தூய்மை அறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் பரிசோதனை மேசைகளுக்கு என்ன சிறப்புத் தேவைகள் பொருந்தும்?

குறைக்கடத்தி, ஒளியியல் ஆய்வு மற்றும் துல்லியமான பாகங்கள் பொருத்துதல் ஆகியவற்றுக்கான தூய்மை அறைகளில், துகள் மாசு, அதிர்வு குறுக்கீடு மற்றும் வெப்பநிலை & ஈரப்பத ஏற்ற இறக்கங்கள் ஆகியவற்றின் மீது கடுமையான கட்டுப்பாடுகள் அமல்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த இடங்களில் கிரானைட் ஆய்வு மேசைகள் முக்கிய அளவியல் குறிப்புத் தளங்களாகச் செயல்படுகின்றன. திட்டத் தேர்வின் போது, ​​பல வாங்குபவர்கள் தூய்மையான சூழல்களால் ஏற்படும் தனித்துவமான கட்டுப்பாடுகளைக் கவனிக்காமல், மேசையின் மேற்பரப்பின் சமதளத்தன்மையில் மட்டுமே கவனம் செலுத்துகின்றனர். ஒரு தூய்மை அறை என்பது வெறுமனே நன்கு துடைக்கப்பட்ட அறை மட்டுமல்ல. தூசித் துகள்கள், காற்றோட்டக் கொந்தளிப்பு, பொருட்களிலிருந்து வெளியேறும் வாயுக்கள் மற்றும் பொருத்தும் கட்டமைப்புகள் ஆகியவை கிரானைட் மேசைகளின் மேற்பரப்புகளுடன் வினைபுரிகின்றன. முறையற்ற தேர்வு அல்லது நிறுவல், தூய்மை அறையின் வகைப்பாட்டைப் பாதிப்பது மட்டுமல்லாமல், படிப்படியாக மேசையின் துல்லியத்தைக் குறைத்து, உற்பத்தி விளைச்சலையும் குறைக்கும். தூய்மை அறைகளில் கிரானைட் ஆய்வு மேசைகள் நிலையான நானோ-நிலை குறிப்புச் செயல்திறனை வழங்குவதற்கு, பொருட்களின் தூய்மை, மேற்பரப்புப் பதப்படுத்துதல், தூசி புகாத கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு, சுற்றுச்சூழல் இணக்கத்தன்மை மற்றும் செயல்பாடு & பராமரிப்பு மேலாண்மை ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய சிறப்புத் தேவைகள் பூர்த்தி செய்யப்பட வேண்டும்.

முதலில், தூய்மை அறை நிலைமைகளுக்கு இணக்கமான மூலப்பொருள் மற்றும் மேற்பரப்புப் பதப்படுத்துதல் தேவைகள் உள்ளன. சாதாரண கிரானைட் பலகைகளில், கனிமத் தூசி மற்றும் குப்பைகளைச் சிக்க வைக்கும் மிகச்சிறிய உள் துளைகள் உள்ளன. காற்றோட்டத்தில் ஏற்படும் இடையூறுகளின் போது இந்தத் துகள்கள் தொடர்ந்து வெளியேறி, வேஃபர்கள் மற்றும் ஒளியியல் கூறுகள் போன்ற உணர்திறன் மிக்க வேலைப் பொருட்களை மாசுபடுத்தக்கூடும். தூய்மை அறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் ஆய்வு மேசைகள், மிகக் குறைந்த நுண்துளைத்தன்மை கொண்ட அடர்த்தியான கருப்பு கிரானைட் வெற்றுப் பலகைகளால் செய்யப்படுகின்றன. உள் நுண் துளைகளை மூடுவதற்கும், தொடர்ச்சியான துகள் வெளியேற்றத்தைத் தடுப்பதற்கும் அவை சிறப்பு முத்திரையிடும் சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன. மேசையின் மேற்பரப்பை அரைக்கும் செயல்முறையானது, எஞ்சிய சிராய்ப்புத் துகள்களை விட்டுச் செல்லக்கூடாது, மேலும் பதப்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு, தூசியைக் குவிக்கும் பள்ளங்கள் இல்லாமல் இருக்க வேண்டும். தூய்மையான இடத்தில் கரிம மாசுபாட்டைத் தவிர்ப்பதற்காக, VOC-ஐ வெளியிடும் வண்ணப்பூச்சுகள் அல்லது பிசின்களுக்குப் பதிலாக, தூய்மையான, குறைந்த வாயுக்களை வெளியிடும் பாதுகாப்புப் பூச்சுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தூசி குவிவதைக் குறைக்கவும், வழக்கமான துடைப்பை எளிதாக்கவும் அனைத்து விளிம்புகளிலும் மூலைகளிலும் மென்மையான சரிவுகள் இடப்படுகின்றன.

இரண்டாவதாக, தாங்கிகள் மற்றும் அடித்தளங்களுக்கான தூசி புகாத மற்றும் நுண் அதிர்வுகளை எதிர்க்கும் வடிவமைப்புகள் உள்ளன. தூய்மை அறைகளில் பொதுவாக, சுழலும் குளிரூட்டும் காற்று ஓட்டம், கடத்தும் உபகரணங்கள் மற்றும் தானியங்கி மேடைகள் ஆகியவற்றால் பலவீனமான அதிர்வுகள் உருவாகின்றன. வழக்கமான சமப்படுத்தும் பாதங்களில் உள்ள திருகு இடைவெளிகளில் தூசி சேரவும், நுண்ணிய துகள்கள் உதிரவும் வாய்ப்புள்ளது. தூய்மை அறை கிரானைட் மேசைகளுக்கான தாங்கி அமைப்புகள், குறைந்த அளவு துகள்களை உதிர்க்கும் உலோகப் பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. இவற்றில் முழுமையாக மூடப்பட்ட தூசி புகாத கட்டமைப்புகளும், வெளிப்படும் திருகுகளின் மீது பொருத்தப்பட்ட பாதுகாப்பு உறைகளும் உள்ளன. இந்த முழு தாங்கி அமைப்பும் இரண்டு நோக்கங்களுக்குப் பயன்படுகிறது: குறிப்புத் தளத்தைப் பராமரிக்க நுட்பமான சமன்படுத்தல் மற்றும் விசிறிகள் மற்றும் ரோபோ கையாளிகளிலிருந்து வரும் நுண் அதிர்வுகளைத் தடுக்க பயனுள்ள அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல். தூய்மை அறைத் தளங்கள் பொதுவாக எப்பாக்சி நிலைமின் எதிர்ப்புத் தளங்களாக இருப்பதால், வழக்கமான அளவியல் அறைகளில் உள்ளதைப் போன்ற கனமான அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் அகழிகளை இவற்றில் அமைக்க முடியாது. எனவே, அதிர்வுப் பரிமாற்றத்தைக் குறைக்கவும், அதிர்வு இணைப்பினால் ஏற்படும் துல்லிய விலகலைத் தடுக்கவும் தாங்கி அமைப்புகளில் அதிர்வுத் திண்டுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. மேசைச் சட்டகத்திற்குக் கீழே உள்ள பகுதி, தூய்மை அறைத் துடைப்பான்கள் மற்றும் வெற்றிடச் சுத்திகரிப்பான்களைக் கொண்டு துடைப்பதற்கு ஏதுவாக, மறைவான மூலைகள் இல்லாமல் சுத்தம் செய்வதற்கு அணுகக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும்.

மூன்றாவதாக, வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பத நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்பச் சிதைவு மீதான கட்டுப்பாடுகள் உள்ளன. தூய்மை அறைகள் நிலையான வெப்பநிலை அமைப்புகளுடன் பொருத்தப்பட்டிருந்தாலும், குளிரூட்டிகளிலிருந்து வரும் திசைசார்ந்த காற்று விநியோகம் கிரானைட் பரப்புகளில் நேரடியாக வீசி, குறிப்பிட்ட இடங்களில் வெப்பநிலை வேறுபாடுகளை உருவாக்கக்கூடும். கிரானைட் வெப்பத்தை மெதுவாகக் கடத்துகிறது, மேலும் சீரற்ற உள்ளூர் வெப்பமாக்கல், குறிப்புத் தளத்தைச் சிதைக்கும் சிறிய வெப்பச் சிதைவைத் தூண்டும். கிரானைட் ஆய்வு மேசைகள், காற்று வெளியேறும் வழிகள் மற்றும் நேரடி சீரான காற்றோட்டத்திலிருந்து தள்ளி நிலைநிறுத்தப்பட வேண்டும். தூய்மை அறையின் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பத வரம்பிற்குள் பரிமாண மாறுபாட்டைக் கட்டுப்படுத்த, அந்தப் பொருளின் உள்ளார்ந்த சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஈரப்பதமும் ஒரு சரியான வரம்பிற்குள் இருக்க வேண்டும். அதிகப்படியான ஈரப்பதம் உலோக ஆதரவுக் கூறுகளில் அரிப்பை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் துருத் துகள்கள் ஒரு முக்கிய மாசு மூலமாகின்றன. குறைந்த ஈரப்பதம் நிலை மின்னூட்டத்திற்கு வழிவகுக்கிறது, இது மேசைகள் மற்றும் வேலைப் பொருட்களின் மீது தூசியை ஈர்க்கிறது. கிரானைட் காற்றுத் தாங்கித் தளங்களைப் பொறுத்தவரை, காற்று வழிகளுக்கு வழங்கப்படும் அழுத்தப்பட்ட காற்று, மேசையின் மீது தூசி வீசுவதைத் தடுக்க முழுமையான வடிகட்டலுக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும்.

நான்காவது, பொருத்துதல் மற்றும் துணை பாகங்களுக்கான தூய்மைக் கட்டுப்பாட்டுத் தேவைகள் ஆகும். தூய்மை அறைகளில் உள்ள கிரானைட் ஆய்வு மேசைகள், கிரானைட் அடித்தளங்கள், காற்றுத் தாங்கித் தொகுதிகள் மற்றும் ஒளியியல் ஆய்வு இயக்கமுறைகளைப் பொருத்துவதற்குப் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன; இவற்றின் மீது நேரியல் மோட்டார் மேடைகள் மற்றும் XY இயக்க அமைப்புகள் பொருத்தப்பட்டிருக்கும். அனைத்து வன்பொருள்களும் இணைப்பான்களும் தூய்மை அறைக்குள் நுழைவதற்கு முன்பு, அறைக்கு வெளியே சுத்தம் செய்யப்பட்டு, எண்ணெய் பிசுக்கு நீக்கப்பட்டு, தூசியற்ற உறைகளில் அடைக்கப்பட வேண்டும். தூய்மையான பகுதிகளுக்குள் அட்டைப் பெட்டிகளும் சாதாரண நெகிழிப் பைகளும் தடை செய்யப்பட்டுள்ளன. மேசையின் மீது செய்யப்படும் பொருத்துதல் பணிகளுக்குத் தூய்மை அறைக் கருவிகளே பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். தோல் செதில்கள் மற்றும் எண்ணெய் பிசுக்கு ஆகியவற்றால் ஏற்படும் மாசுபாட்டைத் தடுக்க, இயக்குபவர்கள் தூய்மை அறைக்கான உடைகளையும் கையுறைகளையும் அணிகின்றனர். கிரானைட்டில் இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்ட, நிலைநிறுத்தும் ஊசிகள் மற்றும் திருகு செருகிகளுக்கான துளைகள், செயலாக்கக் கழிவுகள் இல்லாமல் முழுமையாகச் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, உள்ளே பதிந்திருக்கும் அசுத்தங்களைத் தடுக்க அடைக்கப்பட வேண்டும். காற்றுத் தாங்கி கிரானைட் தளங்களில் உள்ள காற்று வழிகள், தளத்தில் நிறுவுவதற்கு முன்பு, இயந்திர வேலைப்பாடுகளுக்குப் பிறகு எஞ்சியிருக்கும் அனைத்துத் துகள்களையும் அகற்ற மீண்டும் மீண்டும் சுத்தப்படுத்தப்படுகின்றன.                                                                                                                                                                                                                        

ஐந்தாவது, தூய்மையான செயல்பாடு மற்றும் பராமரிப்பு நெறிமுறைகள் ஆகும். சாதாரண அளவியல் ஆய்வகங்கள் பொதுவான பருத்தித் துடைப்பான்கள் மற்றும் வழக்கமான சுத்திகரிப்பான்களைப் பயன்படுத்தலாம், ஆனால் தூய்மை அறைகளில், தூசியற்ற துடைப்பான்கள் மற்றும் நடுநிலைத் துகள்களற்ற சலவைக்கலவைகள் மட்டுமே பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். கடினமாக சுரண்டும் கருவிகள் தடைசெய்யப்பட்டுள்ளன, ஏனெனில் துல்லியமாக அரைக்கப்பட்ட பரப்புகளில் ஏற்படும் கீறல்கள் அசுத்தங்களை நிரந்தரமாகப் பிடித்துக்கொள்ளும். துல்லியச் சோதனைகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் அளவீட்டுக் கருவிகள் மற்றும் ஆய்வுக் கருவிகள், மேசையின் மேற்பரப்புடன் தொடர்பு கொள்வதற்கு முன்பு தூசி நீக்கப்பட வேண்டும். பணியாளர்களின் நடமாட்டத்தால் ஏற்படும் துகள் இடையூறுகளைக் குறைப்பதற்காக, குறைந்த உற்பத்தி காலங்களில் குறிப்பிட்ட கால இடைவெளியில் துல்லிய அளவுத்திருத்தம் திட்டமிடப்பட்டுள்ளது. கிரானைட் மேசையின் மேற்பரப்புகளைத் தூய்மை அறைகளுக்குள் சாதாரணமாக நகர்த்தக்கூடாது, ஏனெனில் இடமாற்றத்தின் போது ஏற்படும் உராய்வு அதிக அளவு துகள்களை உருவாக்கி, தூய்மை அறையின் தரத்தைக் குறைக்கிறது. நிலையான ஒப்பீட்டுச் செயல்திறனைப் பராமரிப்பதற்காக, லேசர் குறுக்கீட்டுமானிகள் மற்றும் மின்னணு மட்டக்கருவிகளைக் கொண்டு தொடர்ச்சியான துல்லியச் சரிபார்ப்பு மேற்கொள்ளப்படுகிறது. பராமரிப்புப் பணியாளர்கள், துகள்கள் உதிர்தல் மற்றும் அடைப்பின் உறுதித்தன்மைக்காக ஆதரவுக் கட்டமைப்புகளைத் தவறாமல் ஆய்வு செய்கின்றனர். கல்லின் துளைகளிலிருந்து தொடர்ச்சியாகத் துகள்கள் வெளியேறுவதைத் தடுக்க, சேதமடைந்த அடைப்பு அடுக்குகள் உடனடியாகச் சரிசெய்யப்படுகின்றன.

சுருக்கமாக, தூய்மை அறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிரானைட் ஆய்வு மேசைகளுக்கு, துல்லியம் என்பது ஒரு தொடக்கத் தேவை மட்டுமே. தூய்மைப் பொருத்தம், துகள் கட்டுப்பாடு, காற்றோட்டக் குறுக்கீட்டிற்கு எதிரான எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் ஆகியவை முக்கிய சிறப்புத் தேவைகளாகும். மேசையின் மேற்புறப் பொருள், ஆதரவுக் கட்டமைப்புகள், நிறுவல் திட்டங்கள் மற்றும் பராமரிப்புப் பணிப்பாய்வுகள் அனைத்தும் தூய்மை அறைச் சூழல்களுக்கு ஏற்ப அமைய வேண்டும். இந்த வழியில் மட்டுமே, தூய்மை அறை வகைப்பாடு மற்றும் நானோ / மைக்ரான் அளவீட்டு குறிப்பு நிலைத்தன்மை ஆகிய இரண்டையும் பராமரிக்க முடியும். இது குறைக்கடத்திகள், ஒளியியல் மற்றும் புதிய ஆற்றல் தொழில்களுக்கான துல்லியமான ஆய்வு செயல்முறைகளின் நிலையான செயல்பாட்டிற்கு ஆதரவளிக்கிறது.