குறைக்கடத்தி வேஃபர் சோதனை மேசைக்கு கிரானைட் அடித்தளத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் நன்மை.

​
குறைக்கடத்தித் துறையில், சிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு வேஃபர் பரிசோதனை ஒரு முக்கிய இணைப்பாகும். மேலும், பரிசோதனை மேசையின் துல்லியமும் நிலைத்தன்மையும் கண்டறிதல் முடிவுகளில் தீர்க்கமான பங்கு வகிக்கின்றன. கிரானைட் அடித்தளம் அதன் தனித்துவமான பண்புகளுடன், குறைக்கடத்தி வேஃபர் பரிசோதனை மேசைக்கு ஒரு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. பின்வருபவை, உங்களுக்காகப் பல பரிமாணப் பகுப்பாய்விலிருந்து வழங்கப்படுகின்றன.

முதலில், துல்லிய உத்தரவாதப் பரிமாணம்
1. மிக உயர்ந்த தட்டையான தன்மை மற்றும் நேர்கோட்டுத்தன்மை: கிரானைட் அடித்தளமானது மேம்பட்ட செயலாக்கத் தொழில்நுட்பத்தால் பதப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இதன் தட்டையான தன்மை ±0.001 மிமீ/மீ அல்லது அதற்கும் அதிகமான துல்லியத்தை எட்டும், நேர்கோட்டுத்தன்மையும் மிகச் சிறப்பாக இருக்கும். வேஃபர் ஆய்வுச் செயல்பாட்டின் போது, ​​இந்த உயர்-துல்லியமான தளம் வேஃபருக்கு நிலையான ஆதரவை வழங்குவதோடு, ஆய்வு உபகரணத்தின் ஆய்வுக் கருவிக்கும் வேஃபர் மேற்பரப்பில் உள்ள பற்றவைப்பு இணைப்புகளுக்கும் இடையே துல்லியமான தொடர்பை உறுதி செய்கிறது.
2. மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு உணர்திறன் கொண்டது, மேலும் கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் மிகவும் குறைவாகும், பொதுவாக இது சுமார் 5×10⁻⁶/℃ ஆக இருக்கும். கண்டறிதல் தளம் இயங்கும்போது, ​​சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமாக இருந்தாலும், கிரானைட் அடித்தளத்தின் அளவு மிகக் குறைவாகவே மாறுகிறது. உதாரணமாக, கோடையில் அதிக வெப்பநிலை கொண்ட பணிமனையில், பொதுவான உலோக அடித்தள கண்டறிதல் தளத்தின் வெப்பநிலை, வேஃபர் மற்றும் கண்டறிதல் உபகரணங்களின் சார்பு நிலையை மாற்றக்கூடும், இது கண்டறிதல் துல்லியத்தைப் பாதிக்கும்; கிரானைட் அடித்தள கண்டறிதல் தளம் நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது, கண்டறிதல் செயல்பாட்டின் போது வேஃபர் மற்றும் கண்டறிதல் உபகரணங்களின் சார்பு நிலைத் துல்லியத்தை உறுதிசெய்கிறது, மேலும் உயர்-துல்லியமான கண்டறிதலுக்கு ஒரு நிலையான சூழலை வழங்குகிறது.
இரண்டாவது, நிலைத்தன்மை பரிமாணம்
1. நிலையான கட்டமைப்பு மற்றும் அதிர்வு எதிர்ப்புத் திறன்: மில்லியன் கணக்கான ஆண்டுகளின் புவியியல் செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு, கிரானைட்டின் உள் கட்டமைப்பு அடர்த்தியாகவும் சீராகவும் உள்ளது. ஒரு குறைக்கடத்தித் தொழிற்சாலையின் சிக்கலான சூழலில், சுற்றியுள்ள உபகரணங்களின் செயல்பாடு மற்றும் பணியாளர்கள் நடமாடுவதால் உருவாகும் அதிர்வுகள், கிரானைட் அடித்தளத்தால் திறம்படத் தணிக்கப்படுகின்றன.
2. நீண்ட காலப் பயன்பாட்டுத் துல்லியம்: மற்றப் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​கிரானைட் அதிகக் கடினத்தன்மை மற்றும் வலுவான தேய்மான எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இதன் மோஸ் கடினத்தன்மை 6-7 வரை எட்டக்கூடும். அடிக்கடி வேஃபர் ஏற்றுதல், இறக்குதல் மற்றும் ஆய்வுச் செயல்பாடுகளின் போது கிரானைட் அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பு எளிதில் தேய்வதில்லை. உண்மையான பயன்பாட்டுத் தரவுப் புள்ளிவிவரங்களின்படி, கிரானைட் அடித்தளச் சோதனை மேசையைப் பயன்படுத்தி 5000 மணிநேரம் தொடர்ச்சியாக இயக்கிய பிறகும், அதன் சமதளத்தன்மை மற்றும் நேர்கோட்டுத் துல்லியம் ஆரம்பத் துல்லியத்தில் 98%-க்கும் அதிகமாகப் பராமரிக்கப்படுகிறது. இது, வழக்கமான அளவுத்திருத்தம் மற்றும் பராமரிப்பு நேரங்களால் அடித்தளத்தில் ஏற்படும் தேய்மானத்தைக் குறைத்து, வணிகச் செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது, மேலும் சோதனைப் பணியின் நீண்ட கால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

மூன்றாவதாக, தூய்மையான மற்றும் குறுக்கீடு-எதிர்ப்புப் பரிமாணம்
1. குறைந்த தூசி உருவாக்கம்: குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழல் மிகவும் தூய்மையாக இருக்க வேண்டும், மேலும் கிரானைட் பொருளே நிலையானது மற்றும் தூசித் துகள்களை எளிதில் உருவாக்காது. சோதனைத் தளத்தின் செயல்பாட்டின் போது, ​​அடித்தளத்தால் உருவாக்கப்படும் தூசி, வேஃபரை மாசுபடுத்தாமல் தவிர்க்கப்படுகிறது, மேலும் தூசித் துகள்களால் ஏற்படும் குறுக்குச் சுற்று மற்றும் திறந்த சுற்று அபாயம் குறைக்கப்படுகிறது. தூசியற்ற பணிமனையின் வேஃபர் ஆய்வுப் பகுதியில், கிரானைட் அடித்தள ஆய்வு மேசையைச் சுற்றியுள்ள தூசியின் செறிவு எப்போதும் மிகக் குறைந்த அளவில் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தித் துறையின் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
2. காந்தக் குறுக்கீடு இல்லை: கண்டறியும் கருவி மின்காந்தச் சூழலுக்கு உணர்திறன் கொண்டது, மேலும் கிரானைட் ஒரு காந்தமற்ற பொருள் என்பதால், அது கண்டறியும் கருவியின் மின்னணு சமிக்ஞையில் குறுக்கிடாது. மிக அதிக மின்காந்தச் சூழல் தேவைப்படும் எலக்ட்ரான் கற்றைக் கண்டறிதல் மற்றும் பிற சோதனைத் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தும்போது, ​​கிரானைட் அடித்தளமானது கண்டறியும் கருவியின் மின்னணு சமிக்ஞையின் நிலையான பரிமாற்றத்தை உறுதிசெய்து, சோதனை முடிவுகளின் துல்லியத்தையும் உறுதி செய்கிறது. உதாரணமாக, வேஃபரின் உயர்-துல்லியமான மின் செயல்திறன் சோதிக்கப்படும்போது, ​​காந்தமற்ற கிரானைட் அடித்தளமானது கண்டறியும் மின்னோட்டம் மற்றும் மின்னழுத்த சமிக்ஞைகளில் ஏற்படும் குறுக்கீட்டைத் தவிர்க்கிறது, இதனால் கண்டறியும் தரவுகள் வேஃபரின் மின் பண்புகளை உண்மையாகப் பிரதிபலிக்கின்றன.