குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான கிரானைட் தளங்களுக்கான தொழில்நுட்ப தேவைகள்.

1. பரிமாண துல்லியம்
தட்டையான தன்மை: அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மிக உயர்ந்த தரத்தை எட்ட வேண்டும், மேலும் எந்த 100mm×100mm பகுதியிலும் தட்டையான தன்மை பிழை ±0.5μm ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது; முழு அடிப்படை தளத்திற்கும், தட்டையான தன்மை பிழை ±1μm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. லித்தோகிராஃபி உபகரணங்களின் வெளிப்பாடு தலை மற்றும் சிப் கண்டறிதல் உபகரணங்களின் ஆய்வு அட்டவணை போன்ற குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளை உயர் துல்லியமான தளத்தில் நிலையாக நிறுவி இயக்க முடியும் என்பதை இது உறுதி செய்கிறது, சாதனத்தின் ஒளியியல் பாதை மற்றும் சுற்று இணைப்பின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது, மேலும் அடித்தளத்தின் சீரற்ற தளத்தால் ஏற்படும் கூறுகளின் இடப்பெயர்ச்சி விலகலைத் தவிர்க்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி மற்றும் கண்டறிதல் துல்லியத்தை பாதிக்கிறது.
நேரான தன்மை: அடித்தளத்தின் ஒவ்வொரு விளிம்பின் நேரான தன்மை மிக முக்கியமானது. நீளத்தின் திசையில், நேரான தன்மை பிழை 1 மீட்டருக்கு ±1μm ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது; மூலைவிட்ட நேரான தன்மை பிழை ±1.5μm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. உயர் துல்லியமான லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், அட்டவணை அடித்தளத்தின் வழிகாட்டி தண்டவாளத்தில் நகரும்போது, ​​அடித்தளத்தின் விளிம்பின் நேரான தன்மை அட்டவணையின் பாதை துல்லியத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. நேரான தன்மை தரநிலைக்கு ஏற்றதாக இல்லாவிட்டால், லித்தோகிராஃபி முறை சிதைந்து சிதைந்துவிடும், இதன் விளைவாக சிப் உற்பத்தி மகசூல் குறையும்.
இணைத்தன்மை: அடித்தளத்தின் மேல் மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகளின் இணைத்தன்மை பிழை ±1μm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். நல்ல இணைத்தன்மை உபகரணங்களை நிறுவிய பின் ஒட்டுமொத்த ஈர்ப்பு மையத்தின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்யும், மேலும் ஒவ்வொரு கூறுகளின் விசையும் சீரானது. குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தி உபகரணங்களில், அடித்தளத்தின் மேல் மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகள் இணையாக இல்லாவிட்டால், செயலாக்கத்தின் போது வேஃபர் சாய்ந்து, பொறித்தல் மற்றும் பூச்சு போன்ற செயல்முறை சீரான தன்மையை பாதிக்கிறது, இதனால் சிப் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை பாதிக்கிறது.
இரண்டாவதாக, பொருள் பண்புகள்
கடினத்தன்மை: கிரானைட் அடிப்படைப் பொருளின் கடினத்தன்மை கடற்கரை கடினத்தன்மை HS70 அல்லது அதற்கு மேல் அடைய வேண்டும். அதிக கடினத்தன்மை, உபகரணங்களின் செயல்பாட்டின் போது அடிக்கடி இயக்கம் மற்றும் கூறுகளின் உராய்வு காரணமாக ஏற்படும் தேய்மானத்தை திறம்பட எதிர்க்கும், நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு அடித்தளம் அதிக துல்லியமான அளவைப் பராமரிக்க முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. சிப் பேக்கேஜிங் உபகரணங்களில், ரோபோ கை அடிக்கடி சிப்பைப் பிடித்து அடித்தளத்தில் வைக்கிறது, மேலும் அடித்தளத்தின் அதிக கடினத்தன்மை மேற்பரப்பில் கீறல்களை உருவாக்குவது மற்றும் ரோபோ கை இயக்கத்தின் துல்லியத்தை பராமரிப்பது எளிதல்ல என்பதை உறுதிசெய்யும்.
அடர்த்தி: பொருளின் அடர்த்தி 2.6-3.1 கிராம்/செ.மீ³ க்கு இடையில் இருக்க வேண்டும். பொருத்தமான அடர்த்தி அடித்தளத்தை நல்ல தரமான நிலைத்தன்மையுடன் வைத்திருக்கச் செய்கிறது, இது உபகரணங்களை ஆதரிக்க போதுமான விறைப்புத்தன்மையை உறுதி செய்யும், மேலும் அதிக எடை காரணமாக உபகரணங்களை நிறுவுவதற்கும் கொண்டு செல்வதற்கும் சிரமங்களை ஏற்படுத்தாது. பெரிய குறைக்கடத்தி ஆய்வு உபகரணங்களில், நிலையான அடித்தள அடர்த்தி உபகரண செயல்பாட்டின் போது அதிர்வு பரிமாற்றத்தைக் குறைக்கவும் கண்டறிதல் துல்லியத்தை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.
வெப்ப நிலைத்தன்மை: நேரியல் விரிவாக்க குணகம் 5×10⁻⁶/℃ க்கும் குறைவாக உள்ளது. குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, மேலும் அடித்தளத்தின் வெப்ப நிலைத்தன்மை உபகரணங்களின் துல்லியத்துடன் நேரடியாக தொடர்புடையது. லித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டின் போது, ​​வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் அடித்தளத்தின் விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், இதன் விளைவாக வெளிப்பாடு வடிவத்தின் அளவு விலகல் ஏற்படலாம். குறைந்த நேரியல் விரிவாக்க குணகம் கொண்ட கிரானைட் அடித்தளம், லித்தோகிராஃபி துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்காக உபகரணங்களின் இயக்க வெப்பநிலை மாறும்போது (பொதுவாக 20-30 ° C) மிகச் சிறிய வரம்பில் அளவு மாற்றத்தைக் கட்டுப்படுத்த முடியும்.
மூன்றாவதாக, மேற்பரப்பு தரம்
கரடுமுரடான தன்மை: அடித்தளத்தில் மேற்பரப்பு கரடுமுரடான Ra மதிப்பு 0.05μm ஐ விட அதிகமாக இல்லை. மிக மென்மையான மேற்பரப்பு தூசி மற்றும் அசுத்தங்களின் உறிஞ்சுதலைக் குறைத்து குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி சூழலின் தூய்மையின் மீதான தாக்கத்தைக் குறைக்கும். சிப் உற்பத்தியின் தூசி இல்லாத பட்டறையில், சிறிய துகள்கள் சிப்பின் ஷார்ட் சர்க்யூட் போன்ற குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும், மேலும் அடித்தளத்தின் மென்மையான மேற்பரப்பு பட்டறையின் சுத்தமான சூழலைப் பராமரிக்கவும் சிப் விளைச்சலை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.
நுண்ணிய குறைபாடுகள்: அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பில் காணக்கூடிய விரிசல்கள், மணல் துளைகள், துளைகள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் இருக்க அனுமதிக்கப்படவில்லை. நுண்ணிய அளவில், சதுர சென்டிமீட்டருக்கு 1μm க்கும் அதிகமான விட்டம் கொண்ட குறைபாடுகளின் எண்ணிக்கை எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி மூலம் 3 ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது. இந்த குறைபாடுகள் அடித்தளத்தின் கட்டமைப்பு வலிமை மற்றும் மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மையை பாதிக்கும், பின்னர் உபகரணங்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை பாதிக்கும்.
நான்காவது, நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
டைனமிக் நிலைத்தன்மை: குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் செயல்பாட்டால் உருவாக்கப்படும் உருவகப்படுத்தப்பட்ட அதிர்வு சூழலில் (அதிர்வு அதிர்வெண் வரம்பு 10-1000Hz, வீச்சு 0.01-0.1mm), அடித்தளத்தில் உள்ள முக்கிய மவுண்டிங் புள்ளிகளின் அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சி ±0.05μm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். குறைக்கடத்தி சோதனை உபகரணங்களை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், செயல்பாட்டின் போது சாதனத்தின் சொந்த அதிர்வு மற்றும் சுற்றியுள்ள சூழல் அதிர்வு அடித்தளத்திற்கு கடத்தப்பட்டால், சோதனை சமிக்ஞையின் துல்லியம் குறுக்கிடப்படலாம். நல்ல டைனமிக் நிலைத்தன்மை நம்பகமான சோதனை முடிவுகளை உறுதி செய்யும்.
நில அதிர்வு எதிர்ப்பு: அடித்தளம் சிறந்த நில அதிர்வு செயல்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், மேலும் திடீர் வெளிப்புற அதிர்வுக்கு (நில அதிர்வு அலை உருவகப்படுத்துதல் அதிர்வு போன்றவை) உட்படுத்தப்படும்போது அதிர்வு ஆற்றலை விரைவாகக் குறைக்க முடியும், மேலும் உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளின் ஒப்பீட்டு நிலை ±0.1μm க்குள் மாறுவதை உறுதிசெய்யும். நிலநடுக்கத்தால் பாதிக்கப்படக்கூடிய பகுதிகளில் உள்ள குறைக்கடத்தி தொழிற்சாலைகளில், நிலநடுக்கத்தை எதிர்க்கும் தளங்கள் விலையுயர்ந்த குறைக்கடத்தி உபகரணங்களை திறம்பட பாதுகாக்க முடியும், அதிர்வு காரணமாக உபகரணங்கள் சேதம் மற்றும் உற்பத்தி இடையூறு ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைக்கும்.
5. வேதியியல் நிலைத்தன்மை
அரிப்பு எதிர்ப்பு: கிரானைட் அடித்தளம், ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம், அக்வா ரெஜியா போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பொதுவான இரசாயன முகவர்களின் அரிப்பைத் தாங்க வேண்டும். 40% நிறை பின்னம் கொண்ட ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலக் கரைசலில் 24 மணி நேரம் ஊறவைத்த பிறகு, மேற்பரப்பு தர இழப்பு விகிதம் 0.01% ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது; அக்வா ரெஜியாவில் (ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலத்திற்கும் நைட்ரிக் அமிலத்திற்கும் இடையிலான அளவு விகிதம் 3:1) 12 மணி நேரம் ஊறவைக்கவும், மேற்பரப்பில் அரிப்புக்கான வெளிப்படையான தடயங்கள் எதுவும் இருக்காது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை பல்வேறு வேதியியல் பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது, மேலும் அடித்தளத்தின் நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்பு, வேதியியல் சூழலில் நீண்டகால பயன்பாடு அரிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்யும், மேலும் துல்லியம் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு பராமரிக்கப்படுகிறது.
மாசு எதிர்ப்பு: அடிப்படைப் பொருள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழலில் உள்ள பொதுவான மாசுபடுத்திகளான கரிம வாயுக்கள், உலோக அயனிகள் போன்றவற்றை மிகக் குறைவாக உறிஞ்சுகிறது. 10 PPM கரிம வாயுக்கள் (எ.கா., பென்சீன், டோலுயீன்) மற்றும் 1ppm உலோக அயனிகள் (எ.கா., செம்பு அயனிகள், இரும்பு அயனிகள்) கொண்ட சூழலில் 72 மணி நேரம் வைக்கப்படும் போது, ​​அடிப்படை மேற்பரப்பில் மாசுபடுத்திகளை உறிஞ்சுவதால் ஏற்படும் செயல்திறன் மாற்றம் மிகக் குறைவு. இது அடிப்படை மேற்பரப்பில் இருந்து சிப் உற்பத்தி பகுதிக்கு மாசுபடுத்திகள் இடம்பெயர்வதைத் தடுக்கிறது மற்றும் சிப் தரத்தை பாதிக்கிறது.