கிரானைட் அடித்தளம், வேஃபர்களின் அழிவற்ற சோதனையின் துல்லியத்தை எவ்வாறு பாதிக்கிறது?

​
​
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் துல்லியமான உலகில், சில்லுகளின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்கு வேஃபர்களின் அழிவற்ற சோதனை ஒரு முக்கிய இணைப்பாகும். வெளித்தோற்றத்தில் முக்கியமற்றதாகத் தோன்றும் கிரானைட் அடித்தளமே, உண்மையில் கண்டறிதல் துல்லியத்தைத் தீர்மானிக்கும் 'புகழப்படாத நாயகன்' ஆகும். அது சோதனை முடிவுகளை எப்படித்தான் பாதிக்கிறது? இந்தக் கட்டுரை, மூலப்பொருளின் பண்புகள் மற்றும் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு போன்ற பரிமாணங்களிலிருந்து ஒரு ஆழமான பகுப்பாய்வை மேற்கொள்ளும்.
1. உறுதியான அடித்தளம்: கிரானைட்டின் இயற்கையான நன்மைகள், துல்லியமான செயல்பாட்டிற்கு ஒரு திடமான அடித்தளத்தை அமைக்கின்றன.
1. சிறந்த நில அதிர்வு செயல்திறன்
வேஃபர் அழிவற்ற சோதனை உபகரணத்தின் செயல்பாட்டின் போது, ​​மோட்டாரின் சுழற்சி மற்றும் இயந்திரக் கூறுகளின் இயக்கம் ஆகிய அனைத்தும் அதிர்வுகளை உருவாக்கும். இந்த அதிர்வுகள் திறம்பட அடக்கப்படாவிட்டால், அவை சோதனைத் துல்லியத்தில் கடுமையாகத் தலையிடும். கிரானைட்டின் உட்புறம், குவார்ட்ஸ் மற்றும் ஃபெல்ட்ஸ்பார் போன்ற கனிமப் படிகங்களுடன் நெருக்கமாகப் பின்னிப் பிணைந்துள்ளது. அதன் தனித்துவமான அமைப்பு, உபகரணத்தின் அதிர்வு ஆற்றலில் 90%-க்கும் அதிகமானதை உறிஞ்சும் திறன் கொண்ட ஒரு இயற்கையான அதிர்வு உறிஞ்சும் திறனை அதற்கு வழங்குகிறது. ஒரு குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளரின் உண்மையான அளவீட்டுத் தரவுகள், கிரானைட் அடித்தளத்தைப் பயன்படுத்திய பிறகு, கண்டறியும் உபகரணத்தின் அதிர்வு வீச்சு 12μm-லிருந்து 2μm-ஆகக் குறைக்கப்பட்டிருப்பதைக் காட்டுகின்றன. இதன் மூலம், அதிர்வினால் ஏற்படும் கண்டறிதல் சமிக்ஞையின் விலகல் திறம்படத் தவிர்க்கப்படுகிறது.
2. மிகவும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம்
கண்டறிதல் செயல்முறையின் போது, ​​உபகரணச் சூடாதல் மற்றும் சுற்றுப்புற வெப்பநிலையில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் போன்ற காரணிகள் இயந்திர அடித்தளத்தின் நிலைத்தன்மையைப் பாதிக்கும். சாதாரணப் பொருட்கள் வெப்பப்படுத்தப்படும்போது கணிசமாக விரிவடையும், ஆனால் கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் எஃகின் குணகத்தில் ஐந்தில் ஒரு பங்கு மட்டுமே ஆகும். சுற்றுப்புற வெப்பநிலை 10℃ அளவுக்கு ஏற்ற இறக்கம் கண்டாலும், அதன் உருக்குலைவைப் புறக்கணிக்கலாம். இது, கிரானைட் அடித்தளமானது ஆய்வு உபகரணங்களுக்கு ஒரு நிலையான ஆதாரத் தளத்தை வழங்க உதவுகிறது. இதன்மூலம், ஆய்வுக்கருவிக்கும் சிலிக்கான் தகட்டிற்கும் இடையிலான சார்பு நிலை எல்லா நேரங்களிலும் துல்லியமாக இருப்பதை உறுதிசெய்து, வெப்ப உருக்குலைவினால் ஏற்படும் ஆய்வுப் பிழைகளைத் தவிர்க்கிறது.
இரண்டாவதாக, துல்லியமான வடிவமைப்பு: கட்டமைப்பு உகப்பாக்கம் கண்டறிதலின் நம்பகத்தன்மையை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.
உயர் துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் சமதளத்தன்மைக்கான உத்தரவாதம்
உயர்தர கிரானைட் அடித்தளமானது, மேம்பட்ட ஐந்து-அச்சு இணைப்பு CNC தொழில்நுட்பத்தால் செயலாக்கப்பட்டு, ±0.5μm/m என்ற தட்டையான தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இது ஆய்வு உபகரணங்களுக்கு மிகவும் தட்டையான நிறுவல் ஆதாரத்தை வழங்குகிறது. வேஃபர் ஆய்வில், ஆய்வு முனையின் செங்குத்தன்மையும் சமதளத்தன்மையும் ஆய்வு முடிவுகளுக்கு மிக முக்கியமானவை. ஒரு உயர்-துல்லியமான கிரானைட் அடித்தளமானது, ஆய்வு முனையின் துல்லியமான நிலையை உறுதிசெய்து, ஆய்வுத் தரவுகளை மேலும் துல்லியமாகவும் நம்பகமானதாகவும் ஆக்குகிறது.
2. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கட்டமைப்புத் தழுவல்
கிரானைட் இயந்திரத் தளங்களை, பல்வேறு வேஃபர் அழிவற்ற சோதனை உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறைத் தேவைகளுக்கு ஏற்பத் தனிப்பயனாக்கலாம். எடுத்துக்காட்டாக, ஒளிப் பிரதிபலிப்புக்கான ஒளியியல் ஆய்வு உபகரணங்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, இயந்திரத் தளத்தின் மேற்பரப்பு சிறப்பாகப் பதப்படுத்தப்படலாம்; மீயொலி சோதனை உபகரணங்களின் நிறுவல் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, துல்லியமான நிறுவல் துளைகள் மற்றும் கேபிள் தட்டுகளுடன் தளம் முன்கூட்டியே தயாரிக்கப்படலாம். இது உபகரணங்களை விரைவாகவும் துல்லியமாகவும் நிறுவ உதவுவதோடு, நிறுவல் பிழைகளால் ஏற்படும் கண்டறிதல் விலகல்களையும் குறைக்கிறது.
III. நீண்ட கால நிலைத்தன்மை: உபகரணப் பராமரிப்பினால் ஏற்படும் துல்லிய இழப்பைக் குறைத்தல்.
கிரானைட் அதிக கடினத்தன்மையையும் வலுவான தேய்மான எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது. இதன் மோஸ் கடினத்தன்மை 6 முதல் 7 வரை உள்ளது, இது சாதாரண எஃகின் தேய்மான எதிர்ப்பை விட மூன்று மடங்கு அதிகம். நீண்ட கால ஆய்வுப் பணிகளின் போது, ​​இயந்திரத்தின் அடிப்பாகத்தின் மேற்பரப்பு தேய்மானத்திற்கு உள்ளாவதில்லை மற்றும் எப்போதும் ஒரு நல்ல துல்லிய நிலையைத் தக்க வைத்துக் கொள்ளும். இதற்கு மாறாக, மற்ற பொருட்களால் செய்யப்பட்ட அடிப்பாகங்கள், தேய்மானம் காரணமாக உபகரணத்தின் நிறுவல் குறிப்பில் மாற்றங்களை ஏற்படுத்தக்கூடும், இதனால் கண்டறிதல் துல்லியத்தைப் பாதித்து, அடிக்கடி அளவுத்திருத்தம் மற்றும் பராமரிப்பு தேவைப்படுகிறது. கிரானைட் அடிப்பாகத்தின் நீண்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் அதிக நிலைத்தன்மை ஆகியவை உபகரணப் பராமரிப்பின் அதிர்வெண்ணை திறம்படக் குறைத்து, பராமரிப்புச் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படக்கூடிய துல்லிய இழப்பு அபாயத்தையும் குறைக்கின்றன.
அதிர்ச்சித் தடுப்பு, வெப்பத் தடுப்பு முதல் துல்லியமான வடிவமைப்பு வரை, கிரானைட் அடித்தளத்தின் ஒவ்வொரு அம்சமும் வேஃபர்களின் அழிவற்ற சோதனையின் துல்லியத்தைப் பாதுகாக்கிறது. உச்சகட்டத் துல்லியத்தை நாடும் இன்றைய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி யுகத்தில், ஒரு உயர்தர கிரானைட் அடித்தளத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது, சோதனை முடிவுகளின் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு ஒரு உறுதியான காப்பீட்டு அடுக்கைச் சேர்ப்பது போன்றது.