குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பட்டறையில், சில்லு உற்பத்திச் செயல்முறைக்கான சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகள் மற்றும் உபகரணத் துல்லியம் ஆகியவற்றின் தேவைகள் மிகக் கடுமையானவை, மேலும் அதில் ஏற்படும் எந்தவொரு சிறு விலகலும் சில்லு உற்பத்தியில் குறிப்பிடத்தக்க சரிவுக்கு வழிவகுக்கும். XYZT துல்லியமான கேன்ட்ரி இயக்கத் தளம், நானோ அளவிலான துல்லியத்தை அடைவதற்கான ஒரு உறுதியான அடித்தளத்தை உருவாக்குவதற்காக, தளத்தின் மற்ற பாகங்களுடன் இணைந்து செயல்பட கிரானைட் பாகங்களைச் சார்ந்துள்ளது.
சிறந்த அதிர்வு தடுப்பு பண்புகள்
குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பட்டறையில், துணை உபகரணங்களின் செயல்பாடு மற்றும் பணியாளர்கள் நடமாடுவதால் அதிர்வுகள் ஏற்படக்கூடும். கிரானைட் கூறுகளின் உள் கட்டமைப்பு அடர்த்தியாகவும் சீராகவும் இருப்பதுடன், இயற்கையான உயர் அதிர்வு தணிப்புப் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது ஒரு திறமையான அதிர்வு "தடுப்பு" போல செயல்படுகிறது. வெளிப்புற அதிர்வு XYZT தளத்திற்குப் பரவும்போது, கிரானைட் கூறு 80%-க்கும் அதிகமான அதிர்வு ஆற்றலைத் திறம்படத் தணித்து, தளத்தின் இயக்கத் துல்லியத்தின் மீதான அதிர்வின் குறுக்கீட்டைக் குறைக்கிறது. அதே நேரத்தில், கிரானைட் கூறுகளுடன் இணைந்து செயல்படும் ஒரு உயர்-துல்லியமான காற்று மிதவை வழிகாட்டி அமைப்புடன் இந்தத் தளம் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. இந்த காற்று மிதவை வழிகாட்டி, உயர் அழுத்த வாயுவால் உருவாகும் நிலையான வாயுப் படலத்தைப் பயன்படுத்தி, தளத்தின் நகரும் பாகங்களின் தொடுதலற்ற தொங்கு இயக்கத்தைச் செயல்படுத்துகிறது மற்றும் இயந்திர உராய்வினால் ஏற்படும் சிறிய அதிர்வுகளைக் குறைக்கிறது. சிப் லித்தோகிராபி மற்றும் எச்சிங் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில், தளத்தின் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் எப்போதும் நானோமீட்டர் மட்டத்தில் பராமரிக்கப்படுவதை இவை இரண்டும் இணைந்து உறுதிசெய்கின்றன, மேலும் அதிர்வினால் ஏற்படும் சிப் சுற்று வடிவங்களின் விலகலைத் தவிர்க்கின்றன.
சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை
பணிமனையில் ஏற்படும் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தின் ஏற்ற இறக்கங்கள், சில்லு உற்பத்தி உபகரணங்களின் துல்லியத்தில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் மிகவும் குறைவு, பொதுவாக 5-7 ×10⁻⁶/℃ அளவில் இருக்கும், வெப்பநிலை மாறும்போது அதன் அளவு ஏறக்குறைய மாறாமல் இருக்கும். பணிமனையில் பகல் மற்றும் இரவுக்கு இடையேயான வெப்பநிலை வேறுபாடு அல்லது உபகரணங்களின் வெப்ப உற்பத்தி காரணமாக சுற்றுப்புற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமடைந்தாலும், வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தால் தளம் உருக்குலைவதைத் தடுக்க கிரானைட் பாகங்கள் நிலையாக இருக்கும். அதே நேரத்தில், தளத்தில் பொருத்தப்பட்டுள்ள அறிவார்ந்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, சுற்றுப்புற வெப்பநிலையை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணித்து, குளிரூட்டல் மற்றும் வெப்பச் சிதறல் உபகரணங்களைத் தானாகவே சரிசெய்து, பணிமனையின் வெப்பநிலையை 20 ° C ±1 ° C அளவில் பராமரிக்கிறது. கிரானைட்டின் வெப்ப நிலைத்தன்மையின் நன்மைகளுடன் இணைந்து, தளம் நீண்ட கால செயல்பாட்டில் இருக்கும்போது, ஒவ்வொரு அச்சின் இயக்கத் துல்லியமும் எப்போதும் சில்லு உற்பத்தி நானோமீட்டர் துல்லியத் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை இது உறுதி செய்கிறது. இதன் மூலம், சில்லு அச்சுப் பதிவின் அளவு துல்லியமாகவும், பொறிப்பு ஆழம் சீராகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
தூய்மையான சுற்றுச்சூழலின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யுங்கள்
சிப்பை தூசித் துகள்கள் அசுத்தப்படுத்துவதைத் தடுக்க, குறைக்கடத்தி உற்பத்திப் பட்டறை உயர் மட்டத் தூய்மையைப் பராமரிக்க வேண்டும். கிரானைட் பொருளே தூசியை உருவாக்காது, மேலும் அதன் மேற்பரப்பு வழுவழுப்பாக இருப்பதால், தூசியை எளிதில் உறிஞ்சாது. வெளிப்புறத் தூசியின் நுழைவைக் குறைப்பதற்காக, இந்தத் தளம் முழுவதுமாக முழுமையாக மூடப்பட்ட அல்லது பகுதியளவு மூடப்பட்ட கட்டமைப்பு வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. சிப் உற்பத்திக்குத் தேவையான அளவிற்கு உள்ளகக் காற்றின் தூய்மை இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, உள்ளகக் காற்றுச் சுழற்சி அமைப்பானது பட்டறையின் சுத்தமான குளிரூட்டும் அமைப்புடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தத் தூய்மையான சூழலில், தூசி அரிப்பினால் கிரானைட் பாகங்களின் செயல்திறன் பாதிக்கப்படாது. மேலும், தளத்தின் உயர்-துல்லிய உணர்விகள் மற்றும் மோட்டார்கள் போன்ற முக்கிய பாகங்களும் நிலையாகச் செயல்பட முடியும். இது சிப் உற்பத்திக்குத் தொடர்ச்சியான மற்றும் நம்பகமான நானோ அளவிலான துல்லியத்திற்கான உத்தரவாதத்தை வழங்குவதோடு, குறைக்கடத்தித் துறையை ஒரு உயர் செயல்முறை நிலைக்கு நகர்த்தவும் உதவுகிறது.
பதிவிட்ட நேரம்: ஏப்ரல்-14-2025