மின்காந்த குறுக்கீடு முதல் வெற்றிட பொருந்தக்கூடிய தன்மை வரை: லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில் கிரானைட் தளங்களின் ஈடுசெய்ய முடியாத தன்மை.

​
குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், சிப் உற்பத்தி செயல்முறையின் துல்லியத்தை நிர்ணயிக்கும் முக்கிய உபகரணமாக, ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் உள் சூழலின் நிலைத்தன்மை மிக முக்கியமானது. தீவிர புற ஊதா ஒளி மூலத்தின் தூண்டுதலிலிருந்து நானோ அளவிலான துல்லிய இயக்க தளத்தின் செயல்பாடு வரை, ஒவ்வொரு இணைப்பிலும் சிறிதளவு விலகல் இருக்க முடியாது. தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்ட கிரானைட் தளங்கள், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதிலும், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி துல்லியத்தை மேம்படுத்துவதிலும் இணையற்ற நன்மைகளை நிரூபிக்கின்றன. ​
சிறந்த மின்காந்தக் கவச செயல்திறன்
ஒரு ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் உட்புறம் ஒரு சிக்கலான மின்காந்த சூழலால் நிரப்பப்பட்டுள்ளது. தீவிர புற ஊதா ஒளி மூலங்கள், டிரைவ் மோட்டார்கள் மற்றும் உயர் அதிர்வெண் மின்சாரம் போன்ற கூறுகளால் உருவாக்கப்படும் மின்காந்த குறுக்கீடு (EMI), திறம்பட கட்டுப்படுத்தப்படாவிட்டால், உபகரணங்களுக்குள் துல்லியமான மின்னணு கூறுகள் மற்றும் ஒளியியல் அமைப்புகளின் செயல்திறனை கடுமையாக பாதிக்கும். உதாரணமாக, குறுக்கீடு ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி வடிவங்களில் சிறிய விலகல்களை ஏற்படுத்தக்கூடும். மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளில், சிப்பில் தவறான டிரான்சிஸ்டர் இணைப்புகளுக்கு வழிவகுக்கும், இது சிப் விளைச்சலைக் கணிசமாகக் குறைக்கும்.
கிரானைட் என்பது உலோகமற்ற பொருள், அது தானாகவே மின்சாரத்தை கடத்துவதில்லை. உலோகப் பொருட்களைப் போல உள்ளே உள்ள இலவச எலக்ட்ரான்களின் இயக்கத்தால் ஏற்படும் மின்காந்த தூண்டல் நிகழ்வு எதுவும் இல்லை. இந்த பண்பு இதை ஒரு இயற்கையான மின்காந்தக் கவச உடலாக மாற்றுகிறது, இது உள் மின்காந்தக் குறுக்கீட்டின் பரிமாற்றப் பாதையை திறம்படத் தடுக்க முடியும். வெளிப்புற மின்காந்தக் குறுக்கீடு மூலத்தால் உருவாக்கப்படும் மாற்று காந்தப்புலம் கிரானைட் அடித்தளத்திற்கு பரவும்போது, கிரானைட் காந்தமற்றது மற்றும் காந்தமாக்க முடியாததால், மாற்று காந்தப்புலம் ஊடுருவுவது கடினம், இதன் மூலம் அடித்தளத்தில் நிறுவப்பட்ட ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் முக்கிய கூறுகளான துல்லிய உணரிகள் மற்றும் ஆப்டிகல் லென்ஸ் சரிசெய்தல் சாதனங்களை மின்காந்தக் குறுக்கீட்டின் செல்வாக்கிலிருந்து பாதுகாக்கிறது மற்றும் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் போது வடிவ பரிமாற்றத்தின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. ​

சிறந்த வெற்றிட பொருந்தக்கூடிய தன்மை
தீவிர புற ஊதா ஒளி (EUV) காற்று உட்பட அனைத்து பொருட்களாலும் எளிதில் உறிஞ்சப்படுவதால், EUV லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் ஒரு வெற்றிட சூழலில் இயங்க வேண்டும். இந்த கட்டத்தில், வெற்றிட சூழலுடன் உபகரண கூறுகளின் இணக்கத்தன்மை மிகவும் முக்கியமானதாகிறது. ஒரு வெற்றிடத்தில், பொருட்கள் வாயுவைக் கரைத்து, உறிஞ்சி, வெளியிடலாம். வெளியிடப்பட்ட வாயு EUV ஒளியை உறிஞ்சுவது மட்டுமல்லாமல், ஒளியின் தீவிரம் மற்றும் பரிமாற்ற செயல்திறனைக் குறைக்கிறது, ஆனால் ஆப்டிகல் லென்ஸ்களையும் மாசுபடுத்தக்கூடும். உதாரணமாக, நீராவி லென்ஸ்களை ஆக்ஸிஜனேற்றக்கூடும், மேலும் ஹைட்ரோகார்பன்கள் லென்ஸ்களில் கார்பன் அடுக்குகளைப் படியச் செய்யலாம், இது லித்தோகிராஃபியின் தரத்தை கடுமையாக பாதிக்கும்.
கிரானைட் நிலையான வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் வெற்றிட சூழலில் வாயுவை அரிதாகவே வெளியிடுகிறது. தொழில்முறை சோதனையின்படி, உருவகப்படுத்தப்பட்ட ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திர வெற்றிட சூழலில் (பிரதான அறையில் வெளிச்ச ஒளியியல் அமைப்பு மற்றும் இமேஜிங் ஆப்டிகல் அமைப்பு அமைந்துள்ள அல்ட்ரா-க்ளீன் வெற்றிட சூழல் போன்றவை, இதற்கு H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa தேவைப்படுகிறது), கிரானைட் அடித்தளத்தின் வாயு வெளியேற்ற விகிதம் மிகக் குறைவு, உலோகங்கள் போன்ற பிற பொருட்களை விட மிகக் குறைவு. இது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் உட்புறம் நீண்ட நேரம் அதிக வெற்றிட அளவையும் தூய்மையையும் பராமரிக்க உதவுகிறது, பரிமாற்றத்தின் போது EUV ஒளியின் அதிக கடத்தலையும் ஆப்டிகல் லென்ஸ்களுக்கான அல்ட்ரா-க்ளீன் பயன்பாட்டு சூழலையும் உறுதி செய்கிறது, ஆப்டிகல் அமைப்பின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
வலுவான அதிர்வு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் போது, நானோமீட்டர் மட்டத்தில் உள்ள துல்லியம், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் சிறிதளவு அதிர்வு அல்லது வெப்ப சிதைவு இருக்கக்கூடாது என்பதைக் கோருகிறது. பட்டறையில் உள்ள பிற உபகரணங்கள் மற்றும் பணியாளர்களின் இயக்கத்தால் உருவாகும் சுற்றுச்சூழல் அதிர்வுகள், அதே போல் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தால் செயல்பாட்டின் போது உற்பத்தி செய்யப்படும் வெப்பம் ஆகியவை ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி துல்லியத்தில் தலையிடக்கூடும். கிரானைட் அதிக அடர்த்தி மற்றும் கடினமான அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது சிறந்த அதிர்வு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. அதன் உள் கனிம படிக அமைப்பு கச்சிதமானது, இது அதிர்வு ஆற்றலை திறம்படக் குறைக்கும் மற்றும் அதிர்வு பரவலை விரைவாக அடக்கும். அதே அதிர்வு மூலத்தின் கீழ், கிரானைட் அடித்தளம் 0.5 வினாடிகளுக்குள் அதிர்வு வீச்சை 90% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்க முடியும் என்பதை பரிசோதனை தரவு காட்டுகிறது. உலோக அடித்தளத்துடன் ஒப்பிடும்போது, இது உபகரணங்களை மிக விரைவாக நிலைத்தன்மைக்கு மீட்டெடுக்க முடியும், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி லென்ஸுக்கும் வேஃபருக்கும் இடையிலான துல்லியமான ஒப்பீட்டு நிலையை உறுதி செய்கிறது, மேலும் அதிர்வால் ஏற்படும் வடிவ மங்கலாக்குதல் அல்லது தவறான சீரமைப்பு ஆகியவற்றைத் தவிர்க்கிறது. ​
இதற்கிடையில், கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, தோராயமாக (4-8) ×10⁻⁶/℃, இது உலோகப் பொருட்களை விட மிகக் குறைவு. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் செயல்பாட்டின் போது, ஒளி மூலத்திலிருந்து வெப்ப உருவாக்கம் மற்றும் இயந்திர கூறுகளிலிருந்து உராய்வு போன்ற காரணிகளால் உள் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமாக இருந்தாலும், கிரானைட் அடித்தளம் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் காரணமாக குறிப்பிடத்தக்க சிதைவுக்கு ஆளாகாது. இது ஒளியியல் அமைப்பு மற்றும் துல்லியமான இயக்க தளத்திற்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான ஆதரவை வழங்குகிறது, ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி துல்லியத்தின் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.