சுத்தமான அறைகளுக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்ட கிரானைட் தளம்: பூஜ்ஜிய உலோக அயனி வெளியீடு, வேஃபர் ஆய்வு உபகரணங்களுக்கு ஏற்ற தேர்வு.

குறைக்கடத்தி வேஃபர் ஆய்வுத் துறையில், சுத்தமான அறை சூழலின் தூய்மை நேரடியாக தயாரிப்பு விளைச்சலுடன் தொடர்புடையது. சிப் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் துல்லியம் தொடர்ந்து மேம்பட்டு வருவதால், கண்டறிதல் கருவிகளின் சுமந்து செல்லும் தளங்களுக்கான தேவைகள் பெருகிய முறையில் கடுமையாகி வருகின்றன. பூஜ்ஜிய உலோக அயனி வெளியீடு மற்றும் குறைந்த துகள் மாசுபாடு ஆகியவற்றின் பண்புகளைக் கொண்ட கிரானைட் தளங்கள், பாரம்பரிய துருப்பிடிக்காத எஃகு பொருட்களை விஞ்சி, வேஃபர் ஆய்வு உபகரணங்களுக்கு விருப்பமான தீர்வாக மாறியுள்ளன.

கிரானைட் என்பது குவார்ட்ஸ், ஃபெல்ட்ஸ்பார் மற்றும் மைக்கா போன்ற உலோகமற்ற தாதுக்களால் ஆன ஒரு இயற்கையான பற்றவைப்புப் பாறை ஆகும். இந்த பண்பு இதற்கு பூஜ்ஜிய உலோக அயனி வெளியீட்டின் நன்மையை அளிக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, இரும்பு, குரோமியம் மற்றும் நிக்கல் போன்ற உலோகங்களின் கலவையாக இருக்கும் துருப்பிடிக்காத எஃகு, சுத்தமான அறை சூழலில் நீர் நீராவி மற்றும் அமில அல்லது கார வாயுக்களின் அரிப்பு காரணமாக அதன் மேற்பரப்பில் மின்வேதியியல் அரிப்புக்கு ஆளாகிறது, இதன் விளைவாக Fe²⁺ மற்றும் Cr³⁺ போன்ற உலோக அயனிகளின் மழைப்பொழிவு ஏற்படுகிறது. இந்த சிறிய அயனிகள் வேஃபரின் மேற்பரப்பில் இணைந்தவுடன், அவை ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் எட்சிங் போன்ற அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளில் குறைக்கடத்திப் பொருளின் மின் பண்புகளை மாற்றும், டிரான்சிஸ்டரின் வாசல் மின்னழுத்த சறுக்கலை ஏற்படுத்தும், மேலும் சுற்றுவட்டத்தில் குறுகிய சுற்றுகளுக்கு கூட வழிவகுக்கும். தொழில்முறை நிறுவன சோதனைத் தரவு, கிரானைட் தளம் தொடர்ந்து உருவகப்படுத்தப்பட்ட சுத்தமான அறை வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பத சூழலுக்கு (23±0.5℃, 45%±5% RH) 1000 மணி நேரம் வெளிப்பட்ட பிறகு, உலோக அயனிகளின் வெளியீடு கண்டறிதல் வரம்பை விட (<0.1ppb) குறைவாக இருந்தது என்பதைக் காட்டுகிறது. துருப்பிடிக்காத எஃகு தளங்களைப் பயன்படுத்தும் போது உலோக அயனி மாசுபாட்டால் ஏற்படும் செதில்களின் குறைபாடு விகிதம் 15% முதல் 20% வரை அதிகமாக இருக்கலாம்.

துகள் மாசுபாட்டைக் கட்டுப்படுத்தும் விஷயத்தில், கிரானைட் தளங்களும் விதிவிலக்காக சிறப்பாகச் செயல்படுகின்றன. காற்றில் இடைநிறுத்தப்பட்ட துகள்களின் செறிவுக்கு சுத்தமான அறைகள் மிக அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, ISO வகுப்பு 1 சுத்தமான அறைகளில், ஒரு கன மீட்டருக்கு அனுமதிக்கப்படும் 0.1μm துகள்களின் எண்ணிக்கை 10 ஐத் தாண்டாது. துருப்பிடிக்காத எஃகு தளம் பாலிஷ் சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்பட்டிருந்தாலும், அது உபகரண அதிர்வு மற்றும் பணியாளர்கள் செயல்பாடு போன்ற வெளிப்புற சக்திகள் காரணமாக உலோகக் குப்பைகள் அல்லது ஆக்சைடு அளவு உரிந்து போகக்கூடும், இது கண்டறிதல் ஒளியியல் பாதையில் தலையிடலாம் அல்லது வேஃபரின் மேற்பரப்பைக் கீறலாம். அடர்த்தியான கனிம அமைப்பு (அடர்த்தி ≥2.7g/cm³) மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை (மோஸ் அளவில் 6-7) கொண்ட கிரானைட் தளங்கள், நீண்ட கால பயன்பாட்டின் போது தேய்மானம் அல்லது உடைப்புக்கு ஆளாகாது. அளவிடப்பட்ட அளவீடுகள், துருப்பிடிக்காத எஃகு தளங்களுடன் ஒப்பிடும்போது கண்டறிதல் கருவிப் பகுதியின் காற்றில் இடைநிறுத்தப்பட்ட துகள்களின் செறிவை 40% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்க முடியும் என்பதைக் காட்டுகின்றன, இது சுத்தமான அறை தர தரங்களை திறம்பட பராமரிக்கிறது.

அதன் சுத்தமான பண்புகளுக்கு மேலதிகமாக, கிரானைட் தளங்களின் விரிவான செயல்திறன் துருப்பிடிக்காத எஃகை விட மிக அதிகமாக உள்ளது. வெப்ப நிலைத்தன்மையைப் பொறுத்தவரை, அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4-8) ×10⁻⁶/℃ மட்டுமே, துருப்பிடிக்காத எஃகை விட பாதிக்கும் குறைவானது (சுமார் 17×10⁻⁶/℃), இது சுத்தமான அறையில் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும்போது கண்டறிதல் கருவியின் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை சிறப்பாக பராமரிக்க முடியும். அதிக தணிப்பு பண்பு (தணிப்பு விகிதம் > 0.05) உபகரணங்களின் அதிர்வுகளை விரைவாகக் குறைக்கும் மற்றும் கண்டறிதல் ஆய்வு நடுங்குவதைத் தடுக்கும். அதன் இயற்கையான அரிப்பு எதிர்ப்பு, கூடுதல் பூச்சு பாதுகாப்பு தேவையில்லாமல், ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் கரைப்பான்கள், எச்சிங் வாயுக்கள் மற்றும் பிற இரசாயனங்களுக்கு வெளிப்படும் போது கூட நிலையாக இருக்க உதவுகிறது.

தற்போது, ​​மேம்பட்ட வேஃபர் உற்பத்தி ஆலைகளில் கிரானைட் தளங்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கிரானைட் தளத்தை ஏற்றுக்கொண்ட பிறகு, வேஃபர் மேற்பரப்பு துகள் கண்டறிதலின் தவறான மதிப்பீடு விகிதம் 60% குறைந்துள்ளது, உபகரண அளவுத்திருத்த சுழற்சி மூன்று மடங்கு நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி செலவு 25% குறைந்துள்ளது என்று தரவு காட்டுகிறது. குறைக்கடத்தி தொழில் அதிக துல்லியத்தை நோக்கி நகரும்போது, ​​பூஜ்ஜிய உலோக அயனி வெளியீடு மற்றும் குறைந்த துகள் மாசுபாடு போன்ற அவற்றின் முக்கிய நன்மைகளுடன் கிரானைட் தளங்கள், வேஃபர் ஆய்வுக்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான ஆதரவை தொடர்ந்து வழங்கும், இது தொழில்துறையின் முன்னேற்றத்தை இயக்கும் ஒரு முக்கிய சக்தியாக மாறும்.