அல்ட்ரா-துல்லிய விளையாட்டு தொகுதியின் கிரானைட் துல்லிய அடித்தளத்திற்கான சுற்றுச்சூழல் தழுவல் வழிகாட்டி.

உயர்நிலை உற்பத்தி மற்றும் அதிநவீன அறிவியல் ஆராய்ச்சித் துறையில், ஏர் ஃப்ளோட்டின் அதி-துல்லிய இயக்க தொகுதி, அதன் சிறந்த துல்லியமான செயல்திறனுடன் சிறந்த செயல்பாடு மற்றும் அளவீட்டிற்கான ஒரு முக்கிய உபகரணமாக மாறியுள்ளது. கிரானைட் துல்லியத் தளம், ஆதரவு மையமாக, பணிச்சூழலுக்கு கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பொருத்தமான சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகள் அதன் நிலையான செயல்திறன் மற்றும் சிறந்த விளைவை உறுதி செய்வதற்கான அடிப்படையாகும்.

முதலில், வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: துல்லியமான "நிலைப்படுத்தி"
கிரானைட் அதன் நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றிருந்தாலும், வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு முற்றிலும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதல்ல. அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் குறைவாக இருந்தாலும், பொதுவாக 5-7 ×10⁻⁶/℃, மிகத் துல்லியமான இயக்கக் கட்டுப்பாட்டு சூழ்நிலைகளில், நுட்பமான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் இன்னும் பரிமாண மாற்றங்களை ஏற்படுத்தக்கூடும் மற்றும் தொகுதி துல்லியத்தை பாதிக்கலாம். குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி பட்டறையில், லித்தோகிராஃபி செயல்முறைக்கு டனாமி-நிலை நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது, மேலும் சுற்றுப்புற வெப்பநிலை 1 ° C ஆக ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும், மேலும் 1 மீட்டர் பக்க நீளம் கொண்ட கிரானைட் அடித்தளம் 5-7 மைக்ரான்களின் நேரியல் விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கத்தை உருவாக்கக்கூடும். இந்த சிறிய மாற்றம் காற்று மிதவையின் மிகத் துல்லியமான இயக்க தொகுதி மூலம் பரவுகிறது, இது சிப் லித்தோகிராஃபி முறை விலகலை உருவாக்கவும் மகசூலை வெகுவாகக் குறைக்கவும் போதுமானது. எனவே, காற்று மிதக்கும் அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் கிரானைட் துல்லிய அடித்தளத்துடன் பொருத்தப்பட்ட, சிறந்த வேலை சூழல் வெப்பநிலையை 20 ° C ± 1 ° C இல் கட்டுப்படுத்த வேண்டும், நிலையான வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பு, தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு மற்றும் சுற்றுப்புற வெப்பநிலை சரிசெய்தல் போன்ற உயர்-துல்லிய நிலையான வெப்பநிலை உபகரணங்களின் உதவியுடன், வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மிகச் சிறிய வரம்பில் இருப்பதை உறுதிசெய்ய, அடிப்படை அளவு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க, தொகுதி உயர்-துல்லிய செயல்பாட்டை உறுதிசெய்ய.
இரண்டாவதாக, ஈரப்பத மேலாண்மை: ஈரப்பதம்-எதிர்ப்பு பாதுகாப்பு "கல்"க்கான திறவுகோல்
ஈரப்பதம் என்பது துல்லியமான கிரானைட் தளத்தின் செயல்திறனை பாதிக்கும் மற்றொரு முக்கிய காரணியாகும். அதிக ஈரப்பதம் உள்ள சூழலில், கிரானைட் நீர் நீராவியை எளிதில் உறிஞ்சும், இது மேற்பரப்பில் ஒடுக்கத்திற்கு வழிவகுக்கும், இது கிரானைட்டின் இணைப்பு நிலைத்தன்மையையும் காற்று மிதவையின் அதி-துல்லிய இயக்க தொகுதியையும் பாதிக்காது, ஆனால் மேற்பரப்பு அரிப்பை ஏற்படுத்தக்கூடும் மற்றும் நீண்ட காலத்திற்கு பளபளப்பு மற்றும் துல்லியத்தையும் குறைக்கலாம். ஆப்டிகல் லென்ஸ் அரைக்கும் பட்டறையில், ஈரப்பதம் நீண்ட காலத்திற்கு 60% RH ஐ விட அதிகமாக இருந்தால், கிரானைட் தளத்தின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படும் நீர் நீராவி வாயு மிதவை ஸ்லைடரின் இயக்கத்தில் தலையிடும், இதனால் லென்ஸ் அரைக்கும் துல்லியம் குறைக்கப்படும், மேலும் மேற்பரப்பு குறைபாடுடையதாக இருக்கும். எனவே, வேலை செய்யும் சூழலின் ஒப்பீட்டு ஈரப்பதம் 40%-60% RH க்கு இடையில் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், இது அதிக ஈரப்பதம் காரணமாக கிரானைட் தளத்திற்கு சேதம் ஏற்படுவதைத் தவிர்க்க, ஈரப்பதமூட்டிகள், ஈரப்பத உணரிகள் மற்றும் பிற உபகரணங்களை நிறுவுவதன் மூலம் நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிக்கப்பட்டு சரிசெய்யப்படலாம், மேலும் காற்று மிதவையின் அதி-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் சீரான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்யும்.
மூன்றாவதாக, தூய்மை உத்தரவாதம்: துல்லியத்தின் "பாதுகாவலர்"
காற்று மிதவையின் அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் துல்லியமான கிரானைட் அடித்தளத்திற்கு தூசி துகள்களின் தீங்கை குறைத்து மதிப்பிட முடியாது. சிறிய துகள்கள் எரிவாயு மிதவை ஸ்லைடருக்கும் கிரானைட் தளத்திற்கும் இடையிலான வாயு படல இடைவெளியில் நுழைந்தவுடன், அவை வாயு படலத்தின் சீரான தன்மையை அழித்து, உராய்வை அதிகரிக்கலாம், மேலும் அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பைக் கூட கீறலாம், இதன் விளைவாக இயக்க துல்லியம் குறையும். விண்வெளி பாகங்களின் அல்ட்ரா-துல்லிய இயந்திரப் பட்டறையில், காற்றில் உள்ள தூசித் துகள்கள் கிரானைட் அடித்தளத்தில் விழுந்தால், இயந்திரக் கருவியின் இயக்கப் பாதை விலகக்கூடும், இது பாகங்களின் இயந்திர துல்லியத்தை பாதிக்கும். எனவே, வேலைப் பகுதி மிகவும் சுத்தமாக வைத்திருக்க வேண்டும், உயர் திறன் கொண்ட காற்று வடிகட்டிகள் (HEPA) போன்ற காற்று சுத்திகரிப்பு உபகரணங்களை நிறுவுவதன் மூலம், காற்றில் உள்ள தூசித் துகள்களை வடிகட்டுவதன் மூலம், 10,000 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட தூய்மைத் தரங்களை அடைய வேண்டும், அதே நேரத்தில், மனிதர்களால் கொண்டு வரப்படும் தூசியைக் குறைக்க ஊழியர்கள் தூசி இல்லாத ஆடைகள், ஷூ கவர்கள் போன்றவற்றை அணிய வேண்டும். கிரானைட் அடித்தளம் மற்றும் ஏர் ஃப்ளோட் அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் உயர் துல்லியமான இயக்க சூழலைப் பராமரிக்கவும்.

நான்கு, அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல்: "ஷாக் பேடின்" சீரான செயல்பாடு.
வெளிப்புற அதிர்வு, காற்று மிதவையின் அதி-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் துல்லியத்திற்கு எதிரியாகும். துல்லியமான கிரானைட் அடித்தளம் ஒரு குறிப்பிட்ட அதிர்வு தணிப்பு திறனைக் கொண்டிருந்தாலும், அதிக வலிமை கொண்ட அதிர்வு அதன் இடையக வரம்பை இன்னும் மீறக்கூடும். தொழிற்சாலையைச் சுற்றியுள்ள போக்குவரத்து மற்றும் பெரிய இயந்திர உபகரணங்களின் செயல்பாட்டால் உருவாகும் அதிர்வு தரை வழியாக கிரானைட் தளத்திற்கு அனுப்பப்படுகிறது, இது காற்று மிதவையின் அதி-துல்லிய இயக்க தொகுதியின் இயக்க துல்லியத்தில் தலையிடும். உயர்நிலை CMM இல், அதிர்வு அளவிடும் ஆய்வுக்கும் அளவிடப்பட வேண்டிய பணிப்பகுதிக்கும் இடையிலான தொடர்பை நிலையற்றதாக மாற்றக்கூடும், இதன் விளைவாக அளவீட்டுத் தரவு விலகும். இந்த சிக்கலைத் தீர்க்க, உபகரண நிறுவல் பகுதியில் அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் பட்டைகளை இடுதல், அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் அடித்தளத்தை உருவாக்குதல் அல்லது வெளிப்புற அதிர்வுகளை தீவிரமாக ஈடுசெய்ய செயலில் உள்ள அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் அமைப்பைப் பயன்படுத்துதல் போன்ற பயனுள்ள அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் நடவடிக்கைகளைப் பின்பற்றுவது அவசியம், மேலும் கிரானைட் துல்லிய அடித்தளம் மற்றும் காற்று மிதவை அல்ட்ரா-துல்லிய இயக்க தொகுதிக்கு அமைதியான மற்றும் நிலையான பணிச்சூழலை உருவாக்குதல்.
வெப்பநிலை, ஈரப்பதம், தூய்மை மற்றும் அதிர்வு கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் சுற்றுச்சூழல் தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்வதன் மூலம் மட்டுமே, ஏர் ஃப்ளோட்டின் அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் மோஷன் மாட்யூலின் கிரானைட் துல்லிய அடித்தளம் அதன் செயல்திறன் நன்மைகளுக்கு முழு பங்களிப்பை அளிக்க முடியும், பல்வேறு துறைகளில் அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் செயல்பாடுகளுக்கு நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்க முடியும், மேலும் தொழில்துறை அதிக துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சி நிலையை நோக்கி நகர உதவும்.