM, இந்த இணைப்பைப் பயன்படுத்தி, பெரிய மற்றும் சிக்கலான பாகங்களை மைக்ரான் நிலை வரையிலான அளவீட்டுத் துல்லியத்துடன் அளவிடுகிறது. இது தானியங்கி, விண்வெளி மற்றும் பிற தொழில்களில் பாகங்களின் தரக் கட்டுப்பாட்டிற்கு ஒரு வலுவான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.
விண்வெளித் துறை: விண்வெளிப் பாகங்களைப் பதப்படுத்துவதிலும் சோதிப்பதிலும் உயர் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது. உதாரணமாக, விமான இயந்திர இறக்கைகளை இயந்திர வேலைப்பாடு செய்யும்போது, இறக்கையின் வடிவத் துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்காக, கருவியின் இயக்கப் பாதையைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டியது அவசியம். ஒற்றை அச்சு காற்றில் மிதக்கும் அதி-துல்லிய இயக்கத் தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளமானது, ஐந்தாம்-அச்சு இயந்திர வேலைப்பாடு மையம் மற்றும் பிற உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படலாம். இது கருவிக்கு உயர்-துல்லிய இயக்கக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குவதோடு, இறக்கையின் இயந்திர வேலைப்பாடு துல்லியம் வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதையும் உறுதி செய்கிறது. அதே நேரத்தில், விமான இயந்திரத்தைப் பொருத்தும் செயல்பாட்டில், பாகங்களின் பொருத்தும் துல்லியத்தைக் கண்டறிய உயர்-துல்லிய அளவீட்டு உபகரணங்களைப் பயன்படுத்துவதும் அவசியமாகிறது. கிரானைட் அடித்தளத்தின் காற்றில் மிதக்கும் இயக்கத் தொகுதியானது, பொருத்தும் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக அளவீட்டு உபகரணங்களுக்கு நிலையான ஆதரவையும் துல்லியமான இயக்கத்தையும் வழங்குகிறது.
ஒளியியல் ஆய்வுத் துறை: ஒளியியல் கூறுகளின் உற்பத்தி மற்றும் சோதனைச் செயல்பாட்டில், ஒளியியல் கூறுகளின் உயர்-துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டைச் செய்வது அவசியமாகும். எடுத்துக்காட்டாக, கண்ணாடிகள் மற்றும் வில்லைகள் போன்ற உயர்-துல்லியமான ஒளியியல் கூறுகளை உற்பத்தி செய்யும்போது, மேற்பரப்பு வடிவத்தின் துல்லியத்தைக் கண்டறிய இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்கள் மற்றும் பிற உபகரணங்களைப் பயன்படுத்த வேண்டியது அவசியம். ஒற்றை அச்சு காற்றில் மிதக்கும் அதி-துல்லியமான இயக்கத் தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளமானது, இன்டர்ஃபெரோமீட்டரின் இயக்கத் தளமாகப் பயன்படுத்தப்படலாம். இது துணை-மைக்ரான் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை அடையவும், ஒளியியல் கூறுகளைக் கண்டறிவதற்குத் துல்லியமான தரவு ஆதரவை வழங்கவும் உதவுகிறது. மேலும், லேசர் செயலாக்க உபகரணங்களில், லேசர் கற்றையின் ஸ்கேனிங் பாதையைக் கட்டுப்படுத்த ஒரு உயர்-துல்லியமான இயக்கத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதும் அவசியமாகும். காற்றில் மிதக்கும் இயக்கத் தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளமானது இந்தத் தேவையைப் பூர்த்தி செய்து, உயர்-துல்லியமான லேசர் செயலாக்கத்தை அடைய உதவுகிறது.
பதிவிட்ட நேரம்: ஏப்ரல்-07-2025