குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, துல்லியமான மற்றும் துல்லியமான உபகரணங்களின் உலகம் உயர்தர சில்லுகளை உருவாக்க முக்கியமானது. ஒரு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வசதியின் ஏராளமான பகுதிகள் உள்ளன, அவை நம்பகமான மற்றும் அதிக துல்லியமான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்த குறிப்பிட்ட பண்புகளைக் கொண்ட பொருட்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
குறைக்கடத்தி கருவிகளின் நிலையான அங்கமாக மாறிய ஒரு பொருள் கிரானைட் ஆகும். அதன் வலிமை மற்றும் நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்ற கிரானைட், குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் கூறுகளை உருவாக்குவதற்கும் புனையுவதற்கும் ஒரு சிறந்த பொருள். பொதுவாக கிரானைட் பொருளைப் பயன்படுத்தும் குறைக்கடத்தி கருவிகளின் சில பகுதிகள் இங்கே:
1. அடிப்படை தகடுகள்
வெப்பநிலையின் அதிர்வுகளையும் மாறுபாடுகளையும் குறைக்க குறைக்கடத்தி கருவிகளின் அடிப்படை தகடுகள் மிகவும் தட்டையானதாகவும் நிலையானதாகவும் இருக்க வேண்டும். இந்த தேவைகளை பூர்த்தி செய்யக்கூடிய சில பொருட்களில் கிரானைட் ஒன்றாகும். கிரானைட் என்பது ஒரு பரிமாண நிலையான பொருளாகும், இது போர்டிங் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தை எதிர்க்கிறது, இது அடிப்படை தட்டு காலப்போக்கில் அதன் தட்டையான தன்மையை பராமரிக்கிறது என்பதை உறுதி செய்கிறது.
2. நிலைகள்
செமிகண்டக்டர் கருவிகளில் நிலைகள் முக்கியமான கூறுகள், அவை செதில் பொருத்துதல், பொறித்தல் மற்றும் படிவு போன்ற உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு துல்லியமான இயக்கங்களைச் செய்கின்றன. கிரானைட் நிலைகள் குறைக்கடத்தி கருவிகளில் அவற்றின் அதிக விறைப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சிறந்த ஈரமாக்கும் பண்புகள் காரணமாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் நிலைகளுடன், இயக்கங்கள் மிகவும் துல்லியமானவை, மேலும் உபகரணங்கள் தோல்வியின் ஆபத்து குறைவாக உள்ளன.
3. நேரியல் வழிகாட்டிகள்
நேரியல் வழிகாட்டிகள் இரண்டு இணையான தண்டவாளங்களுடன் நேரியல் இயக்கத்தை வழங்கும் இயந்திர சாதனங்கள். அவை மிகவும் நிலையானதாகவும் துல்லியமாகவும் இருக்க வேண்டும், மேலும் கிரானைட் இந்த நோக்கத்திற்காக சிறந்த பொருள். கிரானைட்டின் உயர்-கடினமான மற்றும் ஈரப்பத பண்புகள் குறைக்கடத்தி கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் நேரியல் வழிகாட்டிகளுக்கு பிரபலமான தேர்வாக அமைகின்றன, நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன, மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் துல்லியமாக உள்ளன.
4. சக்ஸ்
பல்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகளின் போது செதில்களை வைத்திருக்கவும் நிலைநிறுத்தவும் சக்ஸ் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கிரானைட்டுகள் சக்ஸ் அவற்றின் தட்டையான தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை காரணமாக பிரபலமாக உள்ளன. கிரானைட்டின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் காரணமாக, இந்த பொருளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட சக்ஸ் வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு வெளிப்படும் போது பரிமாணங்களை மாற்றவோ அல்லது மாற்றவோ இல்லை.
5. ஆய்வு தகடுகள்
குறைக்கடத்தி கருவிகளில் தயாரிக்கப்படும் பொருட்களின் தரத்தை சரிபார்க்க ஆய்வு தகடுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த தட்டுகள் மிகவும் தட்டையானதாகவும் நிலையானதாகவும் இருக்க வேண்டும், மேலும் ஒளியை துல்லியமாக பிரதிபலிக்க முடியும். கிரானைட்டின் உயர் பிரதிபலிப்பு, மேற்பரப்பு தட்டையானது மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவை குறைக்கடத்தி கருவிகளில் ஆய்வு தகடுகளுக்கு பிரபலமான தேர்வாக அமைகின்றன.
முடிவில், கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி கருவிகளில் துல்லியமான பகுதிகளுக்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றின் பயன்பாடு அவற்றின் சிறந்த பண்புகள் காரணமாக விரிவடையும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. அவற்றின் அதிக விறைப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சிறந்த ஈரப்பத பண்புகள் மூலம், கிரானைட் கூறுகள் குறைக்கடத்தி கருவிகளில் நானோ அளவிலான செயல்பாடுகளைச் செய்வதற்கு தேவையான நிலைத்தன்மை, துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் நிகழ்தகவை வழங்குகின்றன. உயர்தர குறைக்கடத்தி கருவிகளை உருவாக்கும் நிறுவனங்கள் தங்கள் தயாரிப்புகளுக்கு வெற்றிக்கு சிறந்த வாய்ப்பை வழங்க சிறந்த பொருட்களில் முதலீடு செய்கின்றன, மேலும் கிரானைட் அதன் சிறந்த பண்புகள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை காரணமாக தொடர்ந்து செல்லக்கூடிய பொருளாக உள்ளது.
இடுகை நேரம்: MAR-19-2024