உயர் பரிமாண நிலைத்தன்மை, அதிக விறைப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம், நல்ல ஈரமாக்கும் பண்புகள் மற்றும் உடைகள் மற்றும் சிராய்ப்புக்கு அதிக எதிர்ப்பு போன்ற சிறந்த பண்புகள் காரணமாக கிரானைட் படுக்கைகள் குறைக்கடத்தி கருவி உற்பத்தியில் மிகவும் விரும்பப்படுகின்றன. செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் உற்பத்தித் துறையில் பல முக்கியமான கூறுகளில் அவை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதாவது செதில் ஆய்வு அமைப்புகள், செதில் அளவீட்டு முறைகள், செதில் கையாளுதல் அமைப்புகள் மற்றும் பல.
செதில் ஆய்வு அமைப்புகள்
செமிகண்டக்டர் செதில்களை ஆய்வு செய்ய நிலையான மற்றும் தட்டையான மேற்பரப்பை வழங்க செதில் ஆய்வு அமைப்புகள் கிரானைட் படுக்கைகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. கிரானைட் படுக்கைகள் மேடை தளமாக பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவை செதில்களை ஆய்வுக்கு உட்படுத்துகின்றன. கிரானைட் படுக்கையின் தட்டையான தன்மை மற்றும் விறைப்பு துல்லியமான பரிசோதனையை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் செதிலுக்கு சேதம் அல்லது மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது. கிரானைட் படுக்கைகள் சுற்றுச்சூழல் அதிர்வுகள் மற்றும் பிற வெளிப்புற காரணிகளின் விளைவுகளை குறைக்க உதவுகின்றன.
செதில் அளவீட்டு அமைப்புகள்
செதில் அளவீட்டு அமைப்புகளில், துல்லியம் முக்கியமானது. கிரானைட் படுக்கைகள் இந்த நோக்கத்திற்காக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் அவற்றின் சிறந்த பரிமாண ஸ்திரத்தன்மை. அவை செதில் தடிமன், வடிவம் மற்றும் மேற்பரப்பு அம்சங்களின் துல்லியமான அளவீட்டுக்கு ஒரு கடினமான தளத்தை வழங்குகின்றன. கிரானைட் படுக்கைகள் உடைகள் மற்றும் சிராய்ப்பை எதிர்க்கின்றன, இது நீண்ட காலத்திற்கு தொடர்ச்சியான பயன்பாட்டிற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
செதில் கையாளுதல் அமைப்புகள்
கிரானைட் படுக்கைகள் செதில் கையாளுதல் அமைப்புகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த அமைப்புகளில், கையாளுதல் செயல்பாட்டின் போது செதில்களை நிலைநிறுத்துவதற்கான துல்லியமான வழிகாட்டியாக கிரானைட் படுக்கைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் படுக்கையின் அதிக விறைப்பு மற்றும் தட்டையானது செதிலின் துல்லியமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் நிலைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது, சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
பிற கூறுகள்
மேற்கண்ட கூறுகளைத் தவிர, அரைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியின் பிற முக்கியமான பகுதிகளான மேடை தளங்கள், ஆதரவு கட்டமைப்புகள் மற்றும் பிற உயர் துல்லிய பாகங்கள் போன்றவற்றிலும் கிரானைட் படுக்கைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் படுக்கைகளின் உயர் பரிமாண நிலைத்தன்மை பகுதி சிதைவு, வெப்ப மாற்றங்கள் மற்றும் அதிர்வு ஆகியவற்றால் ஏற்படும் பிழைகளைக் குறைக்க உதவுகிறது.
முடிவு
முடிவில், கிரானைட் படுக்கைகள் குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான அங்கமாகும், ஏனெனில் அவை உயர் பரிமாண நிலைத்தன்மை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் உடைகள் மற்றும் சிராய்ப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன. செதில் ஆய்வு அமைப்புகள், செதில் அளவீட்டு முறைகள், செதில் கையாளுதல் அமைப்புகள் மற்றும் பிற உயர் துல்லியமான உபகரணங்களில் துல்லியமான, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனுக்கு அவை அவசியம். கிரானைட் படுக்கைகளின் பயன்பாடு, குறைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் நவீன குறைக்கடத்தி தொழில் கோரப்பட்ட கடுமையான தரங்களை பூர்த்தி செய்யும் உயர்தர தயாரிப்புகளை உருவாக்க முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.
இடுகை நேரம்: ஏபிஆர் -03-2024