குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கான கிரானைட் அடித்தளங்களுக்கான தொழில்நுட்பத் தேவைகள்.

1. பரிமாணத் துல்லியம்
சமதளம்: அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பின் சமதளம் மிக உயர்ந்த தரத்தை எட்ட வேண்டும், மேலும் எந்தவொரு 100மிமீ×100மிமீ பரப்பிலும் சமதளப் பிழை ±0.5μm-ஐத் தாண்டக்கூடாது; முழு அடித்தளத் தளத்திற்கும், சமதளப் பிழை ±1μm-க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. இது, லித்தோகிராபி உபகரணத்தின் எக்ஸ்போஷர் ஹெட் மற்றும் சிப் கண்டறிதல் உபகரணத்தின் ப்ரோப் டேபிள் போன்ற குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் முக்கியக் கூறுகள், ஒரு உயர்-துல்லியமான தளத்தில் நிலையாக நிறுவப்பட்டு இயக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது; உபகரணத்தின் ஒளியியல் பாதை மற்றும் மின்சுற்று இணைப்பின் துல்லியத்தை உறுதிசெய்கிறது; மேலும், அடித்தளத்தின் சீரற்ற தளத்தால் ஏற்படும் கூறுகளின் இடப்பெயர்வு விலகலைத் தவிர்க்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி மற்றும் கண்டறிதல் துல்லியத்தைப் பாதிக்கிறது.
நேர்கோட்டுத்தன்மை: அடித்தளத்தின் ஒவ்வொரு விளிம்பின் நேர்கோட்டுத்தன்மையும் மிக முக்கியமானது. நீளத்தின் திசையில், நேர்கோட்டுப் பிழை 1 மீட்டருக்கு ±1μm-ஐத் தாண்டக்கூடாது; மூலைவிட்ட நேர்கோட்டுப் பிழை ±1.5μm-க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. உயர்-துல்லிய அச்சுப்பதிவு இயந்திரத்தை உதாரணமாக எடுத்துக்கொண்டால், மேசையானது அடித்தளத்தின் வழிகாட்டிப் பட்டையின் வழியே நகரும்போது, ​​அடித்தளத்தின் விளிம்பின் நேர்கோட்டுத்தன்மை மேசையின் பயணப்பாதைத் துல்லியத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. நேர்கோட்டுத்தன்மை தரத்திற்கு ஏற்ப இல்லாவிட்டால், அச்சுப்பதிவு வடிவம் சிதைந்து உருக்குலைந்துவிடும், இதன் விளைவாக சில்லு உற்பத்தியின் அளவு குறையும்.
இணைகோட்டுத்தன்மை: அடித்தளத்தின் மேல் மற்றும் கீழ் பரப்புகளின் இணைகோட்டுத்தன்மைப் பிழை ±1μm வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். நல்ல இணைகோட்டுத்தன்மை, உபகரணத்தை நிறுவிய பிறகு ஒட்டுமொத்த ஈர்ப்பு மையத்தின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்து, ஒவ்வொரு பாகத்தின் விசையும் சீராக இருப்பதை உறுதி செய்யும். குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தி உபகரணங்களில், அடித்தளத்தின் மேல் மற்றும் கீழ் பரப்புகள் இணையாக இல்லாவிட்டால், செயலாக்கத்தின் போது வேஃபர் சாய்ந்துவிடும். இது எச்சிங் மற்றும் கோட்டிங் போன்ற செயல்முறைகளின் சீரான தன்மையைப் பாதித்து, அதன் விளைவாக சிப்பின் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையையும் பாதிக்கும்.
இரண்டாவதாக, பொருள் பண்புகள்
கடினத்தன்மை: கிரானைட் அடித்தளப் பொருளின் கடினத்தன்மை ஷோர் கடினத்தன்மை HS70 அல்லது அதற்கு மேல் இருக்க வேண்டும். இந்த உயர் கடினத்தன்மை, உபகரணத்தின் செயல்பாட்டின் போது பாகங்களின் அடிக்கடி நிகழும் அசைவு மற்றும் உராய்வினால் ஏற்படும் தேய்மானத்தை திறம்பட எதிர்க்கும். இதன் மூலம், நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும் அடித்தளம் அதன் உயர் துல்லியமான அளவைப் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது. சிப் பேக்கேஜிங் உபகரணத்தில், ரோபோ கை அடிக்கடி சிப்பைப் பிடித்து அடித்தளத்தில் வைக்கிறது. அடித்தளத்தின் உயர் கடினத்தன்மை, அதன் மேற்பரப்பில் எளிதில் கீறல்கள் ஏற்படாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்து, ரோபோ கையின் இயக்கத்தின் துல்லியத்தைப் பராமரிக்கிறது.
அடர்த்தி: பொருளின் அடர்த்தி 2.6-3.1 g/cm³ க்கு இடையில் இருக்க வேண்டும். பொருத்தமான அடர்த்தி, அடித்தளத்திற்கு நல்ல தர நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது. இது, உபகரணத்தைத் தாங்குவதற்குத் தேவையான போதுமான விறைப்புத்தன்மையை உறுதி செய்வதோடு, அதிகப்படியான எடையின் காரணமாக உபகரணத்தை நிறுவுவதற்கும் கொண்டு செல்வதற்கும் சிரமங்களை ஏற்படுத்தாது. பெரிய குறைக்கடத்தி ஆய்வு உபகரணங்களில், நிலையான அடித்தள அடர்த்தி, உபகரணச் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படும் அதிர்வுப் பரவலைக் குறைக்கவும், கண்டறிதல் துல்லியத்தை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.
வெப்ப நிலைத்தன்மை: நேரியல் விரிவாக்கக் குணகம் 5×10⁻⁶/℃-ஐ விடக் குறைவு. குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, மேலும் அடித்தளத்தின் வெப்ப நிலைத்தன்மை உபகரணத்தின் துல்லியத்துடன் நேரடியாகத் தொடர்புடையது. லித்தோகிராபி செயல்முறையின் போது, ​​வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் அடித்தளத்தின் விரிவாக்கம் அல்லது சுருக்கத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், இதன் விளைவாக வெளிப்பாட்டு வடிவத்தின் அளவில் விலகல் ஏற்படுகிறது. குறைந்த நேரியல் விரிவாக்கக் குணகம் கொண்ட கிரானைட் அடித்தளமானது, உபகரணத்தின் இயக்க வெப்பநிலை (பொதுவாக 20-30 ° C) மாறும் போது, ​​மிகச் சிறிய வரம்பிற்குள் அளவு மாற்றத்தைக் கட்டுப்படுத்தி, லித்தோகிராபி துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.
மூன்றாவதாக, மேற்பரப்பு தரம்
சொரசொரப்பு: அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு Ra மதிப்பு 0.05μm-ஐத் தாண்டாது. இந்த மிகவும் வழவழப்பான மேற்பரப்பு, தூசி மற்றும் அசுத்தங்கள் ஒட்டுவதைக் குறைத்து, குறைக்கடத்தி சில்லு உற்பத்திச் சூழலின் தூய்மையில் ஏற்படும் பாதிப்பையும் தணிக்கும். சில்லு உற்பத்தியின் தூசியற்ற பணிமனையில், சிறிய துகள்கள் சில்லு குறுக்குச் சுற்று போன்ற குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கக்கூடும். இந்நிலையில், அடித்தளத்தின் வழவழப்பான மேற்பரப்பு, பணிமனையின் தூய்மையான சூழலைப் பராமரிக்கவும் சில்லு உற்பத்தியை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.
நுண்ணிய குறைபாடுகள்: அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பில் கண்ணுக்குத் தெரியும் விரிசல்கள், மணல் துளைகள், நுண்துளைகள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் இருக்க அனுமதிக்கப்படாது. எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி மூலம் ஆய்வு செய்யும்போது, ​​ஒரு சதுர சென்டிமீட்டருக்கு 1μm-க்கு மேல் விட்டம் கொண்ட குறைபாடுகளின் எண்ணிக்கை 3-ஐத் தாண்டக்கூடாது. இந்தக் குறைபாடுகள் அடித்தளத்தின் கட்டமைப்பு வலிமையையும் மேற்பரப்பு சமதளத்தன்மையையும் பாதித்து, அதன் விளைவாக உபகரணத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தையும் பாதிக்கும்.
நான்காவது, நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
இயக்க நிலைத்தன்மை: குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் செயல்பாட்டினால் உருவாக்கப்படும் உருவகப்படுத்தப்பட்ட அதிர்வுச் சூழலில் (அதிர்வு அதிர்வெண் வரம்பு 10-1000Hz, வீச்சு 0.01-0.1mm), அடித்தளத்தில் உள்ள முக்கியப் பொருத்தும் புள்ளிகளின் அதிர்வு இடப்பெயர்வு ±0.05μm வரம்பிற்குள் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். குறைக்கடத்தி சோதனை உபகரணத்தை உதாரணமாக எடுத்துக்கொண்டால், செயல்பாட்டின் போது சாதனத்தின் சொந்த அதிர்வும் சுற்றியுள்ள சூழல் அதிர்வும் அடித்தளத்திற்குப் பரவினால், சோதனை சமிக்ஞையின் துல்லியம் பாதிக்கப்படலாம். நல்ல இயக்க நிலைத்தன்மை நம்பகமான சோதனை முடிவுகளை உறுதிசெய்யும்.
நில அதிர்வு எதிர்ப்புத்திறன்: அடித்தளமானது சிறந்த நில அதிர்வு செயல்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். மேலும், அது திடீர் வெளிப்புற அதிர்வுக்கு (நில அதிர்வு அலை உருவகப்படுத்துதல் அதிர்வு போன்றவை) உள்ளாகும் போது, ​​அதிர்வு ஆற்றலை விரைவாகத் தணிக்க வேண்டும். அத்துடன், உபகரணத்தின் முக்கிய பாகங்களின் சார்பு நிலை ±0.1μm வரம்பிற்குள் மாறுவதையும் உறுதி செய்ய வேண்டும். நில அதிர்வு அபாயம் உள்ள பகுதிகளில் உள்ள குறைக்கடத்தித் தொழிற்சாலைகளில், நில அதிர்வு-எதிர்ப்பு அடித்தளங்கள் விலை உயர்ந்த குறைக்கடத்தி உபகரணங்களைத் திறம்படப் பாதுகாக்கின்றன. இதன் மூலம், அதிர்வினால் ஏற்படும் உபகரணச் சேதம் மற்றும் உற்பத்தித் தடை அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன.
5. வேதியியல் நிலைத்தன்மை
அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: கிரானைட் அடித்தளமானது, குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம், அக்வா ரெஜியா போன்ற பொதுவான இரசாயனப் பொருட்களின் அரிப்பைத் தாங்கக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும். 40% நிறை பின்னத்தைக் கொண்ட ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலக் கரைசலில் 24 மணி நேரம் ஊறவைத்த பிறகு, மேற்பரப்புத் தர இழப்பு விகிதம் 0.01%-ஐத் தாண்டக்கூடாது; அக்வா ரெஜியாவில் (ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் மற்றும் நைட்ரிக் அமிலத்தின் கன அளவு விகிதம் 3:1) 12 மணி நேரம் ஊறவைத்தால், மேற்பரப்பில் அரிப்பின் தெளிவான தடயங்கள் எதுவும் இருக்காது. குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறையானது பல்வேறு இரசாயன அரித்தல் மற்றும் சுத்தப்படுத்தும் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது. அடித்தளத்தின் நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன், இரசாயனச் சூழலில் நீண்டகாலப் பயன்பாட்டின்போதும் அரிப்பு ஏற்படாமல் இருப்பதையும், துல்லியம் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு பராமரிக்கப்படுவதையும் உறுதிசெய்யும்.
மாசு தடுப்பு: குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழலில் காணப்படும் கரிம வாயுக்கள், உலோக அயனிகள் போன்ற பொதுவான மாசுபடுத்திகளை இந்த அடிப்படைப் பொருள் மிகக் குறைந்த அளவே உறிஞ்சுகிறது. 10 PPM கரிம வாயுக்கள் (எ.கா., பென்சீன், டோலுயீன்) மற்றும் 1 ppm உலோக அயனிகள் (எ.கா., தாமிர அயனிகள், இரும்பு அயனிகள்) உள்ள ஒரு சூழலில் 72 மணி நேரம் வைக்கப்பட்டாலும், அடிப்படைப் பொருளின் மேற்பரப்பில் மாசுபடுத்திகள் உறிஞ்சப்படுவதால் ஏற்படும் செயல்திறன் மாற்றம் புறக்கணிக்கத்தக்கதாகும். இது, அசுத்தங்கள் அடிப்படைப் பொருளின் மேற்பரப்பிலிருந்து சில்லு உற்பத்திப் பகுதிக்கு இடம்பெயர்ந்து, சில்லுவின் தரத்தைப் பாதிப்பதைத் தடுக்கிறது.