கிரானைட் துல்லிய தளங்களின் தட்டையான தன்மையைக் கண்டறிவதற்கான முறைகள்.

துல்லிய உற்பத்தி மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சித் துறைகளில், கிரானைட் துல்லிய தளங்களின் தட்டையானது உபகரணங்களின் துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்கான ஒரு முக்கிய குறிகாட்டியாகும். பின்வருவது பல முக்கிய கண்டறிதல் முறைகள் மற்றும் அவற்றின் செயல்பாட்டு நடைமுறைகள் பற்றிய விரிவான அறிமுகம் உங்களுக்காக.
I. லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் கண்டறிதல் முறை
உயர் துல்லிய தட்டையான தன்மையைக் கண்டறிவதற்கு லேசர் குறுக்கீட்டுமானி மிகவும் விரும்பத்தக்க கருவியாகும். உதாரணமாக ZYGO GPI XP லேசர் குறுக்கீட்டுமானியை எடுத்துக் கொள்ளுங்கள், அதன் தெளிவுத்திறன் 0.1nm ஐ அடையலாம். கண்டறிதலை நடத்தும்போது, ​​முதலில் இடையீட்டுமானியின் ஒளி மூலத்தை தளத்துடன் சீரமைத்து, தள மேற்பரப்பை 50mm×50mm கட்டப் பகுதிகளாகப் பிரிக்கவும். பின்னர், குறுக்கீட்டு விளிம்பு தரவு புள்ளிக்கு புள்ளியாக சேகரிக்கப்பட்டு, தட்டையான தன்மை பிழையைப் பெற Zernike பல்லுறுப்புக்கோவைப் பயன்படுத்தி தரவு பொருத்தப்பட்டு பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்டது. இந்த முறை உயர் துல்லிய தளங்களுக்குப் பொருந்தும் மற்றும் ≤0.5μm/m² தட்டையான தன்மை பிழைகளைக் கண்டறிய முடியும். இது பொதுவாக ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மற்றும் உயர்நிலை மூன்று-ஒருங்கிணைப்பு அளவிடும் இயந்திர தளங்களைக் கண்டறிவதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ​
இரண்டாம் நிலை மின்னணு நிலை வரிசை முறை
மின்னணு நிலை வரிசை கண்டறிதல் செயல்பட எளிதானது மற்றும் மிகவும் திறமையானது. TESA A2 மின்னணு நிலை (0.01μm/m தெளிவுத்திறனுடன்) தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டு, தளத்தின் X/Y அச்சு திசையில் 9×9 வரிசையில் அமைக்கப்பட்டது. ஒவ்வொரு மட்டத்தின் சாய்வுத் தரவை ஒத்திசைவாகச் சேகரித்து, பின்னர் கணக்கீட்டிற்கு குறைந்தபட்ச சதுர முறையைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், தட்டையான மதிப்பைத் துல்லியமாகப் பெறலாம். இந்த முறை தளத்தின் உள்ளூர் குழிவு மற்றும் குவிவு நிலைகளை திறம்பட அடையாளம் காண முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, 50 மிமீ வரம்பிற்குள் 0.2μm ஏற்ற இறக்கத்தையும் கண்டறிய முடியும், இது வெகுஜன உற்பத்தியில் விரைவான கண்டறிதலுக்கு ஏற்றது. ​
III. ஆப்டிகல் பிளாட் படிக முறை
சிறிய பகுதி தளங்களைக் கண்டறிவதற்கு ஆப்டிகல் பிளாட் கிரிஸ்டல் முறை பொருத்தமானது. ஆப்டிகல் பிளாட் கிரிஸ்டலை மேற்பரப்பில் இறுக்கமாக இணைத்து, மேடையில் சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் ஒற்றை நிற ஒளி மூலத்தின் (சோடியம் விளக்கு போன்றவை) வெளிச்சத்தின் கீழ் அவற்றுக்கிடையே உருவாகும் குறுக்கீடு விளிம்புகளைக் கவனிக்கவும். கோடுகள் இணையான நேரான கோடுகளாக இருந்தால், அது நல்ல தட்டையான தன்மையைக் குறிக்கிறது. வளைந்த கோடுகள் தோன்றினால், பட்டை வளைவின் அளவின் அடிப்படையில் தட்டையான பிழையைக் கணக்கிடுங்கள். ஒவ்வொரு வளைந்த பட்டையும் 0.316μm உயர வேறுபாட்டைக் குறிக்கிறது, மேலும் தட்டையான தரவை எளிய மாற்றத்தின் மூலம் பெறலாம்.
நான்கு. மூன்று-ஒருங்கிணைப்பு அளவிடும் இயந்திர ஆய்வு முறை
மூன்று-ஆய அளவீட்டு இயந்திரம் முப்பரிமாண இடத்தில் உயர்-துல்லிய அளவீட்டை அடைய முடியும். அளவிடும் இயந்திரத்தின் பணிமேசையில் கிரானைட் தளத்தை வைத்து, தளத்தின் மேற்பரப்பில் உள்ள பல அளவீட்டு புள்ளிகளிலிருந்து தரவை ஒரே மாதிரியாக சேகரிக்க ஆய்வைப் பயன்படுத்தவும். அளவிடும் இயந்திர அமைப்பு இந்தத் தரவை செயலாக்கி பகுப்பாய்வு செய்து தளத்தின் தட்டையான தன்மை அறிக்கையை உருவாக்குகிறது. இந்த முறை தட்டையான தன்மையைக் கண்டறிவது மட்டுமல்லாமல், தளத்தின் பிற வடிவியல் அளவுருக்களையும் ஒரே நேரத்தில் பெற முடியும், மேலும் பெரிய கிரானைட் தளங்களின் விரிவான கண்டறிதலுக்கு ஏற்றது.
இந்தக் கண்டறிதல் முறைகளில் தேர்ச்சி பெறுவது, கிரானைட் துல்லிய தளத்தின் தட்டையான தன்மையை துல்லியமாக மதிப்பிடவும், துல்லிய உபகரணங்களின் நிலையான செயல்பாட்டிற்கு நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்கவும் உதவும்.