கிரானைட் தளத்தின் நில அதிர்வு தர தரத்தின் பகுப்பாய்வு: தொழில் மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சியின் நிலையான மூலக்கல்லாகும்.

துல்லியமான தொழில்துறை உற்பத்தி மற்றும் அதிநவீன அறிவியல் ஆராய்ச்சி ஆய்வுத் துறையில், சிறந்த நில அதிர்வு செயல்திறன் கொண்ட கிரானைட் தளம், பல்வேறு உயர் துல்லிய செயல்பாடுகளின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய உபகரணமாக மாறியுள்ளது. அதன் கடுமையான அதிர்ச்சி-தடுப்பு மதிப்பீட்டு தரநிலை அதிர்வுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்ட பல வேலை சூழ்நிலைகளுக்கு நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.
முதலாவதாக, கிரானைட் தளத்தின் பூகம்ப எதிர்ப்பு தரத்தை நிர்ணயிப்பதற்கான அடிப்படை.
பொருள் பண்புகள்: கிரானைட் தளம் இயற்கையான கிரானைட்டால் ஆனது, மில்லியன் கணக்கான ஆண்டுகால புவியியல் செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு, உள் படிக அமைப்பு நெருக்கமாக அமைக்கப்பட்டு மிகவும் சீரானது. இந்த தனித்துவமான அமைப்பு கிரானைட்டுக்கு மிகக் குறைந்த மீள் மாடுலஸ் மாற்றத்தை அளிக்கிறது, உலோகம் போன்ற பிற பொதுவான பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது அதிர்ச்சிக்கு உட்படுத்தப்படும்போது, ​​அதன் மீள் சிதைவை மிகச் சிறிய வரம்பில் கட்டுப்படுத்த முடியும். அதிகாரப்பூர்வ சோதனை நிறுவனங்களின் தீர்மானத்தின்படி, நிலையான அதிர்வு சோதனை சூழலில் கிரானைட்டின் மீள் சிதைவு சாதாரண உலோகப் பொருட்களின் 1/10-1/20 மட்டுமே, இது தளத்தின் உயர் மட்ட நில அதிர்வு செயல்திறனுக்கான உறுதியான பொருள் அடித்தளத்தை அமைக்கிறது.
கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு: மேக்ரோ கட்டமைப்பின் பார்வையில், கிரானைட் தளம் உகந்த வடிவியல் வடிவம் மற்றும் ஆதரவு அமைப்புடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. நிலையான ஈர்ப்பு மையத்தை உறுதி செய்வதற்கும் அதிர்வுகளால் ஏற்படும் குலுக்கலின் அபாயத்தைக் குறைப்பதற்கும் தளத்தின் ஒட்டுமொத்த நீளம்-அகலம்-உயர விகிதம் கவனமாகக் கணக்கிடப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், ஆதரவு புள்ளிகளின் விநியோகம் இயக்கவியலின் கொள்கைகளின்படி அறிவியல் பூர்வமாக திட்டமிடப்பட்டுள்ளது, இது மேடையில் வைக்கப்பட்டுள்ள பொருட்களின் எடையையும் வெளிப்புற அதிர்வுகளால் உருவாகும் தாக்க சக்தியையும் சமமாக விநியோகிக்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, பெரிய கிரானைட் தளத்தில், பல-புள்ளி ஆதரவு அமைப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அருகிலுள்ள ஆதரவு புள்ளிகளுக்கு இடையிலான தூரப் பிழை ±0.05 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது உள்ளூர் அழுத்த செறிவை திறம்பட தவிர்க்கிறது மற்றும் தளத்தின் நில அதிர்வு திறனை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.
2. ஒவ்வொரு அதிர்ச்சி-தடுப்பு மட்டத்தின் விரிவான குறிகாட்டிகள் மற்றும் பயன்பாட்டு காட்சிகள்
நிலை I அதிர்ச்சி-தடுப்பு தரநிலை (மிக-உயர் துல்லியத் தேவை சூழ்நிலைகள்)
அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சி குறியீடு: உருவகப்படுத்தப்பட்ட நில அதிர்வு அலை அதிர்வு அதிர்வெண் (0.1Hz-100Hz) வரம்பிற்குள், தள மேற்பரப்பில் எந்த நிலையிலும் அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சியின் உச்ச மதிப்பு 0.001mm ஐ விட அதிகமாக இருக்காது. சுற்றியுள்ள பெரிய இயந்திரங்களின் செயல்பாட்டால் உருவாகும் குறைந்த அதிர்வெண் அதிர்வு (சுமார் 1Hz-10Hz அதிர்வெண்ணில் கனரக இயந்திரக் கருவியின் அதிர்வு போன்றவை) குறுக்கிடப்படும்போது, ​​அணு விசை நுண்ணோக்கி போன்ற மேடையில் வைக்கப்பட்டுள்ள உயர்-துல்லிய ஒளியியல் அளவீட்டு கருவிகள், அளவிடும் ஆய்வுக்கும் அளவிடப்பட்ட மாதிரிக்கும் இடையிலான ஒப்பீட்டு இடப்பெயர்ச்சி மாற்றம் மிகக் குறைவு, இது நானோ அளவிலான அளவீட்டு துல்லியம் பாதிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
பயன்பாட்டு சூழ்நிலை: இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தியின் லித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிப் உற்பத்திக்கு மிக உயர்ந்த லித்தோகிராஃபிக் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது, மேலும் வரி அகலம் நானோமீட்டர் அளவை எட்டியுள்ளது. லித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில், கிரானைட் தளம் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்கு நிலையான ஆதரவை வழங்க வேண்டும், பட்டறையில் உள்ள பிற உபகரணங்களின் செயல்பாட்டால் உருவாகும் அதிர்வுகளை தனிமைப்படுத்த வேண்டும் மற்றும் லித்தோகிராஃபி வடிவத்தின் துல்லியமான பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்ய வேண்டும், இதனால் சிப் உற்பத்தியின் மகசூல் பெரிதும் மேம்படும். தொழில்துறை புள்ளிவிவரங்களின்படி, முதல்-நிலை அதிர்ச்சி-தடுப்பு நிலையான கிரானைட் தளத்தை சந்திக்கும் சிப் உற்பத்தி வரியின் பயன்பாடு சாதாரண தளங்களின் பயன்பாட்டுடன் ஒப்பிடும்போது 15%-20% மகசூலை அதிகரித்துள்ளது.
நிலை 2 அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு தரநிலை (உயர்-துல்லிய சூழ்நிலை)
அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சி குறியீடு: 0.1Hz-100Hz அதிர்வு அதிர்வெண்ணின் கீழ், தள மேற்பரப்பின் உச்ச அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சி 0.005mm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. ஸ்கேனிங் டன்னலிங் மைக்ரோஸ்கோப் (STM) சோதனைகள் போன்ற பல்கலைக்கழகங்களில் உள்ள அறிவியல் ஆராய்ச்சி ஆய்வகங்களில் நடத்தப்படும் நுண்ணிய துகள் கண்டறிதல் சோதனைகளுக்கு, இந்த அளவிலான அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு செயல்திறன், ஆய்வகத்தைச் சுற்றி நகரும் பணியாளர்கள் மற்றும் ஆய்வகத்தைச் சுற்றி நகரும் உபகரணங்கள் போன்ற சில வழக்கமான அதிர்வு மூலங்கள் இருந்தாலும் கூட, STM இன் முனைக்கும் மாதிரிக்கும் இடையிலான ஒப்பீட்டு நிலை நிலையானதாக இருப்பதை உறுதிசெய்யும். இதனால், நுண்ணிய துகள்களின் குவாண்டம் நிலை தகவல் துல்லியமாகப் பிடிக்கப்படுகிறது, இது ஆராய்ச்சியாளர்களுக்கு துல்லியமான சோதனைத் தரவைப் பெறுவதற்கான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.
பயன்பாட்டு சூழ்நிலை: உயர்-துல்லியமான மின்னணு இருப்பு உற்பத்தி பிழைத்திருத்த செயல்முறை போன்ற உயர்நிலை துல்லியமான கருவி உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மின்னணு இருப்புக்கள் அதிர்வுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, மேலும் சிறிய அதிர்வுகள் கூட அளவீட்டு முடிவுகளில் விலகல்களை ஏற்படுத்தும். இரண்டாம் நிலை அதிர்ச்சி-தடுப்பு தரநிலையை பூர்த்தி செய்யும் கிரானைட் தளம், மின்னணு சமநிலையை அளவீடு செய்வதற்கும் இயக்குவதற்கும் ஒரு நிலையான சூழலை வழங்க முடியும், இருப்பின் அளவீட்டு துல்லியம் மைக்ரோகிராம் அளவை அடைவதை உறுதிசெய்ய முடியும், மேலும் மருந்து மற்றும் நகை அடையாளம் காணல் போன்ற அதிக எடை அளவீட்டு துல்லியத்திற்கான தொழில்துறை தேவையை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
மூன்று-நிலை அதிர்ச்சி-தடுப்பு தரநிலை (உயர் துல்லிய சூழ்நிலை)
அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சி குறியீடு: 0.1Hz-100Hz அதிர்வு அதிர்வெண் வரம்பில், தள மேற்பரப்பின் உச்ச அதிர்வு இடப்பெயர்ச்சி 0.01mm ஐ விட அதிகமாக இல்லை. தொழிற்சாலை பட்டறையில் பொதுவான நடுத்தர அளவிலான உபகரணங்களின் செயல்பாட்டால் உருவாகும் அதிர்வை எதிர்கொள்ளும் போது (அதிர்வு அதிர்வெண் பொதுவாக 10Hz-50Hz), கிரானைட் மேடையில் வைக்கப்பட்டுள்ள சாதாரண அளவீட்டு கருவிகள், ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு கருவி போன்றவை, அளவீட்டு துல்லியத்தை நிலையானதாக பராமரிக்க முடியும், மேலும் அளவீட்டுத் தரவின் விலகல் மிகச் சிறிய வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
பயன்பாட்டு சூழ்நிலை: ஆட்டோ பாகங்கள் தயாரிப்பில் துல்லிய அளவீட்டிற்கு ஏற்றது. ஆட்டோமொபைல் எஞ்சின் சிலிண்டர் பிளாக், டிரான்ஸ்மிஷன் கியர் மற்றும் பிற பாகங்களின் இயந்திர துல்லியம் ஆட்டோமொபைலின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. இந்த பாகங்களை அளவிடுவதில், மூன்று அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு செயல்திறனின் கிரானைட் தளம் பட்டறை உபகரணங்கள் இயங்கும் அதிர்வை திறம்பட தனிமைப்படுத்த முடியும், ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு கருவி பாகங்களின் அளவு, வடிவம் மற்றும் நிலை சகிப்புத்தன்மை மற்றும் பிற அளவுருக்களை துல்லியமாக அளவிடுவதை உறுதிசெய்ய, ஆட்டோ பாகங்களின் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கு வலுவான ஆதரவை வழங்க, ஆட்டோ பாகங்கள் தேர்ச்சி விகிதத்தின் உற்பத்தியை மேம்படுத்துகிறது.
மூன்று, பூகம்ப அளவு தரநிலையை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்ய கடுமையான தர சோதனை.
ஒவ்வொரு கிரானைட் தளமும் தொடர்புடைய நிலநடுக்க-தடுப்பு தர தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும் என்பதை உறுதி செய்வதற்காக, நாங்கள் கடுமையான மற்றும் சரியான தர ஆய்வு அமைப்பை நிறுவியுள்ளோம். உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஒவ்வொரு கிரானைட் மூலப்பொருளின் உள் அமைப்பு சீரானதாகவும் வெளிப்படையான குறைபாடுகள் இல்லாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய ஒரு விரிவான இயற்பியல் சொத்து சோதனை மேற்கொள்ளப்படுகிறது. தள செயலாக்கம் முடிந்ததும், மேம்பட்ட அதிர்வு உருவகப்படுத்துதல் சோதனை உபகரணங்கள் தளத்தை சோதிக்க பல்வேறு சிக்கலான அதிர்வு சூழல்களை உருவகப்படுத்த பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உயர் துல்லியமான லேசர் இடப்பெயர்ச்சி சென்சார் மூலம், அதிர்வு செயல்முறையின் போது தளத்தின் மேற்பரப்பில் உள்ள ஒவ்வொரு புள்ளியின் இடப்பெயர்ச்சி மாற்றங்களின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு, மற்றும் தரவு பகுப்பாய்வுக்காக ஒரு தொழில்முறை தரவு செயலாக்க அமைப்புக்கு அனுப்பப்படுகிறது. தளத்தின் அதிர்வு குறிகாட்டிகள் தொடர்புடைய அதிர்ச்சி-தடுப்பு தர தரநிலைகளுடன் முழுமையாக இணங்கும்போது மட்டுமே, அவை சந்தையில் வைக்க அனுமதிக்கப்படுகின்றன.
சுருக்கமாக, கிரானைட் தளம் அதன் அறிவியல் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு தர தரநிலைகள், சிறந்த அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு செயல்திறன் மற்றும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, தொழில்துறை உற்பத்தி மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சிப் பணிகளுக்கு உயர் துல்லியமான செயல்பாடுகளில் இன்றியமையாத நிலையான ஆதரவை வழங்குவதற்காக, தேர்வின் இறுதி துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையைப் பின்தொடர்கிறது.