குறைக்கடத்தித் தொழில் நானோ அளவிலான உற்பத்தி செயல்முறைகளை நோக்கி நகரும் செயல்பாட்டில், சில்லு உற்பத்தியின் ஒரு முக்கிய இணைப்பாக விளங்கும் வேஃபர் வெட்டுதலுக்கு, உபகரண நிலைத்தன்மைக்காக மிகவும் கடுமையான தேவைகள் உள்ளன. அதன் சிறப்பான அதிர்வு எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையுடன் கூடிய கிரானைட் அடித்தளமானது, வேஃபர் வெட்டும் உபகரணங்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாக மாறியுள்ளது. இது உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட வேஃபர் செயலாக்கத்தை அடைவதற்கு நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.

உயர் அதிர்வு தணிப்பு மற்றும் அதிர்வு எதிர்ப்புப் பண்புகள்: நானோ-நிலை வெட்டும் துல்லியத்தைப் பாதுகாத்தல்
வேஃபர் வெட்டும் கருவி இயங்கும்போது, சுழல் தண்டின் அதிவேகச் சுழற்சி, வெட்டும் கருவியின் உயர் அதிர்வெண் அதிர்வு, மற்றும் சுற்றியுள்ள கருவிகளால் உருவாக்கப்படும் சுற்றுச்சூழல் அதிர்வு ஆகிய அனைத்தும் வெட்டும் துல்லியத்தில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். பாரம்பரிய உலோகத் தளங்களின் அதிர்வு தணிக்கும் செயல்திறன் குறைவாக இருப்பதால், அதிர்வுகளை விரைவாகத் தணிப்பது கடினமாகிறது. இது வெட்டும் கருவிகளில் மைக்ரான் அளவிலான நடுக்கத்திற்கு வழிவகுத்து, வேஃபர்களில் சிதைந்த விளிம்புகள் மற்றும் விரிசல்கள் போன்ற குறைபாடுகளை நேரடியாக ஏற்படுத்துகிறது. கிரானைட் தளத்தின் உயர் அதிர்வு தணிக்கும் பண்புகள் இந்தப் பிரச்சனையை அடியோடு தீர்த்துவிட்டன.
கிரானைட்டின் உள்ளக கனிமப் படிகங்கள் நெருக்கமாகப் பின்னிப் பிணைந்து, ஒரு இயற்கையான ஆற்றல் சிதறல் கட்டமைப்பை உருவாக்குகின்றன. அதிர்வு அதன் அடிப்பகுதிக்கு அனுப்பப்படும்போது, அதன் உள்ளக நுண்கட்டமைப்பு, அதிர்வு ஆற்றலை விரைவாக வெப்ப ஆற்றலாக மாற்றி, திறமையான அதிர்வுத் தணிப்பை அடைகிறது. சோதனைத் தரவுகளின்படி, ஒரே அதிர்வுச் சூழலில், கிரானைட் அடிப்பகுதியானது 0.5 வினாடிகளுக்குள் அதிர்வு வீச்சை 90%-க்கும் மேலாகத் தணிக்கிறது, அதேசமயம் உலோக அடிப்பகுதிக்கு இதற்கு 3 முதல் 5 வினாடிகள் தேவைப்படுகின்றன. இந்தச் சிறந்த தணிப்புச் செயல்திறன், நானோ அளவிலான வெட்டும் செயல்பாட்டின்போது வெட்டும் கருவி நிலையாக இருப்பதை உறுதிசெய்து, வேஃபர் வெட்டுதலின் மென்மையான விளிம்பிற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது மற்றும் சிதைவு விகிதத்தைத் திறம்படக் குறைக்கிறது. உதாரணமாக, 5 நானோமீட்டர் வேஃபர் வெட்டும் செயல்பாட்டில், கிரானைட் அடிப்பகுதியைக் கொண்ட கருவியானது சிதைவின் அளவை 10μm-க்குள் கட்டுப்படுத்த முடியும், இது உலோக அடிப்பகுதியைக் கொண்ட கருவியை விட 40%-க்கும் அதிகமாகும்.
மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம்: வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் தாக்கத்தை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது
வேஃபர் வெட்டும் செயல்முறையின் போது, வெட்டும் கருவிகளின் உராய்வினால் உருவாகும் வெப்பம், உபகரணத்தின் நீண்டகால செயல்பாட்டினால் ஏற்படும் வெப்பச் சிதறல், மற்றும் பணிமனைச் சூழல் வெப்பநிலையில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் ஆகிய அனைத்தும் உபகரணக் கூறுகளில் வெப்ப உருக்குலைவை ஏற்படுத்தக்கூடும். உலோகப் பொருட்களின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாகும் (தோராயமாக 12×10⁻⁶/℃). வெப்பநிலை 5℃ அளவுக்கு ஏற்ற இறக்கம் அடையும்போது, 1 மீட்டர் நீளமுள்ள ஒரு உலோக அடித்தளம் 60μm அளவுக்கு உருக்குலைவுக்கு உள்ளாகக்கூடும். இது வெட்டும் நிலையை மாற்றி, வெட்டும் துல்லியத்தைக் கடுமையாகப் பாதிக்கும்.
கிரானைட் அடித்தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (4-8) ×10⁻⁶/℃ மட்டுமே ஆகும், இது உலோகப் பொருட்களின் குணகத்தில் மூன்றில் ஒரு பங்கிற்கும் குறைவாகும். ஒரே வெப்பநிலை மாற்றத்தின் கீழ், அதன் பரிமாண மாற்றத்தை ஏறக்குறைய புறக்கணிக்கலாம். ஒரு குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனத்தின் அளவிடப்பட்ட தரவுகளின்படி, 8 மணிநேர தொடர்ச்சியான உயர்-தீவிர வேஃபர் வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது, சுற்றுப்புற வெப்பநிலை 10℃ ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும்போது, கிரானைட் அடித்தளம் கொண்ட உபகரணத்தின் வெட்டும் நிலை விலகல் 20μm-க்கும் குறைவாகவும், அதே சமயம் உலோக அடித்தளம் கொண்ட உபகரணத்தின் விலகல் 60μm-ஐத் தாண்டியும் உள்ளது. இந்த நிலையான வெப்ப செயல்திறன், வெட்டும் கருவிக்கும் வேஃபருக்கும் இடையிலான சார்பு நிலை எல்லா நேரங்களிலும் துல்லியமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. நீண்ட கால தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டின் கீழோ அல்லது சுற்றுப்புற வெப்பநிலையில் ஏற்படும் கடுமையான மாற்றங்களின் கீழோ கூட, வெட்டும் துல்லியத்தின் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.
விறைப்புத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன்: உபகரணத்தின் நீண்டகால, சீரான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
அதிர்வு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையின் நன்மைகளுக்கு மேலதிகமாக, கிரானைட் அடித்தளத்தின் அதிக விறைப்புத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவை வேஃபர் வெட்டும் உபகரணத்தின் நம்பகத்தன்மையை மேலும் மேம்படுத்துகின்றன. கிரானைட், மோஸ் அளவுகோலில் 6 முதல் 7 வரையிலான கடினத்தன்மையையும், 120MPa-க்கு அதிகமான அமுக்க வலிமையையும் கொண்டுள்ளது. வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படும் பெரும் அழுத்தம் மற்றும் தாக்க விசையை இது தாங்கக்கூடியது மற்றும் உருமாற்றத்திற்கு உள்ளாவதில்லை. அதே நேரத்தில், அதன் அடர்த்தியான அமைப்பு அதற்கு சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்புத்திறனை வழங்குகிறது. அடிக்கடி வெட்டும் செயல்பாடுகளின் போதும், அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பு தேய்மானத்திற்கு உள்ளாவதில்லை, இதனால் உபகரணம் நீண்ட காலத்திற்கு உயர்-துல்லியமான செயல்பாட்டைப் பராமரிப்பது உறுதி செய்யப்படுகிறது.
நடைமுறைப் பயன்பாடுகளில், பல வேஃபர் உற்பத்தி நிறுவனங்கள் கிரானைட் அடித்தளங்களைக் கொண்ட வெட்டும் கருவிகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தி விளைச்சலையும் உற்பத்தித் திறனையும் கணிசமாக மேம்படுத்தியுள்ளன. உலகளவில் முன்னணி வகிக்கும் ஒரு ஃபவுண்டரியின் தரவுகளின்படி, கிரானைட் அடித்தளக் கருவிகளை அறிமுகப்படுத்திய பிறகு, வேஃபர் வெட்டும் விளைச்சல் 88%-லிருந்து 95%-க்கும் மேலாக அதிகரித்துள்ளது; கருவியின் பராமரிப்புச் சுழற்சி மூன்று மடங்கு நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது; இது உற்பத்திச் செலவுகளைத் திறம்படக் குறைத்து, சந்தைப் போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
முடிவாக, கிரானைட் அடித்தளமானது, அதன் சிறந்த அதிர்வு எதிர்ப்புத்திறன், வெப்ப நிலைத்தன்மை, உயர் விறைப்புத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றால், வேஃபர் வெட்டும் உபகரணங்களுக்கு முழுமையான செயல்திறன் உத்தரவாதங்களை வழங்குகிறது. குறைக்கடத்தித் தொழில்நுட்பம் உயர் துல்லியத்தை நோக்கி முன்னேறும்போது, கிரானைட் அடித்தளங்கள் வேஃபர் உற்பத்தித் துறையில் மிக முக்கியப் பங்காற்றி, குறைக்கடத்தித் துறையின் தொடர்ச்சியான புதுமையான வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும்.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-20-2025
