குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் துல்லியமான சங்கிலியில், வேஃபர் பரிமாற்ற அமைப்பு "சிப் உற்பத்தி வரிசையின் உயிர்நாடி" போன்றது, மேலும் அதன் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியம் சில்லுகளின் மகசூல் விகிதத்தை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. புதிய தலைமுறை வேஃபர் பரிமாற்ற அமைப்புகள் லீனியர் மோட்டார்களை கிரானைட் தளங்களுடன் புரட்சிகரமாக இணைக்கின்றன, மேலும் கிரானைட் பொருட்களின் தனித்துவமான நன்மைகள் உயர் செயல்திறன் பரிமாற்றத்தைத் திறப்பதற்கான முக்கிய குறியீடாகும்.
கிரானைட் அடித்தளம்: நிலையான பரிமாற்றத்திற்கான "பாறை-திட அடித்தளத்தை" உருவாக்குதல்.
நூற்றுக்கணக்கான மில்லியன் ஆண்டுகளாக புவியியல் சுத்திகரிப்புக்கு உட்பட்ட கிரானைட், அடர்த்தியான மற்றும் சீரான உள் கனிம படிகமயமாக்கலைக் கொண்டுள்ளது. இந்த இயற்கை பண்பு, செதில் பரிமாற்ற அமைப்புகளுக்கு ஒரு சிறந்த அடிப்படைப் பொருளாக அமைகிறது. குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறைகளின் சிக்கலான சூழலில், கிரானைட், அதன் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (5-7 ×10⁻⁶/℃ மட்டுமே) கொண்டது, உபகரண செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தையும் சுற்றுச்சூழல் வெப்பநிலை மாற்றங்களின் செல்வாக்கையும் எதிர்க்கும், அடித்தள அளவின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்து, வெப்ப சிதைவால் ஏற்படும் பரிமாற்ற பாதை விலகலைத் தவிர்க்கிறது. அதன் சிறந்த அதிர்வு தணிப்பு செயல்திறன், நேரியல் மோட்டார்களின் தொடக்கம், பணிநிறுத்தம் மற்றும் முடுக்கம் ஆகியவற்றின் போது உருவாகும் இயந்திர அதிர்வுகளையும், பட்டறையில் உள்ள பிற உபகரணங்களின் செயல்பாட்டால் ஏற்படும் வெளிப்புற குறுக்கீடுகளையும் விரைவாக உறிஞ்சி, செதில் பரிமாற்றத்திற்கு "பூஜ்ஜிய குலுக்கல்" கொண்ட நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது.
இதற்கிடையில், கிரானைட்டின் வேதியியல் நிலைத்தன்மை, அமிலம் மற்றும் கார வினைப்பொருட்கள் ஆவியாகும் தன்மை கொண்டவை மற்றும் அதிக தூய்மை தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி பட்டறைகளில் அது அரிப்பு அல்லது துருப்பிடிக்காது என்பதை உறுதி செய்கிறது, இதனால் பொருள் வயதானது அல்லது மாசுபடுத்தும் உறிஞ்சுதல் காரணமாக பரிமாற்ற துல்லியத்தில் ஏற்படும் தாக்கத்தைத் தவிர்க்கிறது. மென்மையான மற்றும் அடர்த்தியான மேற்பரப்பு பண்புகள் தூசி ஒட்டுதலை மிகவும் திறம்படக் குறைக்கும், சுத்தமான அறைகளின் கடுமையான தூசி இல்லாத தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்யும் மற்றும் வேரிலிருந்து வேஃபர் மாசுபாட்டின் அபாயத்தை நீக்கும்.
நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் கிரானைட்டின் "தங்க கூட்டாண்மை" விளைவு
இயந்திர பரிமாற்ற அனுமதி இல்லாத தன்மை, அதிக முடுக்கம் மற்றும் அதிக மறுமொழி வேகம் போன்ற பண்புகளைக் கொண்ட லீனியர் மோட்டார்கள், வேஃபர் டிரான்ஸ்மிஷனை "வேகமான, துல்லியமான மற்றும் நிலையான" நன்மைகளுடன் வழங்குகின்றன. கிரானைட் அடித்தளம் அதற்கு ஒரு உறுதியான மற்றும் நம்பகமான ஆதரவு தளத்தை வழங்குகிறது. செயல்திறனில் ஒரு பாய்ச்சலை அடைய இரண்டும் இணைந்து செயல்படுகின்றன. லீனியர் மோட்டார் வேஃபர் கேரியரை கிரானைட் அடித்தள பாதையில் இயக்கும்போது, அடித்தளத்தின் வலுவான விறைப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மை மோட்டார் உந்து சக்தியின் திறமையான பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது, அடிப்படை சிதைவால் ஏற்படும் விசை இழப்பு அல்லது பரிமாற்ற தாமதத்தைத் தவிர்க்கிறது.
நானோ அளவிலான துல்லியத்திற்கான தேவையால் இயக்கப்படும், நேரியல் மோட்டார்கள் துணை-மைக்ரான்-நிலை இடப்பெயர்ச்சி கட்டுப்பாட்டை அடைய முடியும். கிரானைட் தளங்களின் உயர்-துல்லிய செயலாக்க பண்புகள் (±1μm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படும் தட்டையான பிழைகளுடன்) நேரியல் மோட்டார்களின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை சரியாகப் பொருத்துகின்றன, இது வேஃபர் பரிமாற்றத்தின் போது நிலைப்படுத்தல் பிழை ±5μm க்கும் குறைவாக இருப்பதை கூட்டாக உறுதி செய்கிறது. பல்வேறு செயல்முறை உபகரணங்களுக்கு இடையில் அதிவேக ஷட்டில்லிங் அல்லது வேஃபர் ஒப்படைப்புக்கான துல்லியமான பார்க்கிங் என எதுவாக இருந்தாலும், நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் கிரானைட் தளங்களின் கலவையானது வேஃபர் பரிமாற்றத்தில் "பூஜ்ஜிய விலகல் மற்றும் பூஜ்ஜிய நடுக்கம்" ஆகியவற்றை உறுதிசெய்யும்.
தொழில் நடைமுறை சரிபார்ப்பு: செயல்திறன் மற்றும் மகசூல் விகிதத்தில் இரட்டை முன்னேற்றம்.
அதன் வேஃபர் பரிமாற்ற அமைப்பை மேம்படுத்திய பிறகு, ஒரு முன்னணி உலகளாவிய குறைக்கடத்தி நிறுவனம் ஒரு நேரியல் மோட்டார் + கிரானைட் அடிப்படை தீர்வை ஏற்றுக்கொண்டது, இது வேஃபர் பரிமாற்ற செயல்திறனை 40% அதிகரித்தது, பரிமாற்ற செயல்பாட்டின் போது மோதல் மற்றும் ஆஃப்செட் போன்ற தவறுகளின் நிகழ்வு விகிதத்தை 85% குறைத்தது மற்றும் சில்லுகளின் ஒட்டுமொத்த மகசூல் விகிதத்தை 6% மேம்படுத்தியது. தரவுகளுக்குப் பின்னால் கிரானைட் அடித்தளத்தால் வழங்கப்படும் பரிமாற்ற நிலைத்தன்மையின் உத்தரவாதமும், நேரியல் மோட்டரின் அதிவேக மற்றும் துல்லியமான சினெர்ஜி விளைவும் உள்ளன, இது வேஃபர் பரிமாற்ற செயல்பாட்டில் இழப்பு மற்றும் பிழையை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.
பொருள் பண்புகள் முதல் துல்லியமான உற்பத்தி வரை, செயல்திறன் நன்மைகள் முதல் நடைமுறை சரிபார்ப்பு வரை, நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் கிரானைட் தளங்களின் கலவையானது வேஃபர் பரிமாற்ற அமைப்புகளின் தரநிலைகளை மறுவரையறை செய்துள்ளது. எதிர்காலத்தில் குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் 3nm மற்றும் 2nm செயல்முறைகளை நோக்கி முன்னேறும்போது, கிரானைட் பொருட்கள் அவற்றின் ஈடுசெய்ய முடியாத நன்மைகளுடன் தொழில்துறையின் வளர்ச்சியில் வலுவான உத்வேகத்தை நிச்சயமாக செலுத்தும்.
இடுகை நேரம்: மே-14-2025