குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பின்னணியில் உள்ள “பாறை சக்தியை” புரிந்துகொள்ளுங்கள் – கிரானைட் துல்லியக் கூறுகள் சிப் உற்பத்தியின் துல்லிய எல்லையை எவ்வாறு மாற்றியமைக்க முடியும்?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லியப் புரட்சி: கிரானைட் மைக்ரான் தொழில்நுட்பத்தைச் சந்திக்கும் போது
1.1 பொருள் அறிவியலில் எதிர்பாராத கண்டுபிடிப்புகள்
2023 ஆம் ஆண்டின் SEMI சர்வதேச குறைக்கடத்தி சங்கத்தின் அறிக்கையின்படி, உலகின் 63% மேம்பட்ட உற்பத்தி ஆலைகள், பாரம்பரிய உலோகத் தளங்களுக்குப் பதிலாக கிரானைட் அடித்தளங்களைப் பயன்படுத்தத் தொடங்கியுள்ளன. பூமியின் ஆழத்தில் எரிமலைக்குழம்பு ஆவியாவதால் உருவாகும் இந்த இயற்கைக் கல், அதன் தனித்துவமான இயற்பியல் பண்புகளின் காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வரலாற்றை மாற்றி எழுதி வருகிறது.

வெப்ப மந்தநிலை நன்மை: கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 4.5×10⁻⁶/℃ என்பது துருப்பிடிக்காத எஃகின் குணகத்தில் ஐந்தில் ஒரு பங்கு மட்டுமே ஆகும், மேலும் லித்தோகிராபி இயந்திரத்தின் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டின் போது ±0.001 மிமீ பரிமாண நிலைத்தன்மை பராமரிக்கப்படுகிறது.

அதிர்வு தணிக்கும் பண்புகள்: இதன் உள் உராய்வுக் குணகம் வார்ப்பிரும்பை விட 15 மடங்கு அதிகமாக இருப்பதால், உபகரணங்களின் நுண் அதிர்வுகளைத் திறம்பட உள்வாங்குகிறது.

பூஜ்ஜிய காந்தமாக்கல் தன்மை: லேசர் அளவீட்டில் உள்ள காந்தப் பிழையை முழுமையாக நீக்குகிறது.

1.2 சுரங்கத்திலிருந்து அற்புதமானதாக மாறும் பயணம்
ஷான்டாங்கில் உள்ள ZHHIMG-இன் நுண்ணறிவு உற்பத்தித் தளத்தை உதாரணமாக எடுத்துக்கொண்டால், ஒரு மூல கிரானைட் துண்டு பின்வரும் செயல்முறைகளுக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும்:

அதிதுல்லியமான எந்திரவேலைப்பாடு: 200 மணிநேர தொடர்ச்சியான அரைத்தலுக்கான ஐங்கோண இணைப்பு எந்திர மையம், Ra0.008μm வரையிலான மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு.

செயற்கை பழமையாக்கும் சிகிச்சை: நிலையான வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் கொண்ட பணிமனையில் 48 மணி நேர இயற்கையான அழுத்த விடுவிப்பு சிகிச்சை, பொருளின் நிலைத்தன்மையை 40% மேம்படுத்துகிறது.
இரண்டாவதாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஆறு துல்லியச் சிக்கல்களுக்கான "பாறைத் தீர்வை" உடைக்கவும்.
2.1 வேஃபர் சிதைவு விகிதக் குறைப்புத் திட்டம்

செயல்முறை விளக்கம்: ஜெர்மனியில் உள்ள ஒரு சிப் வார்ப்பகம் எங்களின் வாயு மிதக்கும் கிரானைட் தளத்தைப் பயன்படுத்தத் தொடங்கிய பிறகு:

வேஃபர் விட்டம்	சிப் விகிதக் குறைப்பு	சமதளத்தன்மை மேம்பாடு
12 அங்குலம்	67%	≤0.001மிமீ
18 அங்குலம்	82%	≤0.0005மிமீ

2.2 லித்தோகிராஃபிக் சீரமைப்புத் துல்லிய முன்னேற்றத் திட்டம்

வெப்பநிலை ஈடுசெய் அமைப்பு: உட்பொதிக்கப்பட்ட செராமிக் சென்சார், வடிவ மாறுபாட்டை நிகழ் நேரத்தில் கண்காணித்து, தளத்தின் சாய்வைத் தானாகவே சரிசெய்கிறது.
அளவிடப்பட்ட தரவு: 28℃±5℃ வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கத்தின் கீழ், உட்பொதிவுத் துல்லியம் 0.12μm-க்கும் குறைவாக ஏற்ற இறக்கம் அடைகிறது.