உங்கள் துணை-மைக்ரான் ஆய்வு செயல்பாட்டில் ஒரு பீங்கான் நேரான விளிம்பு விடுபட்ட இணைப்பாக இருக்க முடியுமா?

உயர் துல்லிய உற்பத்தி உலகில் - சகிப்புத்தன்மை 5 மைக்ரான்களுக்குக் கீழே சுருங்கி மேற்பரப்பு பூச்சுகள் ஒளியியல் தரத்தை அணுகும் இடத்தில் - நாம் நம்பியிருக்கும் கருவிகள் பாரம்பரியத்திற்கு அப்பால் உருவாக வேண்டும். பல தசாப்தங்களாக, எஃகு மற்றும் கிரானைட் அளவியல் பெஞ்சை ஆட்சி செய்தன. ஆனால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள், விண்வெளி ஒளியியல் மற்றும் மருத்துவ நுண் சாதனங்கள் போன்ற தொழில்கள் வெப்ப சறுக்கல் அல்லது நுண்ணிய தேய்மானம் கூட ஏற்றுக்கொள்ள முடியாத பிழையை அறிமுகப்படுத்தும் பகுதிகளுக்குள் நுழைவதால், ஒரு புதிய வகை குறிப்பு கருவிகள் உருவாகி வருகின்றன: உலோகம் அல்லது கல்லிலிருந்து அல்ல, மாறாக மேம்பட்ட தொழில்நுட்ப மட்பாண்டங்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டவை.

ZHHIMG-இல், நாங்கள் வெறுமனே வழங்குவதைத் தாண்டி முன்னேறியுள்ளோம்செராமிக் ஸ்ட்ரெய்ட் ரூலர்அல்லது செராமிக் ஸ்கொயர் ரூலர் தயாரிப்புகள். நேர்கோட்டு விளிம்பு என்றால் என்ன என்பதை நாங்கள் மறுவரையறை செய்கிறோம் - அதி-நிலையான பீங்கான் பொருட்களை அதிநவீன வடிவமைப்புடன் இணைப்பதன் மூலம், எங்கள் புரட்சிகரமான தனிப்பயன் பீங்கான் காற்று மிதக்கும் ஆட்சியாளர் உட்பட, நானோமீட்டர்-நிலை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை வழங்கும் ஒரு தீர்வான இயந்திர தொடர்பை முற்றிலுமாக நீக்குகிறது.

ஏன் மட்பாண்டங்கள்? பதில் மூலக்கூறு மட்டத்தில் தொடங்குகிறது. வெப்பநிலையுடன் கணிசமாக விரிவடையும் எஃகு அல்லது கிரானைட் போலல்லாமல், அதன் நிலைத்தன்மை இருந்தபோதிலும், நுண்துளைகள் மற்றும் பன்முகத்தன்மை கொண்டதாக இருக்கும் - சிர்கோனியா-கடினப்படுத்தப்பட்ட அலுமினா (ZTA) மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற பொறியியல் மட்பாண்டங்கள் பூஜ்ஜியத்திற்கு அருகில் போரோசிட்டி, விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை (1400–1800 HV) மற்றும் 3–4 µm/m·°C வரை வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களை வழங்குகின்றன. இதன் பொருள் ZHHIMG இலிருந்து ஒரு செராமிக் ஸ்ட்ரெய்ட் எட்ஜ் அதன் வடிவவியலை வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களில் பராமரிக்கிறது, இது வழக்கமான கருவிகளை பல மைக்ரான்களால் சிதைக்கும்.

ஆனால் பொருள் மட்டும் போதாது. எங்கள் பீங்கான் அளவுகோல்களை உண்மையிலேயே வேறுபடுத்துவது அவற்றின் உற்பத்தியின் துல்லியம்தான். ISO வகுப்பு 5 சுத்தமான அறைகளில் வைர அரைத்தல், துணை-துளை பாலிஷ் செய்தல் மற்றும் லேசர் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரிக் சரிபார்ப்பு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி, 500 மிமீக்கு மேல் 0.8 µm ஐ விட சிறந்த நேரான சகிப்புத்தன்மையை நாங்கள் அடைகிறோம் - விநியோகத்தின் போது மட்டுமல்ல, NIST மற்றும் PTB தரநிலைகளின்படி கண்டறியக்கூடிய முழு அளவுத்திருத்த அறிக்கைகளிலும் ஆவணப்படுத்தப்பட்டுள்ளது. ஒவ்வொருபீங்கான் சதுர ஆட்சியாளர்மின்னணு ஆட்டோகோலிமேஷன் மூலம் செங்குத்துத்தன்மை சோதனைக்கு உட்படுகிறது, கோணங்கள் 1 வில்-வினாடிக்குள் (100 மிமீயில் ≈0.5 µm விலகல்) வைக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

இவை கோட்பாட்டு விவரக்குறிப்புகள் அல்ல. இனி சமரசம் செய்ய முடியாத வாடிக்கையாளர்களுக்கான செயல்பாட்டு யதார்த்தங்கள் இவை. ஒரு முன்னணி EUV லித்தோகிராஃபி கூறு சப்ளையர் இப்போது கண்ணாடி ஆதரவு பிரேம்களை சீரமைக்க எங்கள் செராமிக் ஸ்ட்ரெய்ட் ரூலரை பிரத்தியேகமாகப் பயன்படுத்துகிறார். "நீண்ட வெளிப்பாடு சுழற்சிகளின் போது எஃகு ரூலர்கள் வளைந்தன," என்று அவர்களின் முன்னணி அளவியல் நிபுணர் எங்களிடம் கூறினார். "கிரானைட் துகள்களை எடுத்தது. பீங்கான் பதிப்பு? இது 18 மாதங்களாக நிலையானது - மறு அளவுத்திருத்தம் தேவையில்லை."

இருப்பினும், சரியான வடிவியல் கூட தொடர்பு மூலம் சமரசம் செய்யப்படலாம். ஒரு பரப்பின் குறுக்கே ஒரு ரூலரை இழுக்கவும், குறிப்பாக மென்மையான உலோகங்கள் அல்லது பளபளப்பான ஒளியியல் மீது நுண்ணிய கீறல்கள், எண்ணெய் படல குறுக்கீடு அல்லது மீள் சிதைவு ஏற்படும் அபாயம் உள்ளது. அங்குதான் ZHHIMG இன் புதுமை தனிப்பயன் பீங்கான் காற்று மிதக்கும் ரூலருடன் முன்னேறுகிறது.

இது வெறும் துளைகள் துளையிடப்பட்ட ஒரு பீங்கான் நேர்கோட்டு விளிம்பு அல்ல. இது முழுமையாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஏரோஸ்டேடிக் அமைப்பாகும், இது ரூலரின் முழு நீளத்திலும் சீரான, லேமினார் காற்றோட்டத்தை வழங்க கணக்கீட்டு திரவ இயக்கவியலைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சுத்தமான, வறண்ட காற்று (அல்லது உணர்திறன் சூழல்களில் நைட்ரஜன்) மூலம் அழுத்தப்படும்போது, ​​ரூலர் பணிப்பகுதிக்கு மேலே 5-10 மைக்ரான்கள் மிதக்கிறது - சரியான சீரமைப்பைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில் உடல் தொடர்பை நீக்குகிறது. இதன் விளைவாகவா? ±0.2 µm வரை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையுடன், தட்டையான தன்மை, நேரான தன்மை அல்லது படி உயர சரிபார்ப்புக்கான உண்மையான தொடர்பு இல்லாத அளவீடு.

சுவிட்சர்லாந்தில் உள்ள ஒரு குவாண்டம் கம்ப்யூட்டிங் ஆய்வகம் இப்போது 600-மிமீ தனிப்பயன் பீங்கான் காற்று மிதக்கும் ஆட்சியாளரைப் பயன்படுத்தி மீக்கடத்தும் சிப் கேரியர்களை ஆய்வு செய்கிறது. "எந்தவொரு தொடர்பும் - மென்மையான ஸ்டைலஸுடன் கூட - குவிட் செயல்திறனை மாற்றும் அழுத்தத்தை அறிமுகப்படுத்துகிறது," என்று அவர்களின் செயல்முறை பொறியாளர் விளக்கினார். "காற்று மிதக்கும் பீங்கான் ஆட்சியாளர் பகுதியைத் தொடாமலேயே நமக்குத் தேவையான குறிப்பை வழங்குகிறது. இது பணிக்கு மிகவும் முக்கியமானதாகிவிட்டது."

இதை சாத்தியமாக்குவது ZHHIMG இன் பொருள் அறிவியல், துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கல் மற்றும் அளவியல் நிபுணத்துவம் ஆகியவற்றின் தனித்துவமான ஒருங்கிணைப்பு ஆகும். பல சப்ளையர்கள் மட்பாண்டங்களை கட்டமைப்பு கூறுகளாகக் கருதினாலும், நாங்கள் அவற்றை அளவீட்டு கலைப்பொருட்களாக மேம்படுத்துகிறோம். எங்கள் செராமிக் ஸ்கொயர் ரூலர் வடிவமைப்புகளில் சிப்பிங்கைத் தடுக்க சேம்ஃபர்டு விளிம்புகள், ஆய்வு விளக்குகளின் கீழ் கண்ணை கூசுவதைக் குறைக்க மேட்-ஃபினிஷ் செய்யப்பட்ட பின்புறங்கள் மற்றும் தானியங்கி பார்வை அமைப்புகளுக்கான விருப்ப ஃபிடியூஷியல் குறிப்பான்கள் ஆகியவை அடங்கும். சுத்தமான அறை பயன்பாடுகளுக்கு, துகள் ஒட்டுதலைக் குறைக்க மேற்பரப்புகள் Ra < 0.02 µm க்கு மெருகூட்டப்படுகின்றன.

ஒவ்வொரு பயன்பாடும் வித்தியாசமாக இருப்பதால், நாங்கள் ஒரே மாதிரியான அனைத்தையும் நம்புவதில்லை. பரிசோதனையின் போது மெல்லிய செதில்களைப் பிடிக்க உட்பொதிக்கப்பட்ட வெற்றிட சேனல்களுடன் கூடிய செராமிக் ஸ்ட்ரெய்ட் எட்ஜ் தேவையா? நாங்கள் அதை உருவாக்கியுள்ளோம். ஒரு தேவைசதுர அளவுகோல்உங்கள் CMM ஆய்வு முனையுடன் துளைகள் சீரமைக்கப்பட்டுள்ளதா? முடிந்தது. ஒருங்கிணைந்த அழுத்த உணரிகள் மற்றும் டிஜிட்டல் லெவலிங் பின்னூட்டத்துடன் கூடிய தனிப்பயன் பீங்கான் காற்று மிதக்கும் ஆட்சியாளர் வேண்டுமா? அது ஏற்கனவே ஒரு அடுக்கு-1 விண்வெளி கிளையண்டுடன் பீட்டா சோதனையில் உள்ளது.

தொழில்துறை அங்கீகாரம் தொடர்ந்து வந்தது. 2025 குளோபல் அட்வான்ஸ்டு மெட்ராலஜி மதிப்பாய்வில், ZHHIMG நிறுவனம் முழு வடிவியல் சரிபார்ப்பு மற்றும் டிஜிட்டல் டிரேஸ்பிலிட்டியுடன் மிதக்கும் வகைகள் உட்பட சான்றளிக்கப்பட்ட பீங்கான் குறிப்பு கருவிகளின் முழுமையான குடும்பத்தை வழங்கும் ஒரே நிறுவனமாகக் குறிப்பிடப்பட்டது. ஆனால் மிக முக்கியமாக, தத்தெடுப்பு துரிதப்படுத்தப்படுகிறது: எங்கள் பீங்கான் ரூலர் ஆர்டர்களில் 60% க்கும் அதிகமானவை இப்போது அத்தகைய கருவிகளை "ஓவர்கில்" என்று கருதிய தொழில்களிலிருந்து வருகின்றன - அவை வித்தியாசத்தை அளவிடும் வரை.

நரம்பியல் உள்வைப்புகளை உற்பத்தி செய்யும் ஒரு மருத்துவ சாதன தொடக்க நிறுவனம் எஃகிலிருந்து எங்கள் செராமிக் ஸ்கொயர் ரூலருக்கு மாறியது, மேலும் அவர்களின் முதல்-பாஸ் மகசூல் 22% அதிகரித்துள்ளது. "பழைய சதுரம் டைட்டானியம் ஹவுசிங்கில் மைக்ரோ-கேஜ்களை விட்டுச் சென்றது," என்று அவர்களின் QA மேலாளர் கூறினார். "நாங்கள் அதை மாற்றும் வரை நாங்கள் அதை உணரவில்லை. இப்போது, ​​ஒவ்வொரு பகுதியும் முதல் முயற்சியிலேயே காட்சி மற்றும் பரிமாண சோதனைகளை கடந்து செல்கிறது."

எனவே உங்கள் அடுத்த அளவியல் மேம்படுத்தலை மதிப்பிடும்போது, ​​உங்களை நீங்களே கேட்டுக்கொள்ளுங்கள்: எனது தற்போதைய நேர்கோட்டு நிச்சயமற்ற தன்மையைச் சேர்க்கிறதா - அல்லது அதை நீக்குகிறதா?

உங்கள் செயல்முறை கண்டறியும் தன்மையின் விளிம்பில் செயல்பட்டால், பதில் மட்பாண்டங்களில் இருக்கலாம் - ஒரு புதுமையாக அல்ல, ஆனால் ஒரு தேவையாக. ZHHIMG இல், நாங்கள் செராமிக் ஸ்ட்ரெய்ட் ரூலர், செராமிக் ஸ்கொயர் ரூலர் அல்லது செராமிக் ஸ்ட்ரெய்ட் எட்ஜ் கருவிகளை மட்டும் தயாரிப்பதில்லை. ஒவ்வொரு மைக்ரானிலும் நம்பிக்கையை நாங்கள் வடிவமைக்கிறோம்.