கிரானைட் தளங்கள் பொதுவாக குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் அவற்றின் சிறந்த நிலைப்புத்தன்மை, விறைப்பு மற்றும் தணிக்கும் பண்புகளால் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.இந்த தளங்கள் கருவிகளின் துல்லியம் மற்றும் துல்லியத்தை பராமரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, இது இறுதியில் குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளின் தரத்திற்கு பங்களிக்கிறது.எனவே, இந்த தளங்கள் நன்கு பராமரிக்கப்படுவதையும் தேவையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதையும் உறுதி செய்வது அவசியம்.
குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கிரானைட் தளங்களின் பராமரிப்பு மற்றும் பராமரிப்புக்கான சில தேவைகள் பின்வருமாறு:
1. வழக்கமான சுத்தம்: தூசி, குப்பைகள் மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் குவிவதைத் தடுக்க கிரானைட் தளங்களை தொடர்ந்து சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.இந்த பொருட்கள் உபகரணங்களின் துல்லியத்தை பாதிக்கலாம் மற்றும் கிரானைட்டின் மேற்பரப்பில் சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.மென்மையான தூரிகை அல்லது மைக்ரோஃபைபர் துணி மற்றும் லேசான சோப்பு கரைசலைப் பயன்படுத்தி சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.வலுவான இரசாயனங்கள் அல்லது சிராய்ப்பு கிளீனர்கள் தவிர்க்கப்பட வேண்டும், ஏனெனில் அவை கிரானைட் மேற்பரப்பில் சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.
2. உயவு: கிரானைட் தளங்கள் தேய்மானம் மற்றும் கிழிந்து தடுக்க மற்றும் உபகரணங்கள் சீரான இயக்கம் உறுதி செய்ய சரியான உயவு தேவைப்படுகிறது.உயர்தர சிலிகான் அடிப்படையிலான மசகு எண்ணெய் போன்ற பொருத்தமான மசகு எண்ணெய் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.மசகு எண்ணெய் சிறிய அளவில் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும் மற்றும் மேற்பரப்பு முழுவதும் சமமாக விநியோகிக்கப்பட வேண்டும்.அதிகப்படியான மசகு எண்ணெய் தேங்குவதைத் தடுக்க துடைக்கப்பட வேண்டும்.
3. வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: கிரானைட் தளங்கள் வெப்பநிலையில் ஏற்படும் மாற்றங்களுக்கு உணர்திறன் கொண்டவை, இது வெப்ப விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கத்தை ஏற்படுத்தும்.உபகரணங்கள் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு சூழலில் வைக்கப்பட வேண்டும், மேலும் வெப்பநிலையில் ஏதேனும் மாற்றங்கள் படிப்படியாக இருக்க வேண்டும்.வெப்பநிலையில் திடீர் மாற்றங்கள் கிரானைட் மேற்பரப்பில் அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தும், இது விரிசல் அல்லது பிற சேதங்களுக்கு வழிவகுக்கும்.
4. சமன்படுத்துதல்: கிரானைட் அடித்தளம் மேற்பரப்பு முழுவதும் எடை சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்ய சமன் செய்யப்பட வேண்டும்.சீரற்ற எடை விநியோகம் மேற்பரப்பில் அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தும், காலப்போக்கில் சேதத்தை விளைவிக்கும்.தளத்தின் அளவைத் தொடர்ந்து சரிபார்த்து, தேவைக்கேற்ப அதைச் சரிசெய்ய ஒரு நிலை காட்டி பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.
5. ஆய்வு: கிரானைட் தளத்தின் வழக்கமான ஆய்வு தேய்மானம், சேதம் அல்லது குறைபாடுகளின் அறிகுறிகளைக் கண்டறிய அவசியம்.உபகரணங்களின் மேலும் சேதம் அல்லது செயலிழப்பைத் தடுக்க ஏதேனும் அசாதாரணமான அல்லது அசாதாரணமான அறிகுறிகள் உடனடியாக கவனிக்கப்பட வேண்டும்.
முடிவில், செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் கிரானைட் தளங்களை பராமரித்தல் மற்றும் பராமரிப்பது உபகரணங்கள் மற்றும் தயாரிப்புகளின் துல்லியம், துல்லியம் மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்ய இன்றியமையாதது.வழக்கமான சுத்தம், உயவு, வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, சமன் செய்தல் மற்றும் ஆய்வு ஆகியவை கிரானைட் தளங்களை உகந்த நிலையில் வைத்திருக்க பின்பற்ற வேண்டிய சில அத்தியாவசிய தேவைகள்.இந்தத் தேவைகளைப் பின்பற்றுவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி நிறுவனங்கள் தங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் தயாரிப்புகளின் நீண்ட ஆயுளையும் ஒருமைப்பாட்டையும் உறுதிசெய்து, இறுதியில் தொழில்துறையில் அவர்களின் வெற்றி மற்றும் வளர்ச்சிக்கு பங்களிக்கின்றன.
இடுகை நேரம்: மார்ச்-25-2024