குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குப் பின்னால் உள்ள "பாறை விசையை" மறைகுறியாக்கவும் - கிரானைட் துல்லிய கூறுகள் சிப் உற்பத்தியின் துல்லிய எல்லையை எவ்வாறு மறுவடிவமைக்க முடியும்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லியப் புரட்சி: கிரானைட் மைக்ரான் தொழில்நுட்பத்தை சந்திக்கும் போது
1.1 பொருள் அறிவியலில் எதிர்பாராத கண்டுபிடிப்புகள்
2023 SEMI சர்வதேச குறைக்கடத்தி சங்க அறிக்கையின்படி, உலகின் 63% மேம்பட்ட ஃபேப்கள் பாரம்பரிய உலோக தளங்களுக்குப் பதிலாக கிரானைட் தளங்களைப் பயன்படுத்தத் தொடங்கியுள்ளன. பூமியின் ஆழமான மாக்மா ஒடுக்கத்திலிருந்து உருவாகும் இந்த இயற்கை கல், அதன் தனித்துவமான இயற்பியல் பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வரலாற்றை மீண்டும் எழுதுகிறது:

வெப்ப மந்தநிலை நன்மை: கிரானைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 4.5×10⁻⁶/℃ என்பது துருப்பிடிக்காத எஃகின் வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தில் 1/5 மட்டுமே, மேலும் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டில் ±0.001மிமீ பரிமாண நிலைத்தன்மை பராமரிக்கப்படுகிறது.

அதிர்வு தணிப்பு பண்புகள்: உள் உராய்வு குணகம் வார்ப்பிரும்பை விட 15 மடங்கு அதிகமாகும், இது உபகரணங்களின் நுண்ணிய அதிர்வுகளை திறம்பட உறிஞ்சுகிறது.

பூஜ்ஜிய காந்தமயமாக்கல் தன்மை: லேசர் அளவீட்டில் காந்தப் பிழையை முற்றிலுமாக நீக்குதல்.

1.2 என்னுடையதிலிருந்து ஃபேப் வரையிலான உருமாற்றப் பயணம்
உதாரணமாக, ஷான்டாங்கில் உள்ள ZHHIMG இன் அறிவார்ந்த உற்பத்தித் தளத்தை எடுத்துக் கொண்டால், ஒரு மூல கிரானைட் துண்டு பின்வருவனவற்றைச் செய்ய வேண்டும்:

மிகத் துல்லியமான எந்திரம்: 200 மணிநேர தொடர்ச்சியான அரைக்கும் ஐந்து-அச்சு இணைப்பு எந்திர மையம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra0.008μm வரை

செயற்கை வயதான சிகிச்சை: நிலையான வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் பட்டறையில் 48 மணிநேர இயற்கை அழுத்தத்தை வெளியிடுதல், இது தயாரிப்பின் நிலைத்தன்மையை 40% மேம்படுத்துகிறது.
இரண்டாவதாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஆறு துல்லிய சிக்கல்களை "ராக் கரைசல்" மூலம் தீர்க்கவும்.
2.1 வேஃபர் துண்டு துண்டாக மாற்றும் வீதக் குறைப்புத் திட்டம்

வழக்கு செயல் விளக்கம்: ஜெர்மனியில் ஒரு சிப் ஃபவுண்டரி எங்கள் எரிவாயு மிதக்கும் கிரானைட் தளத்தை ஏற்றுக்கொண்ட பிறகு:

வேஃபர் விட்டம்	சிப் வீதக் குறைப்பு	தட்டையான தன்மை மேம்பாடு
12 அங்குலம்	67%	≤0.001மிமீ
18 அங்குலம்	82%	≤0.0005மிமீ

2.2 லித்தோகிராஃபிக் சீரமைப்பு துல்லிய திருப்புமுனை திட்டம்

வெப்பநிலை இழப்பீட்டு அமைப்பு: உட்பொதிக்கப்பட்ட பீங்கான் சென்சார் வடிவ மாறியை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணித்து, தள சாய்வை தானாகவே சரிசெய்கிறது.
அளவிடப்பட்ட தரவு: 28℃±5℃ ஏற்ற இறக்கத்தின் கீழ், உட்பொதித்தல் துல்லியம் 0.12μm க்கும் குறைவாக ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும்.