குறைக்கடத்தித் துறையில், சிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கான ஒரு முக்கிய இணைப்பாக வேஃபர் ஆய்வு உள்ளது, மேலும் ஆய்வு அட்டவணையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை கண்டறிதல் முடிவுகளில் ஒரு தீர்க்கமான பங்கை வகிக்கிறது. அதன் தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்ட கிரானைட் அடித்தளம், குறைக்கடத்தி வேஃபர் ஆய்வு அட்டவணைக்கு சிறந்த தேர்வாக மாறியுள்ளது, இது உங்களுக்கான பல பரிமாண பகுப்பாய்விலிருந்து பின்வருமாறு.
முதலில், துல்லிய உத்தரவாத பரிமாணம்
1. மிக உயர்ந்த தட்டையான தன்மை மற்றும் நேரான தன்மை: கிரானைட் அடித்தளம் மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தால் செயலாக்கப்படுகிறது, மேலும் தட்டையான தன்மை ±0.001 மிமீ/மீ அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட துல்லியத்தை அடையலாம், மேலும் நேரான தன்மையும் சிறப்பாக இருக்கும். வேஃபர் ஆய்வு செயல்பாட்டில், உயர் துல்லியமான தளம் வேஃபருக்கு நிலையான ஆதரவை வழங்குகிறது மற்றும் ஆய்வு உபகரணங்களின் ஆய்வுக்கும் வேஃபர் மேற்பரப்பில் உள்ள சாலிடர் மூட்டுகளுக்கும் இடையே துல்லியமான தொடர்பை உறுதி செய்கிறது.
2. மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு உணர்திறன் கொண்டது, மேலும் கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, பொதுவாக சுமார் 5×10⁻⁶/℃. கண்டறிதல் தளம் இயங்கும் போது, சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமாக இருந்தாலும், கிரானைட் அடித்தளத்தின் அளவு மிகக் குறைவாகவே மாறுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, கோடையில் உயர் வெப்பநிலை பட்டறையில், பொதுவான உலோக அடிப்படை கண்டறிதல் தளத்தின் வெப்பநிலை வேஃபர் மற்றும் கண்டறிதல் உபகரணங்களின் ஒப்பீட்டு நிலையை மாற்றக்கூடும், இது கண்டறிதல் துல்லியத்தை பாதிக்கிறது; கிரானைட் அடிப்படை கண்டறிதல் தளம் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், கண்டறிதல் செயல்பாட்டின் போது வேஃபர் மற்றும் கண்டறிதல் உபகரணங்களின் ஒப்பீட்டு நிலை துல்லியத்தை உறுதிசெய்ய முடியும், மேலும் உயர் துல்லியமான கண்டறிதலுக்கான நிலையான சூழலை வழங்க முடியும்.
இரண்டாவது, நிலைத்தன்மை பரிமாணம்
1. நிலையான கட்டமைப்பு மற்றும் அதிர்வு எதிர்ப்பு: மில்லியன் கணக்கான ஆண்டுகால புவியியல் செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு, கிரானைட், உள் அமைப்பு அடர்த்தியாகவும் சீராகவும் உள்ளது. ஒரு குறைக்கடத்தி தொழிற்சாலையின் சிக்கலான சூழலில், புற உபகரணங்கள் மற்றும் பணியாளர்கள் சுற்றித் திரிவதால் ஏற்படும் அதிர்வு கிரானைட் அடித்தளத்தால் திறம்பட குறைக்கப்படுகிறது.
2. நீண்ட கால பயன்பாட்டு துல்லியம்: மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, கிரானைட் அதிக கடினத்தன்மை, வலுவான உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் மோஸ் கடினத்தன்மை 6-7 ஐ எட்டும். அடிக்கடி வேஃபர் ஏற்றுதல், இறக்குதல் மற்றும் ஆய்வு நடவடிக்கைகளின் போது கிரானைட் அடித்தள மேற்பரப்பு எளிதில் அணியப்படுவதில்லை. தரவு புள்ளிவிவரங்களின் உண்மையான பயன்பாட்டின்படி, கிரானைட் அடித்தள சோதனை அட்டவணையின் பயன்பாடு, 5000 மணி நேரத்திற்குப் பிறகு தொடர்ச்சியான செயல்பாடு, தட்டையான தன்மை மற்றும் நேரான தன்மை துல்லியத்தை இன்னும் ஆரம்ப துல்லியத்தில் 98% க்கும் அதிகமாக பராமரிக்க முடியும், வழக்கமான அளவுத்திருத்தம் மற்றும் பராமரிப்பு நேரங்களால் ஏற்படும் அடித்தளத்தின் தேய்மானம் காரணமாக உபகரணங்களைக் குறைக்கிறது, வணிக இயக்க செலவுகளைக் குறைக்கிறது, சோதனைப் பணியின் நீண்டகால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
மூன்றாவது, சுத்தமான மற்றும் குறுக்கீடு எதிர்ப்பு பரிமாணம்
1. குறைந்த தூசி உற்பத்தி: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல் மிகவும் சுத்தமாக இருக்க வேண்டும், மேலும் கிரானைட் பொருள் நிலையானதாகவும் தூசி துகள்களை உருவாக்க எளிதாகவும் இருக்கக்கூடாது. சோதனை தளத்தின் செயல்பாட்டின் போது, அடித்தளத்தால் உருவாகும் தூசி வேஃபரை மாசுபடுத்துவதைத் தவிர்க்கிறது, மேலும் தூசி துகள்களால் ஏற்படும் ஷார்ட் சர்க்யூட் மற்றும் திறந்த சுற்று ஆபத்து குறைக்கப்படுகிறது. தூசி இல்லாத பட்டறையின் வேஃபர் ஆய்வுப் பகுதியில், கிரானைட் அடிப்படை ஆய்வு அட்டவணையைச் சுற்றியுள்ள தூசி செறிவு எப்போதும் மிகக் குறைந்த அளவிற்குக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தித் துறையின் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
2. காந்த குறுக்கீடு இல்லை: கண்டறிதல் கருவி மின்காந்த சூழலுக்கு உணர்திறன் கொண்டது, மேலும் கிரானைட் ஒரு காந்தம் அல்லாத பொருள், இது கண்டறிதல் கருவியின் மின்னணு சமிக்ஞையில் தலையிடாது. எலக்ட்ரான் கற்றை கண்டறிதல் மற்றும் மிக உயர்ந்த மின்காந்த சூழல் தேவைப்படும் பிற சோதனை தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துவதில், கிரானைட் அடித்தளம் கண்டறிதல் கருவியின் மின்னணு சமிக்ஞையின் நிலையான பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சோதனை முடிவுகளின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. எடுத்துக்காட்டாக, வேஃபர் உயர் துல்லியமான மின் செயல்திறனுக்காக சோதிக்கப்படும்போது, காந்தம் அல்லாத கிரானைட் அடித்தளம் கண்டறிதல் மின்னோட்டம் மற்றும் மின்னழுத்த சமிக்ஞைகளில் குறுக்கீட்டைத் தவிர்க்கிறது, இதனால் கண்டறிதல் தரவு உண்மையிலேயே வேஃபர் மின் பண்புகளை பிரதிபலிக்கிறது.
இடுகை நேரம்: மார்ச்-31-2025