கிரானைட் துல்லிய தளத்தின் துல்லியத்தை எவ்வாறு ஆய்வு செய்வது? துல்லியம் நிலையானதா என்பதை உறுதிப்படுத்துவது எப்படி?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் துல்லிய அளவீட்டு கருவிகள் போன்ற துறைகளில், கிரானைட் துல்லிய தளங்களின் துல்லியம் நேரடியாக உபகரணங்களின் செயல்பாட்டு தரத்தை தீர்மானிக்கிறது. தளத்தின் துல்லியம் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய, இரண்டு அம்சங்களிலிருந்து முயற்சிகள் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும்: முக்கிய குறிகாட்டிகளைக் கண்டறிதல் மற்றும் நிலையான விதிமுறைகளுடன் இணங்குதல்.

மையக் குறிகாட்டி கண்டறிதல்: துல்லியத்தின் பல பரிமாணக் கட்டுப்பாடு
தட்டையான தன்மையைக் கண்டறிதல்: குறிப்புத் தளத்தின் "தட்டையான தன்மையை" தீர்மானித்தல்
கிரானைட் துல்லிய தளங்களின் முக்கிய குறிகாட்டியாக தட்டையானது உள்ளது, மேலும் இது பொதுவாக லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்கள் அல்லது மின்னணு நிலைகளால் அளவிடப்படுகிறது. லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர், லேசர் கற்றையை வெளியிடுவதன் மூலமும், ஒளி குறுக்கீட்டைக் கொள்கையைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், துணை-மைக்ரான் அளவை அடையும் துல்லியத்துடன், தள மேற்பரப்பில் உள்ள சிறிய அலைவுகளை துல்லியமாக அளவிட முடியும். மின்னணு நிலை பல முறை நகர்வதன் மூலம் அளவிடுகிறது மற்றும் ஏதேனும் உள்ளூர் நீட்டிப்புகள் அல்லது தாழ்வுகள் உள்ளதா என்பதைக் கண்டறிய தள மேற்பரப்பின் முப்பரிமாண விளிம்பு வரைபடத்தை வரைகிறது. உதாரணமாக, குறைக்கடத்தி ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் தளங்கள் ±0.5μm/m தட்டையான தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், அதாவது 1 மீட்டர் நீளத்திற்குள் உயர வேறுபாடு அரை மைக்ரோமீட்டருக்கு மிகாமல் இருக்க வேண்டும். உயர்-துல்லிய கண்டறிதல் கருவிகள் மூலம் மட்டுமே இந்த கண்டிப்பான தரத்தை உறுதி செய்ய முடியும்.
2. நேரான தன்மையைக் கண்டறிதல்: நேரியல் இயக்கத்தின் "நேரான தன்மையை" உறுதி செய்தல்.
துல்லியமான நகரும் பாகங்களைக் கொண்ட தளங்களுக்கு, நேராக இருப்பது மிக முக்கியமானது. கண்டறிதலுக்கான பொதுவான முறைகள் கம்பி முறை அல்லது லேசர் கோலிமேட்டர் ஆகும். கம்பி முறை உயர் துல்லியமான எஃகு கம்பிகளை இடைநிறுத்துவதையும், நேராக இருப்பதை தீர்மானிக்க தள மேற்பரப்புக்கும் எஃகு கம்பிகளுக்கும் இடையிலான இடைவெளியை ஒப்பிட்டுப் பார்ப்பதையும் உள்ளடக்கியது. தள வழிகாட்டி ரயிலின் நிறுவல் மேற்பரப்பின் நேரியல் பிழையைக் கண்டறிய லேசர் கோலிமேட்டர் லேசரின் நேரியல் பரவல் பண்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது. நேராக இருப்பது தரநிலையை பூர்த்தி செய்யவில்லை என்றால், அது இயக்கத்தின் போது உபகரணங்களை மாற்றும், இது செயலாக்கம் அல்லது அளவீட்டு துல்லியத்தை பாதிக்கும்.
3. மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கண்டறிதல்: தொடர்பின் "நுட்பத்தை" உறுதி செய்யவும்.
தளத்தின் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கூறு நிறுவலின் பொருத்தத்தை பாதிக்கிறது. பொதுவாக, கண்டறிதலுக்கு ஒரு ஸ்டைலஸ் கரடுமுரடான மீட்டர் அல்லது ஒரு ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கி பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஸ்டைலஸ் வகை கருவி, தள மேற்பரப்பை ஒரு நுண்ணிய ஆய்வு மூலம் தொடர்பு கொள்வதன் மூலம் நுண்ணிய சுயவிவரத்தின் உயர மாற்றங்களை பதிவு செய்கிறது. ஒளியியல் நுண்ணோக்கிகள் மேற்பரப்பு அமைப்பை நேரடியாகக் கண்காணிக்க முடியும். உயர்-துல்லிய பயன்பாடுகளில், கிரானைட் தளங்களின் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra≤0.05μm இல் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், இது ஒரு கண்ணாடி போன்ற விளைவுக்கு சமம், நிறுவலின் போது துல்லியமான கூறுகள் இறுக்கமாக பொருந்துவதை உறுதிசெய்து இடைவெளிகளால் ஏற்படும் அதிர்வு அல்லது இடப்பெயர்ச்சியைத் தவிர்க்கிறது. ​
துல்லிய தரநிலைகள் பின்வருமாறு: சர்வதேச விதிமுறைகள் மற்றும் நிறுவனத்தின் உள் கட்டுப்பாடு
தற்போது, ​​சர்வதேச அளவில், கிரானைட் தளங்களின் துல்லியத்தை நிர்ணயிப்பதற்கான அடிப்படையாக ISO 25178 மற்றும் GB/T 24632 தரநிலைகள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் தட்டையானது மற்றும் நேரானது போன்ற குறிகாட்டிகளுக்கு தெளிவான வகைப்பாடுகள் உள்ளன. கூடுதலாக, உயர்நிலை உற்பத்தி நிறுவனங்கள் பெரும்பாலும் மிகவும் கடுமையான உள் கட்டுப்பாட்டு தரநிலைகளை அமைக்கின்றன. உதாரணமாக, ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் கிரானைட் தளத்திற்கான தட்டையான தேவை சர்வதேச தரத்தை விட 30% அதிகமாக உள்ளது. சோதனைகளை நடத்தும்போது, ​​அளவிடப்பட்ட தரவை தொடர்புடைய தரநிலைகளுடன் ஒப்பிட வேண்டும். தரநிலைகளுடன் முழுமையாக இணங்கும் தளங்கள் மட்டுமே துல்லியமான உபகரணங்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்ய முடியும்.
கிரானைட் துல்லிய தளங்களின் துல்லியத்தை ஆய்வு செய்வது ஒரு முறையான திட்டமாகும். தட்டையான தன்மை, நேரான தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை போன்ற முக்கிய குறிகாட்டிகளை கண்டிப்பாக சோதித்து, சர்வதேச மற்றும் நிறுவன தரநிலைகளை கடைபிடிப்பதன் மூலம் மட்டுமே, தளத்தின் உயர் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்ய முடியும், குறைக்கடத்திகள் மற்றும் துல்லிய கருவிகள் போன்ற உயர்நிலை உற்பத்தித் துறைகளுக்கு உறுதியான அடித்தளத்தை அமைக்க முடியும்.