வேஃபர் வெட்டும் கருவிகளில் அதிர்வு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையின் அடிப்படையில் கிரானைட் தளங்களின் நன்மைகள்.

குறைக்கடத்தித் தொழில் நானோ அளவிலான உற்பத்தி செயல்முறைகளை நோக்கி நகரும் செயல்பாட்டில், சிப் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய இணைப்பாக வேஃபர் வெட்டுதல், உபகரண நிலைத்தன்மைக்கு மிகவும் கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. கிரானைட் அடித்தளம், அதன் சிறந்த அதிர்வு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையுடன், வேஃபர் வெட்டும் உபகரணங்களின் முக்கிய அங்கமாக மாறியுள்ளது, இது உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் திறன் கொண்ட வேஃபர் செயலாக்கத்தை அடைவதற்கான நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.

அதிக தணிப்பு மற்றும் அதிர்வு எதிர்ப்பு பண்புகள்: நானோ-நிலை வெட்டு துல்லியத்தைப் பாதுகாத்தல்.
வேஃபர் வெட்டும் கருவி செயல்பாட்டில் இருக்கும்போது, ​​சுழலின் அதிவேக சுழற்சி, வெட்டும் கருவியின் உயர் அதிர்வெண் அதிர்வு மற்றும் சுற்றியுள்ள உபகரணங்களால் உருவாக்கப்படும் சுற்றுச்சூழல் அதிர்வு ஆகியவை வெட்டும் துல்லியத்தில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். பாரம்பரிய உலோகத் தளங்களின் தணிப்பு செயல்திறன் குறைவாக உள்ளது, இதனால் அதிர்வுகளை விரைவாகக் குறைப்பது கடினமாகிறது, இது வெட்டும் கருவிகளின் மைக்ரோன்-நிலை நடுக்கத்திற்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் சில்லுகள் மற்றும் வேஃபர்களில் விரிசல்கள் போன்ற குறைபாடுகளை நேரடியாக ஏற்படுத்துகிறது. கிரானைட் தளத்தின் உயர் தணிப்பு பண்புகள் இந்த சிக்கலை அடிப்படையில் தீர்த்துள்ளன.
கிரானைட்டின் உள் கனிம படிகங்கள் நெருக்கமாகப் பிணைக்கப்பட்டு, இயற்கையான ஆற்றல் சிதறல் அமைப்பை உருவாக்குகின்றன. அதிர்வு அடித்தளத்திற்கு கடத்தப்படும்போது, ​​அதன் உள் நுண் கட்டமைப்பு அதிர்வு ஆற்றலை விரைவாக வெப்ப ஆற்றலாக மாற்ற முடியும், இதனால் திறமையான அதிர்வு தணிப்பை அடைகிறது. அதே அதிர்வு சூழலில், கிரானைட் அடித்தளம் 0.5 வினாடிகளுக்குள் அதிர்வு வீச்சை 90% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்க முடியும், அதே நேரத்தில் உலோக அடித்தளத்திற்கு 3 முதல் 5 வினாடிகள் தேவைப்படுகிறது என்பதை சோதனைத் தரவு காட்டுகிறது. இந்த சிறந்த தணிப்பு செயல்திறன் நானோ அளவிலான வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது வெட்டும் கருவி நிலையாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது வேஃபர் வெட்டலின் மென்மையான விளிம்பை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சிப்பிங் விகிதத்தை திறம்பட குறைக்கிறது. உதாரணமாக, 5nm வேஃபர் வெட்டும் செயல்பாட்டில், கிரானைட் அடித்தளத்தைக் கொண்ட உபகரணங்கள் 10μm க்குள் சிப்பிங் அளவைக் கட்டுப்படுத்த முடியும், இது உலோக அடித்தளத்தைக் கொண்ட உபகரணங்களை விட 40% அதிகமாகும்.
மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் செல்வாக்கிற்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது.
வேஃபர் வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது, ​​வெட்டும் கருவிகளின் உராய்வால் உருவாகும் வெப்பம், உபகரணங்களின் நீண்டகால செயல்பாட்டிலிருந்து வெப்பச் சிதறல் மற்றும் பட்டறை சூழல் வெப்பநிலையில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் அனைத்தும் உபகரணக் கூறுகளின் வெப்ப சிதைவை ஏற்படுத்தும். உலோகப் பொருட்களின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது (தோராயமாக 12×10⁻⁶/℃). வெப்பநிலை 5℃ ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும்போது, ​​1 மீட்டர் நீளமுள்ள உலோகத் தளம் 60μm சிதைவுக்கு ஆளாகக்கூடும், இதனால் வெட்டும் நிலை மாறக்கூடும் மற்றும் வெட்டும் துல்லியத்தை கடுமையாகப் பாதிக்கும்.
கிரானைட் அடித்தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4-8) ×10⁻⁶/℃ மட்டுமே, இது உலோகப் பொருட்களின் மூன்றில் ஒரு பங்கிற்கும் குறைவாகும். அதே வெப்பநிலை மாற்றத்தின் கீழ், அதன் பரிமாண மாற்றத்தை கிட்டத்தட்ட புறக்கணிக்க முடியும். ஒரு குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிறுவனத்தின் அளவிடப்பட்ட தரவு, 8 மணிநேர தொடர்ச்சியான உயர்-தீவிர வேஃபர் வெட்டு செயல்பாட்டின் போது, ​​சுற்றுப்புற வெப்பநிலை 10℃ ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும்போது, ​​கிரானைட் அடித்தளத்துடன் கூடிய உபகரணங்களின் வெட்டு நிலை ஆஃப்செட் 20μm க்கும் குறைவாகவும், உலோக அடித்தளத்துடன் கூடிய உபகரணங்களின் வெட்டு நிலை ஆஃப்செட் 60μm ஐ விட அதிகமாகவும் இருப்பதைக் காட்டுகிறது. இந்த நிலையான வெப்ப செயல்திறன் வெட்டும் கருவிக்கும் வேஃபருக்கும் இடையிலான ஒப்பீட்டு நிலை எல்லா நேரங்களிலும் துல்லியமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. நீண்ட கால தொடர்ச்சியான செயல்பாடு அல்லது சுற்றுச்சூழல் வெப்பநிலையில் கடுமையான மாற்றங்களின் கீழ் கூட, வெட்டு துல்லியத்தின் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.
விறைப்பு மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு: உபகரணங்களின் நீண்டகால நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்தல்.
அதிர்வு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையின் நன்மைகளுக்கு மேலதிகமாக, கிரானைட் அடித்தளத்தின் அதிக விறைப்பு மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு வேஃபர் வெட்டும் கருவியின் நம்பகத்தன்மையை மேலும் மேம்படுத்துகிறது. கிரானைட் மோஸ் அளவில் 6 முதல் 7 வரை கடினத்தன்மையையும் 120MPa ஐ விட அதிகமான அமுக்க வலிமையையும் கொண்டுள்ளது. வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது இது மிகப்பெரிய அழுத்தம் மற்றும் தாக்க சக்தியைத் தாங்கும் மற்றும் சிதைவுக்கு ஆளாகாது. இதற்கிடையில், அதன் அடர்த்தியான அமைப்பு சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. அடிக்கடி வெட்டும் செயல்பாடுகளின் போது கூட, அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பு தேய்மானத்திற்கு ஆளாகாது, இதனால் உபகரணங்கள் நீண்ட காலத்திற்கு உயர் துல்லியமான செயல்பாட்டைப் பராமரிக்கின்றன.
நடைமுறை பயன்பாடுகளில், பல வேஃபர் உற்பத்தி நிறுவனங்கள் கிரானைட் தளங்களுடன் கூடிய வெட்டும் உபகரணங்களை ஏற்றுக்கொள்வதன் மூலம் தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தியுள்ளன. உலகளவில் முன்னணி ஃபவுண்டரியின் தரவு, கிரானைட் அடிப்படை உபகரணங்களை அறிமுகப்படுத்திய பிறகு, வேஃபர் வெட்டும் மகசூல் 88% இலிருந்து 95% க்கும் அதிகமாக அதிகரித்துள்ளது, உபகரண பராமரிப்பு சுழற்சி மூன்று மடங்கு நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது, இது உற்பத்தி செலவுகளை திறம்படக் குறைத்து சந்தை போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
முடிவில், கிரானைட் அடித்தளம், அதன் சிறந்த அதிர்வு எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை, அதிக விறைப்பு மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன், வேஃபர் வெட்டும் கருவிகளுக்கு விரிவான செயல்திறன் உத்தரவாதங்களை வழங்குகிறது. குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் அதிக துல்லியத்தை நோக்கி முன்னேறும்போது, ​​கிரானைட் அடித்தளங்கள் வேஃபர் உற்பத்தித் துறையில் மிகவும் குறிப்பிடத்தக்க பங்கை வகிக்கும், குறைக்கடத்தித் துறையின் தொடர்ச்சியான புதுமையான வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும்.