அடுத்த தலைமுறை பீங்கான் அளவீட்டு கருவிகள் மிக உயர்ந்த துல்லியத்தின் எல்லைகளை மறுவரையறை செய்கிறதா?

அளவுத்திருத்த ஆய்வகங்கள், குறைக்கடத்தி சுத்தம் செய்யும் அறைகள் மற்றும் விண்வெளி அளவியல் அறைகளின் அமைதியான அரங்குகளில், ஒரு அமைதியான புரட்சி நடந்து வருகிறது. இது மென்பொருள் அல்லது சென்சார்களால் மட்டும் இயக்கப்படவில்லை - மாறாக அளவீட்டின் அடித்தளத்தை உருவாக்கும் பொருட்களால் தான். இந்த மாற்றத்தின் முன்னணியில் மேம்பட்ட பீங்கான் அளவீட்டு கருவிகள் உள்ளன, அவற்றில் அல்ட்ரா-ஸ்டேபிள் பீங்கான் ஏர் ஸ்ட்ரெய்ட் ரூலர் மற்றும் விதிவிலக்காக கடினமான உயர் துல்லிய சிலிக்கான்-கார்பைடு (Si-SiC) இணை குழாய் மற்றும் சதுரம் ஆகியவை அடங்கும். இவை வெறும் கருவிகள் அல்ல; நிலைத்தன்மை, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை மற்றும் வெப்ப நடுநிலைமை ஆகியவை பேச்சுவார்த்தைக்கு உட்பட்டவை அல்ல என்ற புதிய சகாப்தத்தின் செயல்படுத்திகள் அவை.

அரை நூற்றாண்டுக்கும் மேலாக, துல்லியமான அளவியலில் கருப்பு கிரானைட் ஆதிக்கம் செலுத்தியது. அதன் இயற்கையான ஈரப்பதம், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சிறந்த தட்டையானது மேற்பரப்பு தகடுகள், சதுரங்கள் மற்றும் நேரான விளிம்புகளுக்கு ஏற்ற பொருளாக அமைந்தது. இருப்பினும், தொழில்கள் துணை மைக்ரான் மற்றும் நானோமீட்டர் அளவிலான சகிப்புத்தன்மைகளுக்குள் தள்ளப்படுவதால் - குறிப்பாக குறைக்கடத்தி லித்தோகிராஃபி, விண்வெளி ஒளியியல் மற்றும் குவாண்டம் கம்ப்யூட்டிங் ஆகியவற்றில் - கிரானைட்டின் வரம்புகள் பெருகிய முறையில் தெளிவாகத் தெரிந்துள்ளன. இது கனமானது, மீண்டும் மீண்டும் தொடர்பு கொள்ளும்போது மைக்ரோ-சிப்பிங்கிற்கு ஆளாகிறது, மேலும், அதன் நற்பெயர் இருந்தபோதிலும், சுமை அல்லது சுற்றுச்சூழல் ஏற்ற இறக்கத்தின் கீழ் இன்னும் சிறிய நீண்ட கால ஊர்ந்து செல்வதை வெளிப்படுத்துகிறது.

பொறிக்கப்பட்ட மட்பாண்டங்களை உள்ளிடுக: அன்றாட கற்பனையின் உடையக்கூடிய மட்பாண்டங்கள் அல்ல, ஆனால் தீவிர வெப்பம் மற்றும் அழுத்தத்தின் கீழ் உருவாக்கப்பட்ட அடர்த்தியான, ஒரே மாதிரியான, உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்கள். இவற்றில், இரண்டு வகுப்புகள் அளவியல் பயன்பாடுகளுக்கு தனித்து நிற்கின்றன: உயர்-தூய்மை அலுமினா (Al₂O₃) மற்றும் எதிர்வினை-பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (Si-SiC). இரண்டும் பாரம்பரிய பொருட்களை விட வியத்தகு முன்னேற்றங்களை வழங்கினாலும், அவை தனித்துவமான பாத்திரங்களை வகிக்கின்றன - மேலும் ஒன்றாக, அவை பரிமாண அளவியலில் சாத்தியமானவற்றின் வெட்டு விளிம்பைக் குறிக்கின்றன.

உதாரணமாக, பீங்கான் காற்று நேரான அளவுகோலை எடுத்துக் கொள்ளுங்கள். காற்று தாங்கும் நிலைகள் அல்லது ஆப்டிகல் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்களுடன் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த கருவி, கிட்டத்தட்ட சரியான நேரான தன்மை, குறைந்தபட்ச நிறை மற்றும் பூஜ்ஜிய வெப்ப சறுக்கலை கோருகிறது. அலுமினா அடிப்படையிலானது.பீங்கான் அளவுகோல்கள்—500 மிமீக்கு மேல் ±0.5 µm க்குள் தட்டையான தன்மை மற்றும் நேரான தன்மைக்கு இயந்திரமயமாக்கப்பட்டு, Ra 0.02 µm க்குக் கீழே மேற்பரப்பு கடினத்தன்மைக்கு மெருகூட்டப்பட்டது—அதை சரியாக வழங்குகிறது. அவற்றின் குறைந்த அடர்த்தி (~3.6 g/cm³) டைனமிக் அளவீட்டு அமைப்புகளில் மந்தநிலையைக் குறைக்கிறது, அதே நேரத்தில் அவற்றின் காந்தமற்ற, கடத்தும் தன்மை உணர்திறன் வாய்ந்த மின்னணு அல்லது காந்த சூழல்களில் குறுக்கீட்டை நீக்குகிறது. வேஃபர் ஆய்வு கருவிகள் அல்லது லேசர் டிராக்கர் அளவுத்திருத்த அமைப்புகளில், ஒரு மைக்ரான் வில் கூட முடிவுகளைத் திசைதிருப்ப முடியும், பீங்கான் காற்று நேரான ஆட்சியாளர் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் செயல்பாட்டு சுழற்சிகளில் உண்மையாக இருக்கும் ஒரு நிலையான, மந்தமான குறிப்பை வழங்குகிறது.

ஆனால் விண்வெளி தொலைநோக்கி கண்ணாடி சீரமைப்பு அல்லது உயர்-சக்தி லேசர் குழி அளவியல் போன்றவற்றில் இறுதி விறைப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் தேவைப்படும்போது, ​​பொறியாளர்கள் உயர் துல்லியமான சிலிக்கான்-கார்பைடு (Si-SiC) இணை குழாய் மற்றும் சதுர கூறுகளுக்கு மாறுகிறார்கள். Si-SiC என்பது அறியப்பட்ட கடினமான பொருட்களில் ஒன்றாகும், யங்கின் மாடுலஸ் 400 GPa ஐ விட அதிகமாக உள்ளது - எஃகு விட மூன்று மடங்கு அதிகம் - மற்றும் அலுமினியத்தை விட வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது. முக்கியமாக, அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) ஆப்டிகல் கண்ணாடிகள் அல்லது சிலிக்கான் வேஃபர்களுடன் பொருந்தக்கூடிய வகையில் வடிவமைக்கப்படலாம், இது கலப்பின கூட்டங்களில் பூஜ்ஜியத்திற்கு அருகில் உள்ள வேறுபாடு விரிவாக்கத்தை செயல்படுத்துகிறது. EUV லித்தோகிராஃபி கருவியில் முதன்மை குறிப்பாகப் பயன்படுத்தப்படும் Si-SiC சதுரம் அதன் வடிவத்தை மட்டும் வைத்திருக்காது - இது உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட வெப்பமாக்கல் அல்லது அதிர்வுகளிலிருந்து விலகலை தீவிரமாக எதிர்க்கும்.

இந்த சாதனைகளை சாத்தியமாக்குவது வெறும் பொருள் மட்டுமல்ல, பீங்கான் அளவீட்டு கருவிகள் தயாரிப்பில் தேர்ச்சியும் ஆகும். எடுத்துக்காட்டாக, Si-SiC இன் துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கலுக்கு, வைர அரைக்கும் சக்கரங்கள், துணை-மைக்ரான் CNC தளங்கள் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழல்களில் நடத்தப்படும் பல-நிலை லேப்பிங் செயல்முறைகள் தேவைப்படுகின்றன. முறையற்ற சின்டரிங்கில் இருந்து சிறிய எஞ்சிய அழுத்தம் கூட இயந்திரத்திற்குப் பிந்தைய வார்பேஜுக்கு வழிவகுக்கும். அதனால்தான் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட சில உலகளாவிய உற்பத்தியாளர்கள் மட்டுமே பொருள் தொகுப்பு, துல்லிய உருவாக்கம் மற்றும் இறுதி அளவியலை ஒரே கூரையின் கீழ் ஒருங்கிணைக்கிறார்கள் - இது உண்மையான அளவியல்-தர உற்பத்தியாளர்களை பொதுவான பீங்கான் சப்ளையர்களிடமிருந்து பிரிக்கும் திறன்.

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) இல், இந்த செங்குத்து ஒருங்கிணைப்பு எங்கள் நோக்கத்திற்கு மையமானது. எங்கள் பீங்கான் அளவீட்டு கருவிகள் - DIN 874 கிரேடு AA க்கு சான்றளிக்கப்பட்ட பீங்கான் காற்று நேரான ஆட்சியாளர் மாதிரிகள் மற்றும் PTB மற்றும் NIST தரநிலைகளுக்குக் கண்டறியக்கூடிய உயர் துல்லிய சிலிக்கான்-கார்பைடு (Si-Si-C) இணையான குழாய் மற்றும் சதுர கலைப்பொருட்கள் உட்பட - ISO வகுப்பு 7 சுத்தமான அறைகளில் தனியுரிம சின்டரிங் மற்றும் முடித்தல் நெறிமுறைகளைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகின்றன. ஒவ்வொரு கூறும் முழு இடைச்செருகல் சரிபார்ப்பு, வடிவியல் சகிப்புத்தன்மையின் CMM சரிபார்ப்பு (தட்டையானது, இணைத்தன்மை, செங்குத்துத்தன்மை) மற்றும் ஏற்றுமதிக்கு முன் மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாடு சோதனைக்கு உட்படுகிறது. இதன் விளைவாக ஒரு குறிப்பு-தர கலைப்பொருள் உள்ளது, இது விவரக்குறிப்புகளை மட்டும் பூர்த்தி செய்யவில்லை - இது தொகுதிகள் முழுவதும் தொடர்ந்து அவற்றை மீறுகிறது.

இத்தகைய செயல்திறனுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், EUV மற்றும் உயர்-NA லித்தோகிராஃபி அமைப்புகளுக்கு மீட்டர் அளவிலான தூரங்களுக்கு மேல் பல்லாயிரக்கணக்கான நானோமீட்டர்களுக்குள் நிலையான சீரமைப்பு கட்டமைப்புகள் தேவைப்படுகின்றன - Si-SiC இன் வெப்ப-இயந்திர சினெர்ஜி இல்லாமல் சாத்தியமற்றது. விண்வெளியில், பீங்கான் குறிப்புகளுடன் செய்யப்பட்ட செயற்கைக்கோள் ஒளியியல் பெஞ்சுகள் தீவிர வெப்ப சுழற்சி இருந்தபோதிலும் சுற்றுப்பாதையில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. ஈர்ப்பு அலை கண்டறிதல் அல்லது அணு கடிகார மேம்பாடு போன்ற வளர்ந்து வரும் துறைகளில் கூட, பைக்கோமீட்டர்-நிலை நிலைத்தன்மை முக்கியமானது, பீங்கான் மற்றும் Si-SiC அளவியல் கலைப்பொருட்கள் இன்றியமையாததாகி வருகின்றன.

முக்கியமான விஷயம் என்னவென்றால், இந்த கருவிகள் நிலைத்தன்மை மற்றும் மொத்த உரிமைச் செலவையும் நிவர்த்தி செய்கின்றன. உயர் துல்லியமான சிலிக்கான்-கார்பைடு இணை குழாய்களில் ஆரம்ப முதலீடு கிரானைட் சமமானதை விட அதிகமாக இருக்கலாம், அதிக பயன்பாட்டு சூழல்களில் அதன் சேவை வாழ்க்கை 5-10 மடங்கு அதிகமாக இருக்கலாம். இதற்கு எண்ணெய் பூசுதல் தேவையில்லை, அனைத்து பொதுவான கரைப்பான்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாக்களை எதிர்க்கிறது, மேலும் ஈரப்பதம் உறிஞ்சுதல் காரணமாக மறுசீரமைப்பு தேவையில்லை - வார்ப்பிரும்பு அல்லது சில கிரானைட்டுகளைப் போலல்லாமல். AS9100, ISO 13485 அல்லது SEMI தரநிலைகளின் கீழ் செயல்படும் தர மேலாளர்களுக்கு, இந்த நம்பகத்தன்மை நேரடியாக குறைக்கப்பட்ட வேலையில்லா நேரம், குறைவான தணிக்கை கண்டுபிடிப்புகள் மற்றும் அதிக வாடிக்கையாளர் நம்பிக்கையாக மொழிபெயர்க்கிறது.

மேலும், இந்த கருவிகளின் அழகியல் மற்றும் செயல்பாட்டு நேர்த்தியை கவனிக்காமல் விடக்கூடாது. மெருகூட்டப்பட்ட Si-SiC சதுரம் உலோக பளபளப்புடன் மின்னுகிறது, ஆனால் எஃகை விட குறைவான எடை கொண்டது. ஒரு பீங்கான் காற்று நேரான ஆட்சியாளர் திடமாக உணர்கிறார், ஆனால் சிரமமின்றி தூக்குகிறார் - இறுக்கமான இடங்களில் கைமுறை சரிபார்ப்புக்கு ஏற்றது. இந்த மனிதனை மையமாகக் கொண்ட குணங்கள் நிஜ உலக ஆய்வகங்களில் முக்கியமானவை, அங்கு பணிச்சூழலியல் மற்றும் பயன்பாட்டின் எளிமை தினசரி பணிப்பாய்வை பாதிக்கிறது.

எனவே, பீங்கான் அளவீட்டு கருவிகள் மிக உயர்ந்த துல்லியத்தை மறுவரையறை செய்கிறதா? பதில் தரவுகளிலும் - இப்போது அவற்றை தரநிலையாகக் குறிப்பிடும் உலகளாவிய தலைவர்களின் வளர்ந்து வரும் பட்டியலிலும் உள்ளது. அடுத்த தலைமுறை நீளத் தரங்களைச் சரிபார்க்கும் தேசிய அளவியல் நிறுவனங்கள் முதல் EV டிரைவ்டிரெய்ன் கூறுகளை சான்றளிக்கும் அடுக்கு 1 சப்ளையர்கள் வரை, மாற்றம் தெளிவாக உள்ளது: நிச்சயமற்ற தன்மையைக் குறைக்க வேண்டியிருக்கும் போது, ​​பொறியாளர்கள் பொறியியல் பீங்கான்களை நம்புகிறார்கள்.

அணு அளவிலான கட்டுப்பாட்டை நோக்கி தொழிற்சாலைகள் இடைவிடாமல் முன்னேறிச் செல்லும்போது, ​​ஒரு உண்மை மறுக்க முடியாததாகிறது: அளவீட்டின் எதிர்காலம் கல்லில் இருந்து செதுக்கப்படாது அல்லது உலோகத்தில் வார்க்கப்படாது. இது பீங்கான் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகியவற்றில் சின்டர் செய்யப்பட்டு, அரைக்கப்பட்டு, மெருகூட்டப்படும்.

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) என்பது அல்ட்ரா-துல்லிய பீங்கான் மற்றும் சிலிக்கான்-கார்பைடு அளவியல் தீர்வுகளில் உலகளவில் அங்கீகரிக்கப்பட்ட ஒரு புதுமைப்பித்தன். பீங்கான் அளவிடும் கருவிகள், பீங்கான் காற்று நேரான ஆட்சியாளர் மற்றும் உயர் துல்லியமான சிலிக்கான்-கார்பைடு (Si-SiC) இணை குழாய் மற்றும் சதுர கூறுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ZHHIMG, குறைக்கடத்தி, விண்வெளி, பாதுகாப்பு மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கான முழுமையாக சான்றளிக்கப்பட்ட, ஆய்வக-தர கலைப்பொருட்களை வழங்குகிறது. ISO 9001, ISO 14001 மற்றும் CE சான்றிதழ்களால் ஆதரிக்கப்படும் எங்கள் தயாரிப்புகள் உலகெங்கிலும் உள்ள முன்னணி தொழில்நுட்ப நிறுவனங்களால் நம்பப்படுகின்றன. எங்கள் மேம்பட்ட அளவியல் போர்ட்ஃபோலியோவை இங்கே ஆராயுங்கள்.www.zhhimg.com.