கிரானைட் துல்லிய மேடை அளவீட்டு துல்லியத்தில் சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தின் செல்வாக்கின் வரம்பு குறித்த ஆய்வு.

துல்லிய அளவீட்டுத் துறையில், சிறந்த நிலைத்தன்மை, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் நல்ல தேய்மான எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்ட கிரானைட் துல்லிய தளம், பல உயர் துல்லிய அளவீட்டுப் பணிகளுக்கு சிறந்த அடித்தள ஆதரவாக மாறியுள்ளது. இருப்பினும், இருட்டில் மறைந்திருக்கும் "துல்லியக் கொலையாளி" போன்ற சுற்றுச்சூழல் காரணிகளில் ஏற்படும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள், கிரானைட் துல்லிய தளத்தின் அளவீட்டுத் துல்லியத்தில் மிகக் குறைவான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துவதில்லை. அளவீட்டுப் பணியின் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, செல்வாக்கு வரம்பை ஆழமாக ஆராய்வது மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது.

கிரானைட் அதன் நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றிருந்தாலும், வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு இது எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதல்ல. அதன் முக்கிய கூறுகள் குவார்ட்ஸ், ஃபெல்ட்ஸ்பார் மற்றும் பிற தாதுக்கள் ஆகும், அவை வெவ்வேறு வெப்பநிலைகளில் வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்க நிகழ்வை உருவாக்கும். சுற்றுப்புற வெப்பநிலை அதிகரிக்கும் போது, கிரானைட் துல்லிய தளம் வெப்பப்படுத்தப்பட்டு விரிவடைகிறது, மேலும் தளத்தின் அளவு சிறிது மாறும். வெப்பநிலை குறையும் போது, அது அதன் அசல் நிலைக்குத் திரும்ப சுருங்கும். துல்லிய அளவீட்டு சூழ்நிலைகளில் அளவீட்டு முடிவுகளை பாதிக்கும் முக்கிய காரணிகளாகத் தோன்றும் சிறிய அளவு மாற்றங்களை பெரிதாக்கலாம்.

கிரானைட் தளத்துடன் பொருந்தக்கூடிய பொதுவான ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு கருவியை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், உயர் துல்லிய அளவீட்டுப் பணியில், அளவீட்டு துல்லியத் தேவைகள் பெரும்பாலும் மைக்ரான் அளவை அல்லது அதற்கும் அதிகமாக அடையும். 20℃ நிலையான வெப்பநிலையில், தளத்தின் பல்வேறு பரிமாண அளவுருக்கள் ஒரு சிறந்த நிலையில் இருக்கும் என்றும், பணிப்பகுதியை அளவிடுவதன் மூலம் துல்லியமான தரவைப் பெற முடியும் என்றும் கருதப்படுகிறது. சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும்போது, நிலைமை மிகவும் வேறுபட்டது. அதிக எண்ணிக்கையிலான சோதனை தரவு புள்ளிவிவரங்கள் மற்றும் தத்துவார்த்த பகுப்பாய்விற்குப் பிறகு, சாதாரண சூழ்நிலைகளில், 1℃ சுற்றுச்சூழல் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கம், கிரானைட் துல்லிய தளத்தின் நேரியல் விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கம் சுமார் 5-7 × 10⁻⁶/℃ ஆகும். இதன் பொருள் 1 மீட்டர் பக்க நீளம் கொண்ட கிரானைட் தளத்திற்கு, வெப்பநிலை 1°C மாறினால் பக்க நீளம் 5-7 மைக்ரான்கள் மாறக்கூடும். துல்லியமான அளவீடுகளில், அத்தகைய அளவு மாற்றம் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய வரம்பைத் தாண்டி அளவீட்டு பிழைகளை ஏற்படுத்த போதுமானது.
வெவ்வேறு துல்லிய நிலைகளுக்குத் தேவையான அளவீட்டுப் பணிகளுக்கு, வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தின் தாக்க வரம்பும் வேறுபட்டது. இயந்திர பாகங்களின் அளவு அளவீடு போன்ற சாதாரண துல்லிய அளவீட்டில், அனுமதிக்கப்பட்ட அளவீட்டுப் பிழை ±20 மைக்ரான்களுக்குள் இருந்தால், மேலே உள்ள விரிவாக்க குணகக் கணக்கீட்டின்படி, ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய அளவில் தள அளவு மாற்றத்தால் ஏற்படும் அளவீட்டுப் பிழையைக் கட்டுப்படுத்த, வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தை ± 3-4 ℃ வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்த வேண்டும். குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தியில் லித்தோகிராஃபி செயல்முறை அளவீடு போன்ற உயர் துல்லியத் தேவைகள் உள்ள பகுதிகளில், பிழை ±1 மைக்ரானுக்குள் அனுமதிக்கப்படுகிறது, மேலும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தை ± 0.1-0.2 ° C க்குள் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டும். வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கம் இந்த வரம்பை மீறியவுடன், கிரானைட் தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் அளவீட்டு முடிவுகளில் விலகல்களை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது சிப் உற்பத்தியின் விளைச்சலைப் பாதிக்கும்.
கிரானைட் துல்லிய தளத்தின் அளவிடும் துல்லியத்தில் சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தின் செல்வாக்கைச் சமாளிக்க, நடைமுறை வேலைகளில் பல நடவடிக்கைகள் பெரும்பாலும் ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, மிகச் சிறிய வரம்பில் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தைக் கட்டுப்படுத்த அளவீட்டு சூழலில் உயர் துல்லிய நிலையான வெப்பநிலை உபகரணங்கள் நிறுவப்பட்டுள்ளன; அளவீட்டுத் தரவுகளில் வெப்பநிலை இழப்பீடு மேற்கொள்ளப்படுகிறது, மேலும் தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் நிகழ்நேர வெப்பநிலை மாற்றங்களின்படி அளவீட்டு முடிவுகள் மென்பொருள் வழிமுறையால் சரி செய்யப்படுகின்றன. இருப்பினும், என்ன நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட்டாலும், கிரானைட் துல்லிய தளத்தின் அளவீட்டு துல்லியத்தில் சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் தாக்கத்தை துல்லியமாகப் புரிந்துகொள்வது துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான அளவீட்டுப் பணியை உறுதி செய்வதற்கான அடிப்படையாகும்.