குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பட்டறையில், சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகள் மற்றும் உபகரண துல்லியத்திற்கான சிப் உற்பத்தி செயல்முறையின் தேவைகள் மிக அதிகமாக உள்ளன, மேலும் ஏதேனும் சிறிய விலகல் சிப் விளைச்சலில் குறிப்பிடத்தக்க சரிவுக்கு வழிவகுக்கும். XYZT துல்லிய கேன்ட்ரி இயக்க தளம், நானோ அளவிலான துல்லியத்தை அடைவதற்கான உறுதியான அடித்தளத்தை உருவாக்க, தளத்தின் மற்ற பகுதிகளுடன் ஒத்துழைக்க கிரானைட் கூறுகளை நம்பியுள்ளது.
சிறந்த அதிர்வு தடுப்பு பண்புகள்
குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பட்டறையில், புற உபகரணங்கள் மற்றும் பணியாளர்கள் சுற்றித் திரிவதால் அதிர்வு ஏற்படலாம். கிரானைட் கூறுகளின் உள் அமைப்பு அடர்த்தியானது மற்றும் சீரானது, திறமையான அதிர்வு "தடை" போன்ற இயற்கையான உயர் தணிப்பு பண்புகளுடன். வெளிப்புற அதிர்வு XYZT தளத்திற்கு கடத்தப்படும்போது, கிரானைட் கூறு அதிர்வு ஆற்றலில் 80% க்கும் அதிகமானதை திறம்படக் குறைக்கலாம் மற்றும் தள இயக்க துல்லியத்தில் அதிர்வுகளின் குறுக்கீட்டைக் குறைக்கலாம். அதே நேரத்தில், தளம் கிரானைட் கூறுகளுடன் இணைந்து செயல்படும் உயர்-துல்லியமான காற்று மிதவை வழிகாட்டி அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. தளத்தின் நகரும் பகுதிகளின் தொடர்பு இல்லாத இடைநீக்க இயக்கத்தை உணரவும், இயந்திர உராய்வால் ஏற்படும் சிறிய அதிர்வுகளைக் குறைக்கவும் காற்று மிதவை வழிகாட்டி உயர் அழுத்த வாயுவால் உருவாக்கப்பட்ட நிலையான வாயு படலத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இரண்டும் சேர்ந்து, சிப் லித்தோகிராபி மற்றும் எட்சிங் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில் தள நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் எப்போதும் நானோமீட்டர் மட்டத்தில் பராமரிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, மேலும் அதிர்வுகளால் ஏற்படும் சிப் சுற்று வடிவங்களின் விலகலைத் தவிர்க்கிறது.
சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை
பட்டறையில் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தின் ஏற்ற இறக்கங்கள் சிப் உற்பத்தி உபகரணங்களின் துல்லியத்தில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, பொதுவாக 5-7 ×10⁻⁶/℃, வெப்பநிலை மாறும்போது அளவு கிட்டத்தட்ட மாறாமல் இருக்கும். பட்டறையில் பகல் மற்றும் இரவுக்கு இடையிலான வெப்பநிலை வேறுபாடு அல்லது உபகரணங்களின் வெப்ப உற்பத்தி சுற்றுப்புற வெப்பநிலையை ஏற்ற இறக்கத்திற்குக் காரணமாக இருந்தாலும், வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் காரணமாக தளத்தின் சிதைவைத் தடுக்க கிரானைட் கூறுகள் நிலையாக இருக்க முடியும். அதே நேரத்தில், தளத்துடன் பொருத்தப்பட்ட அறிவார்ந்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு சுற்றுப்புற வெப்பநிலையை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிக்கிறது, ஏர் கண்டிஷனிங் மற்றும் வெப்பச் சிதறல் உபகரணங்களை தானாகவே சரிசெய்கிறது மற்றும் பட்டறை வெப்பநிலையை 20 ° C ± 1 ° C இல் பராமரிக்கிறது. கிரானைட் வெப்ப நிலைத்தன்மையின் நன்மைகளுடன் இணைந்து, நீண்ட கால செயல்பாட்டில் உள்ள தளம், ஒவ்வொரு அச்சின் இயக்க துல்லியம் எப்போதும் சிப் உற்பத்தி நானோமீட்டர் துல்லிய தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்கிறது, சிப் லித்தோகிராஃபி வடிவ அளவு துல்லியமாக இருப்பதை உறுதிசெய்ய, பொறித்தல் ஆழம் சீரானது.
சுத்தமான சூழலின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யுங்கள்
தூசித் துகள்கள் சிப்பை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்க குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கடை அதிக அளவு தூய்மையைப் பராமரிக்க வேண்டும். கிரானைட் பொருள் தானே தூசியை உருவாக்காது, மேலும் மேற்பரப்பு மென்மையானது, தூசியை உறிஞ்சுவது எளிதானது அல்ல. வெளிப்புற தூசி நுழைவதைக் குறைக்க தளம் முழுவதுமாக முழுமையாக மூடிய அல்லது அரை மூடிய கட்டமைப்பு வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது. உள் காற்று சுழற்சி அமைப்பு பட்டறையின் சுத்தமான காற்றுச்சீரமைப்பி அமைப்புடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உள் காற்று தூய்மை சிப் உற்பத்திக்குத் தேவையான அளவை அடைவதை உறுதி செய்கிறது. இந்த சுத்தமான சூழலில், தூசி அரிப்பு காரணமாக கிரானைட் கூறுகள் செயல்திறனைப் பாதிக்காது, மேலும் தளத்தின் உயர்-துல்லிய சென்சார்கள் மற்றும் மோட்டார்கள் போன்ற முக்கிய கூறுகளும் நிலையானதாக இயங்க முடியும், இது சிப் உற்பத்திக்கான தொடர்ச்சியான மற்றும் நம்பகமான நானோ அளவிலான துல்லிய உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி தொழில் உயர் செயல்முறை நிலைக்கு செல்ல உதவுகிறது.
இடுகை நேரம்: ஏப்ரல்-14-2025