கிரானைட் துல்லிய மேடையின் நேர்த்தியை எவ்வாறு சரிபார்ப்பது? அதன் நேர்த்தி தரநிலைக்கு உட்பட்டதா என்பதை உறுதி செய்வது எப்படி?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் துல்லியமான அளவீட்டுக் கருவிகள் போன்ற துறைகளில், கிரானைட் துல்லிய மேடைகளின் துல்லியம், உபகரணங்களின் செயல்பாட்டுத் தரத்தை நேரடியாகத் தீர்மானிக்கிறது. மேடையின் துல்லியம் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய, முக்கிய குறிகாட்டிகளைக் கண்டறிதல் மற்றும் தரநிலை விதிமுறைகளுக்கு இணங்குதல் ஆகிய இரண்டு அம்சங்களில் முயற்சிகள் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும்.

மையக் குறிகாட்டி கண்டறிதல்: துல்லியத்தின் பன்முகக் கட்டுப்பாடு
சமதளத்தன்மையைக் கண்டறிதல்: குறிப்புத் தளத்தின் "சமதளத்தன்மையை" நிர்ணயித்தல்
கிரானைட் துல்லிய மேடைகளின் முக்கியக் காட்டி சமதளத்தன்மை ஆகும், மேலும் இது பொதுவாக லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்கள் அல்லது மின்னணு மட்டக்கருவிகள் மூலம் அளவிடப்படுகிறது. லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டரானது, ஒரு லேசர் கற்றையை உமிழ்ந்து மற்றும் ஒளி குறுக்கீட்டுத் தத்துவத்தைப் பயன்படுத்தி, மேடையின் மேற்பரப்பில் உள்ள மிகச்சிறிய ஏற்ற இறக்கங்களை சப்-மைக்ரான் நிலை வரையிலான துல்லியத்துடன் துல்லியமாக அளவிட முடியும். மின்னணு மட்டக்கருவியானது, பலமுறை நகர்த்துவதன் மூலம் அளவிடுகிறது மற்றும் மேடையின் மேற்பரப்பின் முப்பரிமாண சம உயர வரைபடத்தை வரைந்து, ஏதேனும் உள்ளூர் புடைப்புகள் அல்லது பள்ளங்கள் உள்ளதா என்பதைக் கண்டறிகிறது. உதாரணமாக, குறைக்கடத்தி ஒளி அச்சுப் பதிப்பு இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் மேடைகள் ±0.5μm/m என்ற சமதளத்தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், அதாவது 1-மீட்டர் நீளத்திற்குள் உள்ள உயர வேறுபாடு அரை மைக்ரோமீட்டருக்கு மிகாமல் இருக்க வேண்டும். உயர்-துல்லிய கண்டறிதல் கருவிகள் மூலம் மட்டுமே இந்தக் கடுமையான தரநிலையை உறுதி செய்ய முடியும்.
2. நேர்கோட்டுத்தன்மையைக் கண்டறிதல்: நேர்கோட்டு இயக்கத்தின் "நேர்கோட்டுத்தன்மையை" உறுதிசெய்யவும்.
துல்லியமான நகரும் பாகங்களைக் கொண்ட தளங்களுக்கு, நேர்கோட்டுத்தன்மை மிகவும் இன்றியமையாதது. இதைக் கண்டறிவதற்கான பொதுவான முறைகள் கம்பி முறை அல்லது லேசர் கோலிமேட்டர் ஆகும். கம்பி முறையில், உயர்-துல்லியமான எஃகுக் கம்பிகள் தொங்கவிடப்பட்டு, தளத்தின் மேற்பரப்பிற்கும் எஃகுக் கம்பிகளுக்கும் இடையிலான இடைவெளியை ஒப்பிட்டு நேர்கோட்டுத்தன்மையை நிர்ணயிக்கப்படுகிறது. லேசர் கோலிமேட்டர், தளத்தின் வழிகாட்டிப் பட்டையின் நிறுவல் மேற்பரப்பில் உள்ள நேர்கோட்டுப் பிழையைக் கண்டறிய, லேசரின் நேர்கோட்டுப் பரவல் பண்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது. நேர்கோட்டுத்தன்மை தரநிலையைப் பூர்த்தி செய்யவில்லை என்றால், அது இயக்கத்தின் போது உபகரணம் நிலைமாறக் காரணமாகி, செயலாக்கம் அல்லது அளவீட்டுத் துல்லியத்தைப் பாதிக்கும்.
3. மேற்பரப்பு சொரசொரப்பைக் கண்டறிதல்: தொடர்பின் "நுட்பத்தை" உறுதிசெய்யவும்.
தளத்தின் மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு, பாகங்கள் பொருத்துதலின் பொருத்தத்தைப் பாதிக்கிறது. பொதுவாக, இதைக் கண்டறிய ஸ்டைலஸ் சொரசொரப்புமானி அல்லது ஒளியியல் நுண்ணோக்கி பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஸ்டைலஸ் வகை கருவியானது, ஒரு மெல்லிய ஆய்வுக்கருவியைக் கொண்டு தளத்தின் மேற்பரப்பைத் தொடுவதன் மூலம், நுண்ணிய வடிவத்தின் உயர மாற்றங்களைப் பதிவு செய்கிறது. ஒளியியல் நுண்ணோக்கிகளால் மேற்பரப்பு அமைப்பை நேரடியாகக் காண முடியும். உயர்-துல்லியப் பயன்பாடுகளில், கிரானைட் தளங்களின் மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு Ra≤0.05μm என்ற அளவில் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். இது ஒரு கண்ணாடி போன்ற விளைவுக்குச் சமமானதாகும். இதன் மூலம், துல்லியமான பாகங்கள் பொருத்தும் போது இறுக்கமாகப் பொருந்துவது உறுதி செய்யப்படுகிறது மற்றும் இடைவெளிகளால் ஏற்படும் அதிர்வு அல்லது இடப்பெயர்ச்சி தவிர்க்கப்படுகிறது.
துல்லியத் தரநிலைகள் சர்வதேச விதிமுறைகள் மற்றும் நிறுவனத்தின் உள்ளகக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றைப் பின்பற்றுகின்றன.
தற்போது, ​​சர்வதேச அளவில், கிரானைட் தளங்களின் துல்லியத்தை நிர்ணயிப்பதற்கான அடிப்படையாக ISO 25178 மற்றும் GB/T 24632 தரநிலைகள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் தட்டையான தன்மை மற்றும் நேர்கோட்டுத்தன்மை போன்ற குறிகாட்டிகளுக்குத் தெளிவான வகைப்பாடுகள் உள்ளன. கூடுதலாக, உயர்தர உற்பத்தி நிறுவனங்கள் பெரும்பாலும் மிகவும் கடுமையான உள் கட்டுப்பாட்டுத் தரநிலைகளை அமைக்கின்றன. உதாரணமாக, ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் கிரானைட் தளத்திற்கான தட்டையான தன்மைத் தேவை, சர்வதேசத் தரநிலையை விட 30% அதிகமாக உள்ளது. சோதனைகளை மேற்கொள்ளும்போது, ​​அளவிடப்பட்ட தரவுகள் தொடர்புடைய தரநிலைகளுடன் ஒப்பிடப்பட வேண்டும். தரநிலைகளுக்கு முழுமையாக இணங்கும் தளங்கள் மட்டுமே துல்லியமான உபகரணங்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்ய முடியும்.
கிரானைட் துல்லிய மேடைகளின் நேர்த்தியை ஆய்வு செய்வது ஒரு முறையான திட்டமாகும். சமதளம், நேர்கோட்டுத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு போன்ற முக்கிய குறிகாட்டிகளைக் கடுமையாகச் சோதித்து, சர்வதேச மற்றும் நிறுவனத் தரநிலைகளைக் கடைப்பிடிப்பதன் மூலம் மட்டுமே, மேடையின் உயர் துல்லியத்தையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதிப்படுத்த முடியும். இது குறைக்கடத்திகள் மற்றும் துல்லியக் கருவிகள் போன்ற உயர்தர உற்பத்தித் துறைகளுக்கு ஒரு உறுதியான அடித்தளத்தை அமைக்கிறது.