உலகளாவிய அதிதுல்லிய உற்பத்தித் துறை முன்னேறி வருவதால், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி கருவிகள் முதல் சிக்கலான ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு இயந்திரங்கள் (CMMs) வரையிலான இயந்திரங்களில் அடித்தள நிலைத்தன்மைக்கான தேவை முன்னெப்போதும் இல்லாத அளவுக்கு அதிகமாக உள்ளது. இந்த நிலைத்தன்மையின் மையத்தில் துல்லியமான அடித்தளம் அமைந்துள்ளது. சோங்ஹுய் குழுமம் (ZHHIMG®), தனது தனியுரிம ZHHIMG® பிளாக் கிரானைட்டைப் பயன்படுத்துகிறது. இது, வழக்கமான பொருட்களை விஞ்சும் வகையில் ≈ 3100 kg/m³ என்ற உயர்ந்த அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளதுடன், விறைப்புத்தன்மை மற்றும் நீண்டகால நிலைத்தன்மைக்கான தொழில்துறை அளவுகோலையும் நிர்ணயிக்கிறது. இருப்பினும், இந்த பாகங்களின் இணையற்ற துல்லியம், ஒரு நுணுக்கமான மற்றும் நிபுணத்துவத்துடன் செயல்படுத்தப்படும் நிறுவல் செயல்முறையின் மூலமே சாத்தியமாகிறது. தொழிற்சாலைத் தளத்திலிருந்து செயல்பாட்டுச் சூழல் வரை உண்மையான நானோமீட்டர் துல்லியம் எவ்வாறு பராமரிக்கப்படுகிறது? இதற்கான விடை, நுணுக்கமான சமன்படுத்தும் முறையில் அடங்கியுள்ளது.
உண்மையான தட்டையான தன்மையை அடைவதில் மூன்று புள்ளி ஆதரவின் முக்கிய பங்கு
ஒரு தளம் என்பது ஒரே நேர்கோட்டில் அமையாத மூன்று புள்ளிகளால் தனித்துவமாக வரையறுக்கப்படுகிறது என்ற அடிப்படை வடிவியல் கொள்கையை எங்கள் தொழில்முறை சமப்படுத்தும் செயல்முறை அடிப்படையாகக் கொண்டுள்ளது. நிலையான ZHHIMG® ஆதரவு சட்டகங்கள் மொத்தம் ஐந்து தொடர்புப் புள்ளிகளுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன: மூன்று முதன்மை ஆதரவுப் புள்ளிகள் (a1, a2, a3) மற்றும் இரண்டு துணை ஆதரவுப் புள்ளிகள் (b1, b2). நான்கு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட முதன்மை தொடர்புப் புள்ளிகளில் இயல்பாகவே இருக்கும் கட்டமைப்பு அழுத்தம் மற்றும் முறுக்கலை நீக்குவதற்காக, ஆரம்ப அமைவு கட்டத்தின் போது இரண்டு துணை ஆதரவுகளும் வேண்டுமென்றே தாழ்த்தப்படுகின்றன. இந்த உள்ளமைவு, கிரானைட் பாகம் மூன்று முதன்மைப் புள்ளிகளில் மட்டுமே தங்கியிருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இதன் மூலம், இந்த மூன்று முக்கியமான தொடர்புப் புள்ளிகளில் இரண்டின் உயரத்தை மட்டும் சரிசெய்வதன் மூலம், இயக்குபவர் முழு தளத்தின் மட்டத்தையும் எளிமையாக சரிசெய்ய முடிகிறது.
எளிய அளவீட்டுக் கருவிகளைப் பயன்படுத்தி, தாங்கியில் பாகம் சமச்சீராக நிலைநிறுத்தப்படுவதை உறுதி செய்வதன் மூலம் இந்த செயல்முறை தொடங்குகிறது. இது அனைத்து ஆதரவுப் புள்ளிகளிலும் சுமை சமமாகப் பரவுவதை உறுதி செய்கிறது. தாங்கி உறுதியாக நிலைநிறுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் அதன் அடித்தளத்தின் பாதங்களில் செய்யப்படும் சரிசெய்தல்கள் மூலம் ஆரம்பத்தில் ஏற்படும் எந்தவொரு தள்ளாட்டமும் சரிசெய்யப்பட வேண்டும். முதன்மை மூன்று-புள்ளி ஆதரவு அமைப்பு பொருத்தப்பட்டவுடன், தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் மையத்தை சமன்படுத்தும் கட்டத்திற்குச் செல்கின்றனர். எங்கள் பொறியாளர்கள் எங்களின் 10,000 மீ² குளிரூட்டப்பட்ட சூழலில் பயன்படுத்தும் உயர்-துல்லியமான, அளவுத்திருத்தம் செய்யப்பட்ட மின்னணு மட்டக்கருவியைப் பயன்படுத்தி, X மற்றும் Y அச்சுகள் இரண்டிலும் அளவீடுகள் எடுக்கப்படுகின்றன. அந்த அளவீடுகளின் அடிப்படையில், தளத்தின் சமதளம் முடிந்தவரை பூஜ்ஜிய விலகலுக்கு அருகில் கொண்டுவரப்படும் வரை, முதன்மை ஆதரவுப் புள்ளிகளில் நுட்பமான சரிசெய்தல்கள் செய்யப்படுகின்றன.
நிலைப்படுத்தல் மற்றும் இறுதிச் சரிபார்ப்பு: ZHHIMG தரநிலை
மிக முக்கியமாக, சமன்படுத்தும் செயல்முறை ஆரம்ப சரிசெய்தலுடன் முடிவதில்லை. "துல்லியமான வணிகம் அதிகக் கடினமாக இருக்க முடியாது" என்ற எங்கள் தரக் கொள்கைக்கு இணங்க, ஒரு முக்கியமான நிலைப்படுத்தல் காலத்தை நாங்கள் கட்டாயமாக்குகிறோம். பொருத்தப்பட்ட அலகு குறைந்தபட்சம் 24 மணிநேரம் நிலைபெற விடப்பட வேண்டும். இந்தக் காலம், பிரம்மாண்டமான கிரானைட் பாறையையும் தாங்கும் கட்டமைப்பையும் முழுமையாகத் தளர்த்தி, கையாளுதல் மற்றும் சரிசெய்தலால் ஏற்பட்ட மறைந்திருக்கும் அழுத்தங்களை வெளியிட அனுமதிக்கிறது. இந்தக் காலத்திற்குப் பிறகு, இறுதிச் சரிபார்ப்புக்காக மின்னணு மட்டக்கருவி மீண்டும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த இரண்டாம் நிலை, கடுமையான சோதனையில் அந்தப் பாகம் தேர்ச்சி பெற்றால் மட்டுமே, அது செயல்பாட்டுப் பயன்பாட்டிற்குத் தயாராக இருப்பதாகக் கருதப்படுகிறது.
இறுதி உறுதிப்படுத்தலுக்குப் பிறகு, துணை ஆதரவுப் புள்ளிகள் கிரானைட் மேற்பரப்புடன் லேசான, அழுத்தமற்ற தொடர்பை ஏற்படுத்தும் வரை கவனமாக உயர்த்தப்படுகின்றன. இந்தத் துணைப் புள்ளிகள் முற்றிலும் பாதுகாப்பு அம்சங்களாகவும் இரண்டாம் நிலை நிலைப்படுத்திகளாகவும் செயல்படுகின்றன; அவை கச்சிதமாக அமைக்கப்பட்ட முதன்மைத் தளத்தைப் பாதிக்கக்கூடிய குறிப்பிடத்தக்க விசையைச் செலுத்தக் கூடாது. தொடர்ச்சியான, உறுதியான செயல்திறனுக்காக, ஒரு கண்டிப்பான தடுப்புப் பராமரிப்பு அட்டவணையின் ஒரு பகுதியாக, பொதுவாக ஒவ்வொரு மூன்று முதல் ஆறு மாதங்களுக்கு ஒருமுறை, சீரான இடைவெளியில் மறு-அளவீடு செய்ய நாங்கள் அறிவுறுத்துகிறோம்.
துல்லியத்தின் அடித்தளத்தைப் பாதுகாத்தல்
ஒரு கிரானைட் பாகத்தின் துல்லியம் என்பது ஒரு நீண்ட கால முதலீடாகும், அதற்கு மரியாதையும் முறையான பராமரிப்பும் தேவை. மீளமுடியாத உருக்குலைவைத் தடுக்க, பயனர்கள் எப்போதும் அந்தப் பாகத்தில் குறிப்பிடப்பட்டுள்ள சுமை தாங்கும் திறனைக் கடைப்பிடிக்க வேண்டும். மேலும், வேலை செய்யும் மேற்பரப்பு அதிக தாக்கமுள்ள சுமைகளிலிருந்து பாதுகாக்கப்பட வேண்டும்—வேலைப் பொருட்கள் அல்லது கருவிகளுடன் வலுவான மோதல்கள் கூடாது. சுத்தம் செய்ய வேண்டியிருக்கும் போது, நடுநிலை pH கொண்ட சுத்தப்படுத்தும் பொருட்கள் மட்டுமே பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். ப்ளீச் கொண்டவை போன்ற கடுமையான இரசாயனங்கள் அல்லது சிராய்ப்புத் தன்மை கொண்ட சுத்தப்படுத்தும் கருவிகள் கண்டிப்பாகத் தடைசெய்யப்பட்டுள்ளன, ஏனெனில் அவை ZHHIMG® பிளாக் கிரானைட்டின் நுண்ணிய படிக அமைப்பைச் சேதப்படுத்தக்கூடும். ஏதேனும் சிதறல்களை உடனடியாகச் சுத்தம் செய்வதும், அவ்வப்போது சிறப்பு சீலண்டுகளைப் பூசுவதும், உலகின் மிகத் துல்லியமான இயந்திரங்கள் சார்ந்திருக்கும் கிரானைட் அடித்தளத்தின் நீண்ட ஆயுளையும் நீடித்த துல்லியத்தையும் உறுதி செய்யும்.
பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர்-19-2025
