கிரானைட் அடித்தளத்தைப் பயன்படுத்தி ஒற்றை அச்சு காற்று மிதவை அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் பயன்பாட்டு புலம்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறை சுற்று வடிவத்தை துல்லியமாக வேஃபருக்கு மாற்ற வேண்டும். ஒற்றை அச்சு காற்று மிதக்கும் அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளம் லித்தோகிராஃபி உபகரணங்களில் வேஃபர் அட்டவணைக்கு உயர் துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் மற்றும் நிலையான ஆதரவை வழங்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, ASML மற்றும் பிற சர்வதேச அளவில் புகழ்பெற்ற லித்தோகிராஃபி இயந்திர உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் உயர்நிலை உபகரணங்களில் கிரானைட் அடிப்படை காற்று மிதக்கும் இயக்க தொகுதிகளைப் பயன்படுத்துகின்றனர், இது லித்தோகிராஃபி வடிவத்தின் துல்லியத்தை உறுதிசெய்ய நானோமீட்டர் மட்டத்தில் வேஃபரின் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தைக் கட்டுப்படுத்த முடியும், இதன் மூலம் சிப்பின் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
துல்லிய அளவீட்டு புலம்: CMM என்பது தொழில்துறை உற்பத்தியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துல்லியமான அளவீட்டு கருவியாகும், இது பணிப்பகுதியின் அளவு, வடிவம் மற்றும் நிலை துல்லியத்தை அளவிட பயன்படுகிறது. கிரானைட் அடித்தளத்தில் உள்ள ஒற்றை அச்சு காற்று மிதவையின் அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியை CMM இன் இயக்க தளமாகப் பயன்படுத்தலாம், இது உயர்-துல்லிய நேரியல் இயக்கத்தை உணர முடியும் மற்றும் அளவிடும் ஆய்வுக்கு ஒரு நிலையான இயக்கப் பாதையை வழங்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, ஹெக்ஸாகனின் உயர்நிலை CMM இந்த கலவையைப் பயன்படுத்தி பெரிய மற்றும் சிக்கலான பகுதிகளை மைக்ரான் அளவு வரை அளவிடும் துல்லியத்துடன் அளவிடுகிறது, இது வாகனம், விண்வெளி மற்றும் பிற தொழில்களில் பாகங்களின் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கு வலுவான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.
விண்வெளிப் புலம்: விண்வெளி பாகங்களைச் செயலாக்குவதிலும் சோதனை செய்வதிலும், அதிக துல்லியம் தேவைப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, விமான எஞ்சின் பிளேடுகளை இயந்திரமயமாக்குவதற்கு, பிளேடு சுயவிவரத் துல்லியத்தை உறுதிசெய்ய, கருவியின் இயக்கப் பாதையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. ஒற்றை அச்சு ஏர் ஃப்ளோட் அல்ட்ரா-ப்ரிசிஷன் மோஷன் தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளத்தை ஐந்து-அச்சு எந்திர மையம் மற்றும் பிற உபகரணங்களில் பயன்படுத்தலாம், இது கருவிக்கு உயர்-துல்லியமான இயக்கக் கட்டுப்பாட்டை வழங்கவும், பிளேட்டின் எந்திரத் துல்லியம் வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்தவும் உதவும். அதே நேரத்தில், ஏரோ எஞ்சினின் அசெம்பிளி செயல்பாட்டில், பாகங்களின் அசெம்பிளி துல்லியத்தைக் கண்டறிய உயர்-துல்லியமான அளவீட்டு கருவிகளைப் பயன்படுத்துவதும் அவசியம். கிரானைட் தளத்தின் காற்று மிதக்கும் இயக்கத் தொகுதி, அசெம்பிளி தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக அளவிடும் கருவிகளுக்கு நிலையான ஆதரவையும் துல்லியமான இயக்கத்தையும் வழங்க முடியும்.
ஒளியியல் ஆய்வுப் புலம்: ஒளியியல் கூறுகளின் உற்பத்தி மற்றும் சோதனை செயல்பாட்டில், ஒளியியல் கூறுகளின் உயர்-துல்லிய நிலைப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டைச் செய்வது அவசியம். எடுத்துக்காட்டாக, கண்ணாடிகள் மற்றும் லென்ஸ்கள் போன்ற உயர்-துல்லிய ஒளியியல் கூறுகளை உற்பத்தி செய்யும் போது, ​​மேற்பரப்பு வடிவ துல்லியத்தைக் கண்டறிய இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்கள் மற்றும் பிற உபகரணங்களைப் பயன்படுத்துவது அவசியம். ஒற்றை அச்சு காற்று மிதக்கும் அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளத்தை இன்டர்ஃபெரோமீட்டரின் இயக்க தளமாகப் பயன்படுத்தலாம், இது துணை-மைக்ரான் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை உணர முடியும் மற்றும் ஒளியியல் கூறுகளைக் கண்டறிவதற்கான துல்லியமான தரவு ஆதரவை வழங்க முடியும். கூடுதலாக, லேசர் செயலாக்க உபகரணங்களில், லேசர் கற்றையின் ஸ்கேனிங் பாதையைக் கட்டுப்படுத்த உயர்-துல்லிய இயக்க தளத்தைப் பயன்படுத்துவதும் அவசியம், காற்று மிதக்கும் இயக்க தொகுதியின் கிரானைட் அடித்தளம் இந்த தேவையை பூர்த்தி செய்ய முடியும், அதிக துல்லியமான லேசர் செயலாக்கத்தை அடைய.