கிரானைட் துல்லிய மேடைகளின் சமதளத்தன்மையைக் கண்டறியும் முறைகள்.

துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் அறிவியல் ஆராய்ச்சித் துறைகளில், உபகரணங்களின் துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்கு கிரானைட் துல்லிய மேடைகளின் சமதளத்தன்மை ஒரு முக்கியக் குறியீடாக விளங்குகிறது. உங்களுக்காக, பல முக்கியக் கண்டறிதல் முறைகள் மற்றும் அவற்றின் செயல்பாட்டு நடைமுறைகள் குறித்த விரிவான அறிமுகம் கீழே கொடுக்கப்பட்டுள்ளது.
I. லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் கண்டறியும் முறை
உயர்-துல்லியமான சமதளத்தன்மையைக் கண்டறிவதற்கு லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் ஒரு விரும்பத்தக்க கருவியாகும். ZYGO GPI XP லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டரை உதாரணமாக எடுத்துக்கொண்டால், அதன் பிரிதிறன் 0.1 நானோமீட்டர் வரை அடையக்கூடியது. கண்டறிதலை மேற்கொள்ளும்போது, ​​முதலில் இன்டர்ஃபெரோமீட்டரின் ஒளி மூலத்தை தளத்துடன் சீரமைத்து, தளத்தின் மேற்பரப்பை 50 மிமீ × 50 மிமீ கட்டப் பகுதிகளாகப் பிரிக்க வேண்டும். அதனைத் தொடர்ந்து, குறுக்கீட்டு விளிம்புத் தரவுகள் புள்ளி வாரியாகச் சேகரிக்கப்பட்டு, அந்தத் தரவுகள் ஜெர்னிக்கி பல்லுறுப்புக் கோவையைப் பயன்படுத்திப் பொருத்தப்பட்டுப் பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்டு சமதளப் பிழை பெறப்பட்டது. இந்த முறை உயர்-துல்லியமான தளங்களுக்குப் பொருந்தக்கூடியது மற்றும் ≤0.5μm/m² சமதளப் பிழைகளைக் கண்டறியும் திறன் கொண்டது. இது பொதுவாக ஒளி அச்சுப் பதிப்பு இயந்திரங்கள் மற்றும் உயர்நிலை மூன்று-ஒருங்கிணைப்பு அளவீட்டு இயந்திரத் தளங்களைக் கண்டறிவதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ii. மின்னணு நிலை வரிசை முறை
மின்னணு மட்ட வரிசை கண்டறிதல் முறை, செயல்படுத்துவதற்கு எளிமையானதாகவும் மிகவும் செயல்திறன் மிக்கதாகவும் உள்ளது. TESA A2 மின்னணு மட்டம் (0.01μm/m தெளிவுத்திறனுடன்) தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டு, தளத்தின் X/Y அச்சு திசையில் 9×9 வரிசையில் அமைக்கப்பட்டது. ஒவ்வொரு மட்டத்தின் சாய்வுத் தரவுகளையும் ஒரே நேரத்தில் சேகரித்து, பின்னர் கணக்கீட்டிற்கு மீச்சிறு வர்க்க முறையைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், சமதள மதிப்பைத் துல்லியமாகப் பெற முடியும். இந்த முறையானது தளத்தின் உள்ளூர் குழிவு மற்றும் குவிவு நிலைகளைத் திறம்பட அடையாளம் காணும். எடுத்துக்காட்டாக, 50 மிமீ வரம்பிற்குள் 0.2μm அளவிலான ஏற்ற இறக்கத்தையும் கண்டறிய முடியும், இது பெருமளவு உற்பத்தியில் விரைவாகக் கண்டறிவதற்கு ஏற்றதாகும்.
III. ஒளியியல் தட்டையான படிக முறை
சிறிய பரப்பளவுள்ள தளங்களைக் கண்டறிவதற்கு ஒளியியல் தட்டையான படிக முறை பொருத்தமானது. தளத்தில் சோதிக்கப்பட வேண்டிய மேற்பரப்பில் ஒளியியல் தட்டையான படிகத்தை இறுக்கமாகப் பொருத்தி, ஒற்றை நிற ஒளி மூலத்தின் (சோடியம் விளக்கு போன்றவை) ஒளியூட்டத்தின் கீழ் அவற்றுக்கிடையே உருவாகும் குறுக்கீட்டுப் பட்டைகளைக் கவனிக்கவும். பட்டைகள் இணையாக நேர்கோடுகளாக இருந்தால், அது நல்ல தட்டையான தன்மையைக் குறிக்கிறது. வளைந்த பட்டைகள் தோன்றினால், பட்டை வளைவின் அளவின் அடிப்படையில் தட்டையான தன்மைப் பிழையைக் கணக்கிடவும். ஒவ்வொரு வளைந்த பட்டையும் 0.316μm உயர வேறுபாட்டைக் குறிக்கிறது, மேலும் எளிய மாற்றத்தின் மூலம் தட்டையான தன்மைத் தரவைப் பெறலாம்.
நான்கு. மூன்று-ஒருங்கிணைப்பு அளவிடும் இயந்திர ஆய்வு முறை
முப்பரிமாண அளவீட்டு இயந்திரத்தால் முப்பரிமாண வெளியில் உயர்-துல்லியமான அளவீட்டை மேற்கொள்ள முடியும். கிரானைட் தளத்தை அளவீட்டு இயந்திரத்தின் பணிமேசையில் வைத்து, ஆய்வுக்கருவியைப் பயன்படுத்தி தளத்தின் மேற்பரப்பில் உள்ள பல அளவீட்டுப் புள்ளிகளிலிருந்து தரவுகளைச் சீராகச் சேகரிக்கவும். அளவீட்டு இயந்திர அமைப்பானது இந்தத் தரவுகளைச் செயலாக்கிப் பகுப்பாய்வு செய்து, தளத்தின் சமதளத்தன்மை அறிக்கையை உருவாக்குகிறது. இந்த முறையானது சமதளத்தன்மையைக் கண்டறிவது மட்டுமல்லாமல், தளத்தின் மற்ற வடிவவியல் அளவுருக்களையும் ஒரே நேரத்தில் பெற முடியும், மேலும் இது பெரிய கிரானைட் தளங்களை முழுமையாகக் கண்டறிவதற்கு ஏற்றது.
இந்தக் கண்டறியும் முறைகளில் தேர்ச்சி பெறுவது, கிரானைட் துல்லிய மேடையின் சமதளத்தன்மையை நீங்கள் துல்லியமாக மதிப்பிடவும், துல்லிய உபகரணங்களின் நிலையான செயல்பாட்டிற்கு நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்கவும் உதவும்.