எந்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களில், கிரானைட் படுக்கை மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது?

பல்வேறு குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் கிரானைட் படுக்கை ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.மிகவும் உறுதியான மற்றும் உறுதியான பொருளாக, கிரானைட் குறைக்கடத்தி செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான தளமாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.இது குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், உயர் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயந்திர பண்புகளால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது.இந்த பண்புகள் காரணமாக, கிரானைட் படுக்கை பொதுவாக மூன்று வெவ்வேறு வகையான குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது - அளவியல் உபகரணங்கள், லித்தோகிராஃபி உபகரணங்கள் மற்றும் ஆய்வு உபகரணங்கள்.

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் முக்கியமான பரிமாணங்களை அளவிடவும் கண்டறியவும் அளவியல் கருவிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.அளவியல் கருவிகளில் ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கிகள், எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் மற்றும் அணுசக்தி நுண்ணோக்கிகள் (AFMகள்) போன்ற கருவிகள் அடங்கும்.இந்த அளவீட்டு கருவிகளின் செயல்திறன் அவற்றின் நிலைத்தன்மை, துல்லியம் மற்றும் அதிர்வு எதிர்ப்பைப் பொறுத்தது என்பதால், அவற்றின் படுக்கைப் பொருட்களுக்கு கிரானைட் சிறந்த தேர்வாகும்.கிரானைட் படுக்கையின் சீரான தன்மை மற்றும் உறுதிப்பாடு கருவிகளுக்கு ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது, இது அவற்றின் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.

செதில்களில் மைக்ரோசிப் வடிவங்களை உருவாக்க லித்தோகிராஃபி உபகரணங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.சிக்கலான சுற்றுகளை உருவாக்கவும் சிப் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் லித்தோகிராஃபி செயல்முறைக்கு அதிக அளவிலான துல்லியம் மற்றும் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது.லித்தோகிராஃபி உபகரணங்களில் ஸ்டெப்பர் மற்றும் ஸ்கேனர் அமைப்புகள் உள்ளன, அவை செதில் மீது படங்களை மாற்ற ஒளியைப் பயன்படுத்துகின்றன.லித்தோகிராஃபி செயல்முறை அதிர்வு மற்றும் வெப்ப மாற்றங்களுக்கு அதிக உணர்திறன் கொண்டதாக இருப்பதால், லித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை உறுதிப்படுத்த உயர்தர படுக்கை அவசியம்.கிரானைட் படுக்கைகள் லித்தோகிராஃபி அமைப்புகளுக்கு தேவையான நிலைத்தன்மை மற்றும் கடுமையான அதிர்வு தணிப்பு செயல்திறனை வழங்குகின்றன.கிரானைட் படுக்கையானது ஸ்டெப்பர் அல்லது ஸ்கேனர் அமைப்பை அதிக துல்லியம் மற்றும் இறுதி தயாரிப்பு தரத்தை உறுதி செய்யும் துல்லியமான இடஞ்சார்ந்த உறவுகளை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் ஏதேனும் குறைபாடுகளைக் கண்டறிய ஆய்வுக் கருவி பயன்படுத்தப்படுகிறது.ஆய்வுக் கருவிகளில் லேசர் ஸ்கேனிங் நுண்ணோக்கிகள், எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் மற்றும் ஒளியியல் நுண்ணோக்கிகள் போன்ற அமைப்புகள் உள்ளன.இந்த சாதனங்கள் மிகவும் துல்லியமானதாகவும், நிலையானதாகவும், அதிர்வு-எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதாகவும் இருக்க வேண்டும் என்பதற்காக, கிரானைட் படுக்கைகள் சரியான பொருளாகும்.கிரானைட்டின் இயந்திர பண்புகள் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவை அதிர்வு தனிமைப்படுத்தலுக்கு உதவுகின்றன, இது ஆய்வுக் கருவியின் வெளியீட்டின் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.

முடிவில், கிரானைட் படுக்கையானது குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு முக்கியமானது மற்றும் பல்வேறு வகையான உபகரணங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் மற்றும் சிறந்த இயந்திர நிலைத்தன்மை போன்ற அதன் தனித்துவமான பண்புகள், குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் படுக்கைப் பொருளுக்கு கிரானைட்டை சிறந்த தேர்வாக ஆக்குகிறது.உயர்தர கிரானைட் படுக்கையானது செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுக்கு தேவையான நிலைப்புத்தன்மை, துல்லியம் மற்றும் அதிர்வு எதிர்ப்பை வழங்குவதால், அது இறுதியில் இறுதி தயாரிப்பின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.எனவே, செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் கிரானைட் படுக்கையின் பயன்பாடு வரும் ஆண்டுகளில் தொடரும் என்பது உறுதி.